公开(公告)号：CN111074226A

公开(公告)日：2020-04-28

申请号：CN202010084685.8

申请日：2020-02-10

Applicant: 兰州理工大学 ,  中国科学院兰州化学物理研究所

Inventor： 何东青 ,  李文生 ,  尚伦霖 ,  张广安 ,  翟海民 ,  张辛健

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/06 ,  C23C14/54 ,  C23C14/50

Abstract: 本发明提供了一种碳基复合薄膜及其制备方法，属于表面工程领域。本发明以碳靶和金属碳化物靶为溅射靶材，基于闭合场非平衡磁控溅射等离子体空间分布特点及样品转架转速对薄膜结构的影响规律，仅通过样品转架旋转“快-慢”的周期性控制，在沉积过程中自发形成兼具纳米层结构和纳米复合结构的双结构的碳基复合薄膜，碳靶和金属碳化物靶在真空腔体中相对放置，当转架转速快时，沉积出具有纳米复合结构的复合薄膜，当转架转速慢时，沉积出具有纳米多层结构复合薄膜，通过转架转速的调节可实现纳米复合结构中纳米晶的尺寸和纳米多层结构中的调制周期，通过控制样品转架转速周期性调节的时间可实现纳米复合结构层和纳米多层结构层的厚度。

公开(公告)号：CN108707863A

公开(公告)日：2018-10-26

申请号：CN201810369646.5

申请日：2018-04-24

Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所

Inventor： 尚伦霖 ,  周意 ,  吕游 ,  张广安 ,  鲁志斌 ,  刘建北

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/35 ,  C23C14/02

Abstract: 本发明公开了一种阻性类金刚石碳基薄膜材料的制备方法，该方法适合于采用非平衡直流磁控溅射沉积技术在微结构气体探测器电极基体表面依次通过高能等离子体轰击、刻蚀和溅射高纯石墨靶材而制备类金刚石碳基薄膜材料。通过本发明方法不仅可以制备出厚度均匀性好、膜基结合力强的类金刚石碳基薄膜材料，同时可以调控类金刚石碳基薄膜的面电阻率。本发明方法所制备的阻性类金刚石碳基薄膜材料适合用于制作微结构气体探测器的阻性电极，具有很好的应用前景和价值。