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公开(公告)号:CN116990905A
公开(公告)日:2023-11-03
申请号:CN202311252627.1
申请日:2023-09-26
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本申请提供一种折射率可调的亚波长光栅耦合器及其设计方法。该光栅耦合器包括依次层叠的衬底、埋氧层、波导层和上包层,模式光在波导层上沿第一方向传播,波导层包括光栅结构,光栅结构包括沿第一方向依次排列的多个单元光栅结构,其中,单元光栅结构包括第一折射率区和第二折射率区,第一折射率区包括第一波导;第二折射率区与第一折射率区相邻,第二折射率区包括多个沿第一方向交替排列的第二波导和间隔区,第二波导的折射率不等于间隔区的折射率,第一折射率区的等效折射率不等于第二折射率区的等效折射率,光栅结构的结构参数通过多次迭代确定。可实现调整光栅结构的有效折射率,降低器件的耦合损耗和尺寸,受制造工艺水平的影响较小。
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公开(公告)号:CN116520487B
公开(公告)日:2023-09-12
申请号:CN202310812463.7
申请日:2023-07-04
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本申请提供一种偏振不敏感的硅基光接收集成芯片及其实现方法。该芯片包括端面耦合器、波分解复用器、光电探测器阵列及偏振自动反馈调节装置。在波分解复用器的上层沉积有相变材料,波分解复用器具有多个输出端口,多个输出端口包括偏振检测端口,波分解复用器的偏振检测端口连接偏振自动反馈调节装置的一端;偏振自动反馈调节装置的另一端用于连接至设于芯片外部的信号激励装置,偏振自动反馈调节装置用于测量偏振检测端口的输出光功率的强度来得到当前入射光的偏振态,并基于当前入射光的偏振态来控制信号激励装置产生激励信号的强度以触发相变材料的相态改变,进而调节波分解复用器的最佳工作偏振态以实现入射偏振不敏感。
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公开(公告)号:CN116722061A
公开(公告)日:2023-09-08
申请号:CN202211411194.5
申请日:2022-11-11
Applicant: 之江实验室
IPC: H01L31/0352 , H01L31/028 , H01L31/101 , H01L31/105
Abstract: 本发明公开了一种电压控制的宽光谱锗硅探测器及其控制方法,所述锗硅探测器包括自下而上依次设有的半导体衬底、P型重掺杂硅层、I型非掺杂本征硅层、N型重掺杂硅层、非掺杂本征锗层、P型重掺杂锗层,所述P型重掺杂硅层上设有与P型重掺杂硅层相连的金属接触电极一,所述P型重掺杂锗层上设有与P型重掺杂锗层相连的金属接触电极二,所述锗硅探测器在器件有源区形成PINIP型整体掺杂结构。将宽光谱光源垂直入射锗硅探测器根据入射波长光源不同被锗材料或硅材料吸收光子,通过控制锗硅探测器外部施加电压选择硅‑PIN光电探测器结构或者锗‑PIN光电探测器结构来实现电压控制的宽光谱探测,拓宽锗硅探测器应用领域。
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公开(公告)号:CN115903130B
公开(公告)日:2023-09-01
申请号:CN202211498280.4
申请日:2022-11-28
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种基于逆向设计的超表面透镜锥型波导及其波前整形方法,该波导包括输入多模波导端,超表面透镜区域,锥形区域以及输出单模波导端。超表面透镜区域和紧凑的锥形区域通过拓扑优化逆向设计,连接在光信号输入端和输出端之间,光信号经过超表面透镜区域聚焦到锥形区域从输出端输出。本发明基于水平集方法对器件进行拓扑优化逆向设计,利用片上超表面透镜实现了短距离的聚焦,大大地缩短了锥形区域的长度,且插损仅不到1db。本发明主要结合超表面透镜的聚焦效应和逆向设计的优化方法,通过对片上集成光的调控,为在芯片上实现波前整形提供了新的方式,进一步迈向更小型化更紧凑的集成光学器件。
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公开(公告)号:CN115420952B
公开(公告)日:2023-03-24
申请号:CN202211373362.6
申请日:2022-11-04
Applicant: 之江实验室
IPC: G01R27/02
Abstract: 本发明公开了一种高温压阻特性测量平台及方法,该平台包括耐高温压阻测量样品、施力装置单元、局部加热单元、电学测量单元、电路转接板单元和计算机控制单元,所述施力装置单元用于对所述耐高温压阻测量样品施加应力,所述局部加热单元用于对所述耐高温压阻测量样品的压力敏感区域进行局部加热,所述电学测量单元用于分别测量受热和受力前后所述耐高温压阻测量样品电阻值的变化,所述电路转接板单元用于将所述耐高温压阻测量样品的电学信号引出并与所述电学测量单元连接,所述计算机控制单元用于控制所述施力装置单元的施加应力、控制所述局部加热单元的加热温度及实时精确测量并记录所述电学测量单元的测量结果。
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公开(公告)号:CN115165102B
公开(公告)日:2023-01-10
申请号:CN202211069036.6
申请日:2022-09-02
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种大带宽高分辨率紧凑型的片上光谱仪及检测方法,包括输入端口光栅、微环谐振器、刻蚀衍射光栅以及探测器阵列,各部分之间通过单模波导连接,其中微环谐振器上集成有加热电极,所述加热电极用于调节所述微环谐振器的输出波长,使输出波长覆盖整个自由光谱范围。本发明微环谐振器的输出光谱具有周期性,波长相隔一个自由光谱范围的光从微环谐振器的输出端口输出,记录微环谐振器输出波长调节一个完整的自由光谱范围所需电压,并选取调节电压间隔点数Ncounts;微环谐振器的自由光谱范围FSR等于刻蚀衍射光栅的通道间隔,按照步进点数扫描加热电极电压,即可通过探测器阵列测量完整的光谱,检测方便。
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公开(公告)号:CN115165102A
公开(公告)日:2022-10-11
申请号:CN202211069036.6
申请日:2022-09-02
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种大带宽高分辨率紧凑型的片上光谱仪及检测方法,包括输入端口光栅、微环谐振器、刻蚀衍射光栅以及探测器阵列,各部分之间通过单模波导连接,其中微环谐振器上集成有加热电极,所述加热电极用于调节所述微环谐振器的输出波长,使输出波长覆盖整个自由光谱范围。本发明微环谐振器的输出光谱具有周期性,波长相隔一个自由光谱范围的光从微环谐振器的输出端口输出,记录微环谐振器输出波长调节一个完整的自由光谱范围所需电压,并选取调节电压间隔点数Ncounts;微环谐振器的自由光谱范围FSR等于刻蚀衍射光栅的通道间隔,按照步进点数扫描加热电极电压,即可通过探测器阵列测量完整的光谱,检测方便。
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公开(公告)号:CN113985524A
公开(公告)日:2022-01-28
申请号:CN202111606890.7
申请日:2021-12-27
Applicant: 之江实验室
IPC: G02B6/12
Abstract: 本发明公开了一种基于超材料波导的阵列波导光栅,所述阵列波导光栅包括阵列波导部分、输入平板波导、输出平板波导、输入信道波导、输出信道波导,所述阵列波导部分两端分别与所述输入平板波导和输出平板波导连接,所述输入平板波导末端与所述输入信道波导连接,所述输出平板波导末端与所述输出信道波导连接,所述阵列波导部分包括若干根阵列波导,所述阵列波导为超材料波导,在传统波导的周围周期性地排布亚波长波导得到多层结构,这一结构具有很强的各向异性,这一结构可用作传统波导的包层,使用强各向异性包层包围传统波导,整体形成超材料波导,有效抑制了传统波导的倏逝波及趋肤深度。
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