一种玻璃微流控芯片及制作方法

    公开(公告)号:CN1648663B

    公开(公告)日:2011-04-20

    申请号:CN200510023895.1

    申请日:2005-02-06

    Abstract: 本发明提出了一种玻璃微流控芯片及制作方法,更确切地说是一种基于SU-8光敏胶做中间层的微流控芯片及制作方法,本发明采用玻璃作衬底材料,SU-8做中间层,芯片制作过程对玻璃表面的平整度不敏感。本方法通过一层稀释的SU-8层实现先光刻显影制得微管道,再与玻璃盖片直接键合的过程,克服了以往方法先键合,后光刻和显影产生的显影时间不均一,管道不平整的缺点。选用紫外高透过率的石英作衬底材料,利用本法可以方便制备用于紫外吸收检测的微流控芯片。因此本发明建立了一种低成本、高成功率的微流控芯片制作方法。

    一种玻璃微流控芯片的低温键合方法

    公开(公告)号:CN1295508C

    公开(公告)日:2007-01-17

    申请号:CN200510023894.7

    申请日:2005-02-06

    Abstract: 本发明涉及一种玻璃微流控芯片的低温键合方法,其特征在于具体包括(1)在腐蚀出相应图形和完成储液池打孔加工后基片进行表面清洗;(2)基片预键合,清洗后的基片和盖片用去离子水冲洗后,直接在去离子水中将基片和盖片的键合面贴合在一起,转移到培养皿中,然后放置到真空干燥箱中,干燥温度为90-110℃,抽真空使真空度达60-90Pa并保持真空2h完成基片预键合;(3)基片预键合后退火,提高键合强度,在预键合好的基片上面施加0.2-0.4MPa的压力,同时将真空干燥箱的温度设定为180-210℃,抽真空真空度为60-90Pa保持6h后关闭电源,自然冷却至室温。键合过程在非净化条件下完成,基片预键合仅需真空干燥箱中施加一定压力实现高温键合与退火。

    一种玻璃微流控芯片及制作方法

    公开(公告)号:CN1648663A

    公开(公告)日:2005-08-03

    申请号:CN200510023895.1

    申请日:2005-02-06

    Abstract: 本发明提出了一种玻璃微流控芯片及制作方法,更确切地说是一种基于SU-8光敏胶做中间层的微流控芯片及制作方法,本发明采用玻璃作衬底材料,SU-8做中间层,芯片制作过程对玻璃表面的平整度不敏感。本方法通过一层稀释的SU-8层实现先光刻显影制得微管道,再与玻璃盖片直接键合的过程,克服了以往方法先键合,后光刻和显影产生的显影时间不均一,管道不平整的缺点。选用紫外高透过率的石英作衬底材料,利用本法可以方便制备用于紫外吸收检测的微流控芯片。因此本发明建立了一种低成本、高成功率的微流控芯片制作方法。

    一种检测芯片及检测方法
    29.
    发明授权

    公开(公告)号:CN114768894B

    公开(公告)日:2023-08-11

    申请号:CN202110089765.7

    申请日:2021-01-22

    Abstract: 本发明提供一种检测芯片及检测方法,该检测芯片包括气道层、弹性膜层、流体层及底层。本发明的检测芯片集成了样品前处理和PCR核酸扩增功能,可应用于病原微生物等的检测,其中,芯片借助外部气压控制芯片中的微阀开合,活塞驱动微流道中的液体流动,外设加热设备可实现与芯片相连的PCR管的加热。该芯片能够实现病原微生物检测所需的所有功能,包括:细胞裂解、裂解溶液和PCRmix混合、混合液平均分配到与芯片相连的多个PCR管中、PCR扩增、荧光检测器实时记录PCR过程。一体化、自动化的操作流程使用方便、避免操作人员感染、提高了结果的准确性。本发明可望加速病原微生物检测技术的发展,在医院得到广泛使用。

    一种通过微阀结构控制的单液滴分离芯片

    公开(公告)号:CN116139948A

    公开(公告)日:2023-05-23

    申请号:CN202211531136.6

    申请日:2022-12-01

    Abstract: 本发明提供一种通过微阀结构控制的单液滴分离芯片,由上层基片、弹力膜和下层基片自上而下键合而成;上层基片中设有依次连接的液滴密排腔室、流体通道、液滴滴落腔室,与流体通道交汇的油相通道,与液滴滴落腔室连接的毛细管;下层基片中设有气体通道,其与流体通道至少具有一个在竖直方向上的交叠部分,弹力膜在该交叠部分形成具有调节流阻能力的微阀结构;液滴密排腔室用于实现液滴的紧密排列,流体通道与油相通道的交汇结构以及微阀结构共同构成一种液滴间隔控制单元,液滴滴落腔室和毛细管用于单个液滴滴落的形成和导出。根据本发明提供的单液滴分离芯片具有易于加工制作、价格低廉和操作简便等优点,同时还易于和生化分析芯片等进行集成。

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