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公开(公告)号：CN1040063A
公开(公告)日：1990-02-28
申请号：CN89104798.0
申请日：1989-07-14
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 松山深照
IPC: C23C16/48
Abstract: 制备多组分大面积沉积膜的装置，在各自的激活室中分别激活两种或多种膜原料气体，激活气体通过各自的气体引入口分别引入到成膜室混合，在成膜室中的基片表面附近发生反应，从而在基片上形所述沉积膜，气体引入口是长方形或椭圆形，平行放置，其长轴至少是短轴的两倍，间距小于短轴，激活室中有杆状微波发射天线，或有催化作用的金属材料做成的丝，或产生射频电场的一对板状电极作为产生分解能的装置。
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