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公开(公告)号：CN112647044A
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN202011312329.3
申请日：2020-11-20
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于微纳尺度的致动器技术领域，具体为一种基于可控卷曲二氧化钒薄膜的微纳致动器及其制备方法。本发明的微纳致动器包括表面平整的石英玻璃衬底，以及形成于衬底上的二氧化钒管状结构，该二氧化钒管状结构由具有内应力梯度的二氧化钒薄膜在腐蚀液中释放应力卷曲而得，包括向上卷曲与向下卷曲两种结构；其中，具有内应力梯度的二氧化钒薄膜由两种不同衬底温度下溅射形成。本发明还可以通过调节衬底温度的大小控制卷曲的方向。不同卷曲方向的二氧化钒三维管状结构在温度或光触发相变后具有不同的致动方向和形变量。这种微纳致动器，制备方法简单，成本较低，可大规模生产，对在动态器件中具有广泛应用意义。
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公开(公告)号：CN112523656A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN202011312360.7
申请日：2020-11-20
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于智能窗技术领域，具体为一种基于二氧化钒薄膜卷曲结构的三维可动智能窗及其制备方法。本发明智能窗结构包括：表面平整的石英玻璃衬底，形成于衬底上的由二氧化钒薄膜卷曲而成的管状结构阵列；每个管状结构可独立工作；二氧化钒薄膜在相变前后具有太阳光调控能力。该智能窗的智能控光方式是：室温下卷曲的二氧化钒薄膜使卷曲的区域完全由石英透光，提高透光率；高温下，使卷曲二氧化钒结构因相变产生的应变变化导致曲率变小，直到完全展平在石英表面，重新与衬底贴合形成平面二氧化钒薄膜。本发明在提高室温下透光率的同时，保持高温下对红外限制能力基本不变，从而提高智能窗的太阳光调制能力。制备方法简单，成本较低，可大规模生产。
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公开(公告)号：CN106340626A
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201610870182.7
申请日：2016-10-05
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: H01M4/362 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , H01M4/48 , H01M4/583 , H01M4/625 , H01M10/0525
Abstract: 本发明属于电化学技术领域，具体为一种高容量储锂氧化物纳米薄膜复合膨胀石墨材料及其制备方法。本发明制备步骤为：首先利用原子层沉积的方法在膨胀石墨上生长高容量储锂氧化物（ZnO、TiO2）纳米薄膜；然后将覆盖高容量储锂氧化物（ZnO、TiO2）纳米薄膜的膨胀石墨置于氧化铝坩埚中；并将氧化铝坩埚放入已经设置好一定加热程序的管式炉中，通入适当的气体，进行热处理；冷却后取出，即得高容量储锂氧化物纳米薄膜复合膨胀石墨复合材料。本发明工艺简单，制备温度低，得到的高容量储锂氧化物纳米薄膜复合膨胀石墨既可以保留石墨的超高电导率，同时利用膨胀石墨缓冲高容量储锂氧化物纳米薄膜脱嵌锂过程中的体积变化，保留了储锂氧化物的容量，提高了储锂氧化物的循环稳定性。
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公开(公告)号：CN103638915B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201310686250.0
申请日：2013-12-16
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: Y02W10/37
Abstract: 本发明属于光催化技术领域，具体为一种高催化性质TiO2纳米粉末/多孔材料及其制备方法和应用。本发明制备步骤为：首先利用原子层沉积的方法在海绵上生长TiO2纳米薄膜；然后将覆盖TiO2纳米薄膜的海绵置于氧化铝坩埚中；并将氧化铝坩埚放入已经设置好一定加热程序的管式炉中，通入适当的气氛，进行热处理；冷却后取出，即得高催化性质TiO2纳米粉末/多孔材料。本发明工艺简单，制备温度低，得到的TiO2纳米粉末/多孔材料中的锐钛矿和金红石相具备一定的比例，具有很好的光催化降解能力，因而可应用于光催化领域。
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公开(公告)号：CN102305256B
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201110262186.4
申请日：2011-09-06
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于微纳器件技术领域，具体为一种金属微米/纳米弹簧及其制备方法和应用。制备方法包括：准备一个衬底，在衬底上面存在牺牲层；在牺牲层上面沉积具有内应力以及各向异性的杨氏模量的金属条；选择性地除去在金属条以及衬底之间的部分牺牲层，释放金属条，从而金属条卷曲成为金属纳米/微米弹簧。该金属纳米/微米弹簧可用于流量传感器的测量，具体是将带有金属微米/纳米弹簧的衬底固定在流体通道内部；当流体流过通道时，弹簧达到平衡状态，通过测量弹簧的伸长量来测量流体流速。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102517558A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201110349873.X
申请日：2011-11-08
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: Y02E60/13
Abstract: 本发明属于微纳器件技术领域，具体为一种多孔金属/介质微米管及其制备方法和应用。本发明微米管制备步骤如下：制备多孔阳极氧化铝模板；沉积具有内应力的金属或介质双层薄膜；选择性地腐蚀多孔阳极氧化铝模板，从而形成管壁具有周期排列纳米孔洞结构的微米管。这种特殊结构的多孔金属/介质微米管具有多种重要应用前景。例如，可以卷曲特定材料得到微米尺度的氧化还原超级电容器；可以作为电化学生物分子传感器，将多孔金属/介质微米管浸入溶液中，通过测量其电化学性能变化探测溶液中特定的生物分子。
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公开(公告)号：CN102305256A
公开(公告)日：2012-01-04
申请号：CN201110262186.4
申请日：2011-09-06
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于微纳器件技术领域，具体为一种金属微米/纳米弹簧及其制备方法和应用。制备方法包括：准备一个衬底，在衬底上面存在牺牲层；在牺牲层上面沉积具有内应力以及各向异性的杨氏模量的金属条；选择性地除去在金属条以及衬底之间的部分牺牲层，释放金属条，从而金属条卷曲成为金属纳米/微米弹簧。该金属纳米/微米弹簧可用于流量传感器的测量，具体是将带有金属微米/纳米弹簧的衬底固定在流体通道内部；当流体流过通道时，弹簧达到平衡状态，通过测量弹簧的伸长量来测量流体流速。
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公开(公告)号：CN117352250A
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202311174310.0
申请日：2023-09-13
Applicant: 复旦大学义乌研究院
Abstract: 本发明属于稀土永磁材料技术领域，具体为一种稀土永磁磁粉表面包覆镀层的方法。本发明方法，首先将稀土永磁合金的粗磁粉放置在卧式旋转反应腔体，加热到100~350℃保温2~4小时，依次通入金属镀层前驱体气源以及氢气，使两种气态前驱体在稀土永磁合金粉末表面发生反应并沉积金属镀层，并抽去两种前驱体的反应副产物以及未被吸附和反应的前驱体，每个循环后沉积的厚度为0.5~0.8nm，沉积层的厚度由沉积的循环次数控制。包覆的镀层可以起到优化最终磁体的微观组织结构的作用。本发明作为稀土永磁磁粉的预处理方法，包覆后的稀土永磁磁粉可用于热压和/或热变形、气流磨、热处理、粘接成型等稀土永磁磁体制备工艺。
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公开(公告)号：CN116908259A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202310882230.4
申请日：2023-07-18
Applicant: 复旦大学义乌研究院
Abstract: 本发明属于生物传感器技术领域，具体为一种活体在线实时监测植物体内化学成分的生物传感器。本发明生物传感器把工作电极和参比电极安装在两块基板中间的液体腔内，避免电极插拔植物时受损，提高传感器耐用性；利用微管流技术通过液流微通道把植物体内的液体吸入到液体腔，实时监测植物体内化学成分，保证标定环境和测试环境不变，提高测量准确性。采用多微液流通道，无需工作/参比电极在植物体内测量部位的微米级别的精准定位，提高测定效率和现场的实用性。本生物传感器可实现对植物活体内化学成分的在线监测，对被检测样本不造成本质伤害；得到的数据可实时准确动态的反映植物体内化学成分信息，实际操作简单，有利于植物种植现场的广泛应用。
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公开(公告)号：CN116825927A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202310729898.5
申请日：2023-06-19
Applicant: 复旦大学义乌研究院
Abstract: 本申请涉及半导体光电器件技术领域，尤其涉及一种micro‑LED芯片及其制作方法、显示面板和电子设备，micro‑LED芯片包括目标衬底和三层发光单元，三层发光单元依次叠设于目标衬底上，发光单元包括绝缘围栏、外延层、第一电极和第二电极；相邻发光单元之间均设有绝缘层；绝缘围栏呈环形设置形成安装腔，位于安装腔内的目标衬底和绝缘层表面、绝缘围栏内侧壁均设有反射层；外延层配置于安装腔内，绝缘围栏对外延层进行限位，三层绝缘围栏中的安装腔上下向对准，以使三层外延层在上下向对准，各外延层上设有导通连接的第一电极和第二电极。本申请可以减少目标衬底对光的吸收，从而提高芯片的光输出功率，同时提高转移芯片堆叠的精度，有助于实现多颜色micro‑LED显示。
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