公开(公告)号：CN114371148B

公开(公告)日：2022-11-08

申请号：CN202210057225.5

申请日：2022-01-19

Applicant: 之江实验室

Inventor： 庞陈雷 ,  杨青 ,  王智 ,  陆宏杰 ,  罗志荣 ,  王兴锋 ,  刘旭

IPC: G01N21/47 ,  G01N21/45 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明公开了一种基于零椭偏暗场照明的散射干涉成像系统及方法，包括照明光路，探测光路和参考光路，所述照明光路的入射端设置有被检测样品，所述探测光路的发射端设置有被检测样品，所述参考光路的入射端设置有所述探测光路；所述照明光路和所述探测光路的连接处设置有零椭偏模块，所述零椭偏模块的一端与照明光路连接，所述零椭偏模块的另一端与探测光路连接。本发明通过照明光路与探测光路的非共路设计，实现对背景杂散光的有效抑制，降低检测系统对探测物镜数值孔径的依赖；同时，结合干涉探测的优势，实现对被检测样品表面小尺寸特征的宽视场高灵敏检测能力。