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公开(公告)号：CN105244391A
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201510755793.2
申请日：2015-11-09
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L31/0352 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521 , H01L31/035209 , H01L31/18
Abstract: 本发明提供一种宽响应谱的太赫兹量子阱光电探测器及其制备方法，所述宽响应谱的太赫兹量子阱光电探测器包括：衬底、下电接触层、第一多量子阱层、中电接触层、第二多量子阱层以及上电接触层。本发明具有以下有益效果：本发明的太赫兹量子阱光电探测器具有非常宽的响应谱，单个器件即可有效覆盖1.5~8THz频率范围，半高宽达2.84THz，比现有普通太赫兹量子阱光电探测器提升约89%。本发明结构和制作方法简单，效果显著，在半导体光电器件技术领域具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN103454255A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201310393494.X
申请日：2013-09-02
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种太赫兹波扫描成像系统及方法，该系统至少包括：发散性太赫兹光源汇聚模块，用于将发散性太赫兹光源发射的太赫兹信号进行收集及汇聚，并将汇聚的太赫兹信号传输给共焦-滤波光路模块；共焦-滤波光路模块，用于对所述太赫兹信号进行滤波并采集样品信息，并将携带样品信息进行滤波后传输给太赫兹信号接收模块；太赫兹信号接收模块，用于提取携带样品信息的太赫兹信号后产生响应信号，该响应信号用于后续的图像还原。本发明的太赫兹波扫描成像系统及方法的获得的图像分辨率接近理论值，图像分辨率得到显著提高，对太赫兹波成像应用技术的发展和推广有重要意义。
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公开(公告)号：CN106996918A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201710183267.2
申请日：2017-03-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N21/3581
CPC classification number: G01N21/3581
Abstract: 本发明提供一种基于光子学技术的太赫兹成像系统，包括光频梳产生模块、光混频器模块、扫描模块、移动平台、聚焦模块、太赫兹探测器模块和终端处理模块，其中，光频梳产生模块产生光拍频信号；光混频器模块将光拍频信号转化成太赫兹信号；扫描模块对太赫兹信号进行准直并聚集到待测物体上；移动平台带动待测物体移动，聚焦模块汇聚从待测物品上散射出来的太赫兹信号；太赫兹探测器模块将太赫兹信号转化成电信号；终端处理模块根据电信号得到待测物体的二维图像。本发明采用光频梳产生模块作为光源，能够消除图像中的干涉现象，显著提高成像质量，同时所需光功率只有掺铒光纤放大器源成像系统的百分之三十以下，大大降低系统成本。
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公开(公告)号：CN106409940A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201611152276.7
申请日：2016-12-14
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L31/0352 , H01L31/109
CPC classification number: H01L31/035272 , H01L31/109
Abstract: 本发明提供一种单行载流子光电二极管的收集区结构，所述收集区结构包括掺杂区和非掺杂区，其中，所述掺杂区靠近吸收区一侧。通过本发明提供的单行载流子光电二极管的收集区结构，解决了现有单行载流子光电二极管因空间电荷效应饱和电流较小的问题，进一步提升了单行载流子光电二极管的饱和电流。
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公开(公告)号：CN103367473A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201210092230.6
申请日：2012-03-31
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L31/0232 , H01L31/0352 , H01L31/101
Abstract: 本发明提供一种金属微腔光耦合太赫兹量子阱光子探测器，包括：半导体衬底、金属反射层、多量子阱结构、以及金属光栅。所述金属光栅、多量子阱结构与金属反射层组成法布里-珀罗结构的金属共振微腔，调整所述金属光栅的周期、金属条的宽度以及多量子阱结构的厚度，使入射光子在腔体内形成符合法布里-珀罗结构的共振模，可以在金属共振微腔中形成强场区，提高了入射光的有效强度，进而提高器件的响应率、探测灵敏度和工作温度。本发明结构简单，效果显著，实用性强，适用于工业生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105606534B
公开(公告)日：2018-09-25
申请号：CN201510923123.7
申请日：2015-12-11
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N21/01
Abstract: 本发明提供一种太赫兹近场信号转换器，所述太赫兹近场信号转换器包括：近场耦合放大模块，适于将被测样品的太赫兹近场信号放大并转换为传输波；远场传输模块，适于将传输波收集并汇集至太赫兹探测器敏感元上进行探测。本发明太赫兹近场信号转换器具备将太赫兹近场信号转换为远场信号的功能，使太赫兹近场信号可以被普通远场探测器所探测，确保了近场信息不丢失，从而使测量结果精度和准确性得到改善；太赫兹近场信号转换器的使用无需采用相干探测技术，降低了测试系统复杂程度，提高了近场技术的可操作性。
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公开(公告)号：CN103487943B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201310471301.8
申请日：2013-10-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G02B27/09
Abstract: 本发明涉及一种激光点光源簇的产生装置，包括用于产生激光束（21）的激光源（11）、位于激光器一侧并设有通孔的光阑（12）以及位于光阑一侧、均匀分布微孔的滤纸（13）；所述激光源（11）产生的激光束（21）经过光阑（12）的通孔后被限制为与通孔直径相等的入射激光束（22），该激光束（22）垂直入射滤纸（13）表面发生衍射，产生与入射激光束（22）束径等大的激光点光源簇，形成点发散激光（23）。本发明装置结构简单，激光源的选则广泛，易于实现，适合作为光路校准过程中的点发散光源。
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公开(公告)号：CN103367518A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201210092931.X
申请日：2012-03-31
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L31/101 , H01L31/0272 , H01L31/0304 , G01J1/42
Abstract: 本发明提供一种表面等离激元耦合太赫兹量子阱探测器，包括：半导体衬底、下电极、多量子阱结构、上电极、以及金属光栅。所述金属光栅用于实现入射光子的极性偏转，调整所述金属光栅的周期、金属条的宽度以及上电极的电子掺杂浓度、上电极的厚度，能使入射光子与所述上电极中的电子相互作用以在所述上电极表面形成表面等离激元。由于器件厚度仅为2~5µm，在太赫兹频段处于亚波长范围，因而，表面等离激元对应的衰逝波在共振频率处能够提高器件子带吸收效率，并且提高器件响应率和工作温度。
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公开(公告)号：CN102749341A
公开(公告)日：2012-10-24
申请号：CN201210239697.9
申请日：2012-07-11
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于太赫兹量子器件的断层扫描成像系统和方法，系统包括太赫兹源部分、传输汇聚光路系统、旋转平行扫描台以及太赫兹信号检测部分，太赫兹源部分包括太赫兹量子级联激光器、驱动电源以及斩波扇；传输汇聚光路系统包括第一离轴抛面镜组和第二离轴抛面镜组；太赫兹信号检测部分包括太赫兹量子阱探测器、信号处理模块以及锁相放大器。方法为太赫兹量子级联激光器出射连续太赫兹波由斩波扇调制，被离轴抛面镜组汇聚于样品上，太赫兹波透过样品通过另一组抛面镜汇聚到太赫兹量子阱探测器上，产生响应光电流，将光电流信号转换成电压信号，通过低噪声放大器放大，由锁相放大器读出数据。本发明可以有效的获取了样品断层的图像信息。
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公开(公告)号：CN102445420A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201110308833.0
申请日：2011-10-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N21/27
CPC classification number: G01N21/3581 , G01N2021/5973
Abstract: 本发明提供一种基于太赫兹量子器件的透射成像装置及成像方法，该装置包括光源部分、光路部分、检测部分；光源部分包括驱动电源、第一冷头、安装于第一冷头内的第一热沉、安装于第一热沉上的太赫兹量子级联激光器、安装于第一冷头上的第一聚乙烯窗片；光路部分包括第一离轴抛物镜、第二离轴抛物镜、二维电动平移台、第三离轴抛物镜、第四离轴抛物镜；检测部分包括第二冷头、安装于第二冷头上的第二聚乙烯窗片、安装于第二冷头内的第二热沉、安装于第二热沉上的太赫兹量子阱探测器、信号处理电路、示波器、计算机。本发明的优点在于采用的太赫兹辐射源可工作于脉冲模式，且作为信号检测器的太赫兹量子阱探测器可有效提高系统的成像速度和成像质量。
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