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公开(公告)号：CN108180836A
公开(公告)日：2018-06-19
申请号：CN201810126879.2
申请日：2015-06-26
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 佐藤浩司
CPC classification number: G01B11/254 , G03F7/0002 , G03F9/7038 , G03F9/7049
Abstract: 本发明提供一种位置检测装置。该位置检测装置包括：检测单元，其被构造为对由包括在第一方向上排列的图案的第一衍射光栅与包括在所述第一方向上排列的图案的第二衍射光栅之间的交叠引起的莫尔条纹进行检测，以及处理单元，其被构造为基于所述莫尔条纹获得所述第一衍射光栅与所述第二衍射光栅的相对位置，其中，所述第一衍射光栅和所述第二衍射光栅中的至少一个光栅中包括的图案的端部图案在所述第一方向上的宽度，小于所述至少一个衍射光栅的剩余图案在所述第一方向上的宽度。
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公开(公告)号：CN104102090B
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201410127464.9
申请日：2014-04-01
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 佐藤浩司
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F7/0002
Abstract: 本发明提供一种压印装置、物品的制造方法以及对准装置，该压印装置包括：至少一个第一检测器，其被配置为检测在所述多个拍摄区域中形成的多个标记中的第一数量的第一标记；第二检测器，其具有比所述第一检测器更宽的视场，并且被配置为检测所述多个标记中的不同于所述第一标记的、第二数量的第二标记，所述第二数量比所述第一数量大；以及控制器，其被配置为通过使用来自所述第二检测器的检测结果将所述多个拍摄区域与所述模具对准。
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公开(公告)号：CN105425538A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201510570346.X
申请日：2015-09-09
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明提供了一种压印装置、压印系统和物品的制造方法。所述压印装置进行使用模具对基板上的压印材料形成图案的压印处理，所述压印装置包括：获得单元，其被构造为在所述模具与作为所述基板上的压印对象的投射区域彼此面对之前，获得所述基板上的多个投射区域的各自的形状；第一校正单元，其被构造为针对所述基板上的各投射区域，校正所述模具的图案与所述投射区域之间的形状差；测量单元，其被构造为测量所述模具的图案与所述基板上的投射区域之间的位移；第二校正单元，其被构造为校正所述位移；以及控制单元，其被构造为控制所述压印处理。
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公开(公告)号：CN105222705A
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201510369385.3
申请日：2015-06-26
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 佐藤浩司
CPC classification number: G01B11/254 , G03F7/0002 , G03F9/7038 , G03F9/7049
Abstract: 本发明提供一种位置检测装置、位置检测方法、压印装置及物品的制造方法。该位置检测装置包括：检测单元，其被构造为对由包括在第一方向上排列的图案的第一衍射光栅与包括在所述第一方向上排列的图案的第二衍射光栅之间的交叠引起的莫尔条纹进行检测，以及处理单元，其被构造为基于所述莫尔条纹获得所述第一衍射光栅与所述第二衍射光栅的相对位置，其中，所述第一衍射光栅和所述第二衍射光栅中的至少一个光栅中包括的图案的端部图案在所述第一方向上的宽度，小于所述至少一个衍射光栅的剩余图案在所述第一方向上的宽度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104102090A
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201410127464.9
申请日：2014-04-01
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 佐藤浩司
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F7/0002
Abstract: 本发明提供一种压印装置、物品的制造方法以及对准装置，该压印装置包括：至少一个第一检测器，其被配置为检测在所述多个拍摄区域中形成的多个标记中的第一数量的第一标记；第二检测器，其具有比所述第一检测器更宽的视场，并且被配置为检测所述多个标记中的不同于所述第一标记的、第二数量的第二标记，所述第二数量比所述第一数量大；以及控制器，其被配置为通过使用来自所述第二检测器的检测结果将所述多个拍摄区域与所述模具对准。
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公开(公告)号：CN108180836B
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN201810126879.2
申请日：2015-06-26
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 佐藤浩司
Abstract: 本发明提供一种位置检测装置。该位置检测装置包括：检测单元，其被构造为对由包括在第一方向上排列的图案的第一衍射光栅与包括在所述第一方向上排列的图案的第二衍射光栅之间的交叠引起的莫尔条纹进行检测，以及处理单元，其被构造为基于所述莫尔条纹获得所述第一衍射光栅与所述第二衍射光栅的相对位置，其中，所述第一衍射光栅和所述第二衍射光栅中的至少一个光栅中包括的图案的端部图案在所述第一方向上的宽度，小于所述至少一个衍射光栅的剩余图案在所述第一方向上的宽度。
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公开(公告)号：CN105425538B
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201510570346.X
申请日：2015-09-09
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明提供了一种压印装置、压印系统和物品的制造方法。所述压印装置进行使用模具对基板上的压印材料形成图案的压印处理，所述压印装置包括：获得单元，其被构造为在所述模具与作为所述基板上的压印对象的投射区域彼此面对之前，获得所述基板上的多个投射区域的各自的形状；第一校正单元，其被构造为针对所述基板上的各投射区域，校正所述模具的图案与所述投射区域之间的形状差；测量单元，其被构造为测量所述模具的图案与所述基板上的投射区域之间的位移；第二校正单元，其被构造为校正所述位移；以及控制单元，其被构造为控制所述压印处理。
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公开(公告)号：CN106415787B
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201580030048.X
申请日：2015-05-15
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 佐藤浩司
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: G03F7/0002 , G03F9/7042
Abstract: 本发明提供执行压印处理的压印设备，所述压印处理通过使用模具使衬底上的压印材料成型而在衬底上形成图案，所述设备包括配置为测量模具和衬底的相对位置的测量单元、配置为发射用于固化压印材料的光的光源单元、配置为在衬底上扫描来自光源单元的光的扫描单元以及配置为控制压印处理的控制单元，其中控制单元通过在基于测量单元的测量结果部分地使模具和衬底彼此对齐的同时使得扫描单元扫描光来执行压印处理。
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公开(公告)号：CN103135340B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201210490618.1
申请日：2012-11-27
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 佐藤浩司
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C59/022 , B29C2059/023 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F9/7042 , G03F9/7084 , G03F9/7088
Abstract: 本发明提供一种用于执行压印处理的压印装置，通过所述压印处理，使用具有其上形成了图案的图案区的模具来模制基板上的压印材料，从而将所述图案转印到基板上，所述压印装置包括：检测器，其被配置为检测形成在基板上的多个压射区中的每个中的标记；变形单元，其被配置为使所述图案区变形；和控制器，其被配置为控制所述压印处理。
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