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公开(公告)号:CN105452539B
公开(公告)日:2017-10-24
申请号:CN201480043900.2
申请日:2014-08-04
Applicant: 丰田自动车株式会社
CPC classification number: C25D5/22 , C25D3/38 , C25D5/02 , C25D5/04 , C25D5/08 , C25D17/00 , C25D17/002 , C25D17/10 , C25D17/12
Abstract: 本发明涉及金属薄膜(F)的薄膜沉积装置(1A),其包括正电极(11)、固体电解质膜(13)、以及在正电极(11)和待为负电极的基底材料(B)之间施加电压的电源部(14)。固体电解质膜(13)允许水含量为15质量%或更大并能够包含金属离子。电源部(14)在正电极和基底材料之间施加电压,在其中固体电解质膜设置在正电极的表面上的状态下,使得由包含在固体电解质膜(13)内部的金属离子制得的金属沉淀在基底材料(B)的表面上。
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公开(公告)号:CN106061124A
公开(公告)日:2016-10-26
申请号:CN201610195708.6
申请日:2016-03-31
Applicant: 丰田自动车株式会社
CPC classification number: C25D5/08 , C23C18/1605 , C23C18/30 , C25D3/00 , C25D5/02 , C25D7/00 , C25D17/00 , C25D17/005 , C25D17/12 , C25D21/10 , C25F3/02 , C25F7/00 , H05K3/242 , H05K3/07 , H05K3/068 , H05K2203/0121
Abstract: 本发明涉及形成布线图案的方法和用于形成布线图案的蚀刻装置。一种形成布线图案的方法包括:a)形成金属底层,所述金属底层包括与电极接触的第一基底布线层、不与电极接触的第二基底布线层、以及将所述第一基底布线层连接到所述第二基底布线层的底部连接层;b)通过电镀在所述金属底层上形成金属镀层;以及c)通过蚀刻去除金属连接部。所述金属连接部是被所述金属镀层覆盖的基底连接层。所述蚀刻包括使包含其中溶解有所述金属连接部的金属的溶液的固体电解质材料与所述金属连接部接触,以及在所述金属连接部与所述固体电解质材料之间施加电压。
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公开(公告)号:CN105637125A
公开(公告)日:2016-06-01
申请号:CN201480057154.2
申请日:2014-11-12
Applicant: 丰田自动车株式会社
CPC classification number: C25D5/06 , C25D3/00 , C25D17/00 , C25D17/002 , C25D17/005 , C25D17/14
Abstract: 提供一种不管阳极的表面状态如何,都能够稳定地形成膜厚均匀的均质金属被膜的金属被膜的成膜装置及其成膜方法。成膜装置(1A)具备:阳极(11);配置于阳极(11)与成为阴极的基材(B)之间的固体电解质膜(13);和对阳极(11)与基材(B)之间施加电压的电源部(14)。一种装置,使固体电解质膜(13)接触基材(B)的表面,对阳极(11)与基材(B)之间施加电压,由固体电解质膜(13)的内部所含有的金属离子在基材(B)的表面析出金属,由此形成包含金属的金属被膜(F)。成膜装置(1A)具备载置基材(B)的载置台(21),载置台(21)具有吸引部(22),吸引部(22)在形成金属被膜(F)时,从基材(B)侧吸引固体电解质膜(13),使得固体电解质膜(13)贴合在基材(B)的表面。
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公开(公告)号:CN104818513B
公开(公告)日:2017-08-18
申请号:CN201510055656.8
申请日:2015-02-03
Applicant: 丰田自动车株式会社
CPC classification number: C25D17/002 , C25D3/12 , C25D5/06 , C25D21/14 , Y10T428/12875
Abstract: 本发明涉及电镀池(10),其包括阳极室溶液(20)储存于其中的阳极室(12),和将阳极室(12)和阴极(26)相互隔离的隔膜(16),隔膜(16)中的基材添加有有机镀覆添加剂,隔膜(16)选择性地容许阳极室溶液(20)中所含的金属离子透过。
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公开(公告)号:CN104011269B
公开(公告)日:2016-11-02
申请号:CN201380004430.4
申请日:2013-02-21
Applicant: 丰田自动车株式会社
CPC classification number: C25D17/00 , C25D3/00 , C25D3/38 , C25D5/02 , C25D5/022 , C25D5/08 , C25D5/34 , C25D17/005 , C25D17/12 , C25D17/14 , C25D21/14
Abstract: 本发明提供能够在多个基材的表面连续形成期望膜厚的金属被膜的金属被膜的成膜装置及其成膜方法。成膜装置(1A)至少具备阳极(11)、阴极(12)、在上述阳极与成为阴极的基材之间配置于阳极(12)的表面的固体电解质膜(13)、成膜装置(1A)和在阳极(11)与基材(B)之间施加电压的电源部(E)。通过在阳极(11)与基材(B)之间施加电压,由固体电解质膜(13)的内部所含有的金属离子在基材的表面析出金属,从而形成由金属构成的金属被膜(F)。阳极(11)由多孔质体构成,上述多孔质体透过含有金属离子的溶液(L),并且向固体电解质膜(13)供给金属离子。
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公开(公告)号:CN105970258A
公开(公告)日:2016-09-28
申请号:CN201610132860.X
申请日:2016-03-09
Applicant: 丰田自动车株式会社
CPC classification number: C25D17/002 , C25D3/00 , C25D5/04 , C25D5/08 , C25D7/123 , C25D17/12 , C25D5/00 , C25D21/04
Abstract: 本发明涉及膜形成装置和膜形成方法。所述膜形成装置包括:阳极;固体电解质膜,所述固体电解质膜配置在所述阳极和用作阴极的基材之间并且包含金属离子;电源,所述电源在所述固体电解质膜从上方与所述基材接触的状态下在所述阳极和所述基材之间施加电压;和振动部,所述振动部构造成使至少所述阳极在所述固体电解质膜与所述基材接触的状态下振动。
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公开(公告)号:CN105492665A
公开(公告)日:2016-04-13
申请号:CN201480048322.1
申请日:2014-10-02
Applicant: 丰田自动车株式会社
CPC classification number: C25D5/00 , C25D3/00 , C25D3/12 , C25D5/06 , C25D7/12 , C25D17/002 , H01L21/2885
Abstract: 提供一种能够在使固体电解质膜与基材接触的状态下,抑制在它们之间产生氢气的成膜用镍溶液。一种成膜用镍溶液,用于在将固体电解质膜配置于阳极与成为阴极的基材之间,使所述固体电解质膜接触基材,并且对所述阳极与所述基材之间施加电压,由该固体电解质膜的内部所含有的镍离子在所述基材的表面析出镍,由此在所述基材的表面形成包含所述镍的镍被膜时,向所述固体电解质膜供给所述镍离子,所述镍溶液的pH值在4.2~6.1的范围内,所述镍溶液中还包含pH缓冲液,所述pH缓冲液在所述成膜时,在所述pH值的范围内具有缓冲能力,并且不与所述镍离子形成不溶性盐或络合物。
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公开(公告)号:CN105274584A
公开(公告)日:2016-01-27
申请号:CN201510426952.4
申请日:2015-07-20
Applicant: 丰田自动车株式会社
IPC: C25D3/12
Abstract: 本发明涉及成膜用金属溶液和金属膜形成方法。提供了一种用于在成膜时向固体电解质膜供给金属离子的成膜用金属溶液。在成膜时,固体电解质膜配置在阳极与作为阴极的基材之间,并且固体电解质膜与基材相接触且电压被施加在阳极与基材之间以从固体电解质膜中包含的金属离子在基材的表面上析出金属,使得在基材的表面上形成金属的金属膜。所述成膜用金属溶液包含溶剂和在离子状态下溶解在所述溶剂中的金属。所述成膜用金属溶液的氢离子浓度在25℃下处于0至10-7.85mol/L的范围内。
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公开(公告)号:CN103918041A
公开(公告)日:2014-07-09
申请号:CN201280053846.0
申请日:2012-11-12
Applicant: 丰田自动车株式会社
CPC classification number: H01F1/055 , B22F3/10 , B22F3/162 , B22F3/26 , B22F2998/10 , C22C28/00 , C22F1/16 , H01F1/0577 , H01F41/0253 , H01F41/0293 , B22F2009/048 , B22F3/14
Abstract: 本发明提供在晶界相不包含Dy、Tb这样的重稀土金属、浸透有与以往的稀土类磁石相比在低温下提高矫顽力(特别是高温气氛下的矫顽力)的重整合金、而且矫顽力高、磁化也比较高的稀土类磁石及其制造方法。本发明的稀土类磁石(RM)由纳米结晶组织的RE-Fe-B系(RE:Nd、Pr中的至少一种)的主相(MP)与存在于主相(MP)的周围的RE-X合金(X:是金属元素且不包含重稀土元素)的晶界相(BP)构成,各个主相(MP)在各向异性轴取向,并且,从与各向异性轴正交的方向看到的主相的平面形状呈四边形或与其近似的形状。
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