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公开(公告)号：CN103235272B
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201310151173.9
申请日：2013-04-26
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01R33/032
Abstract: 一种用于测量等离子体中高能电子束伴生磁场的高能电子束磁场诊断仪，包括同步装置、飞秒激光器和矩形的真空不锈钢腔体，通过在探测光路中简单地垂直插入合适厚度的高性能玻璃薄片，对穿过该玻璃片的那部分探测光进行光路延时，实现了在单次条件下对等离子体中电子束磁场的多时间点测量，本发明具有测量效率高、操作简单、方便高效、应用范围广的优点。
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公开(公告)号：CN102207462B
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201110123469.0
申请日：2011-05-13
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01N21/66
Abstract: 一种荧光板电子束成像系统对高能电子束电量响应的标定方法，该方法是将成像系统的荧光板的电子入射面覆盖一层电子成像板，并将能谱连续分布的高能量大发散角的电子束通过铝板滤掉低能量电子后同时辐照在电子成像板和荧光板上，利用所述的CCD探测器记录电子束通过电子成像板和电子束通过荧光板上同等面积的计数值；通过已知的电子成像板获得电量信息，从而确定荧光板计数值与电量的对应关系。利用本方法可以对激光尾波场加速实验中的荧光板电子束成像系统进行简单的电量响应标定，而无需标准电子束源。
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公开(公告)号：CN114137800A
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202111342506.7
申请日：2021-11-12
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种用于极紫外(EUV)光刻光源中喷嘴的清洗装置，包括：供清洗液放置的清洗罐和清洗皿，管道、过滤器、第一阀门、气压控制装置、气瓶、第二阀门和负压泵；采用超纯水或者易挥发的清洁液体清洗喷嘴，清洗过程采用正压和负压相结合的方式，使得喷嘴内的污染物倒吸到清洗罐中。本发明安装方便，易于操作，适用于EUV光刻光源中微小喷嘴的前期清洗。
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公开(公告)号：CN107508126B
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201610421082.6
申请日：2016-06-14
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: H01S3/10
Abstract: 本发明公开了一种含离轴抛面镜的激光光路调节方法。离轴抛面镜可以避免激光在穿透介质时所产生的非线性效应，本发明通过使用离轴抛面镜，为保证激光聚焦后的光束质量，在光路调节中，利用公式计算，根据相似三角形的性质将激光光路调节至目标位置，不改变离轴抛面镜对激光的聚集特性，不破坏光束质量，具有操作简单、方便高效、应用范围广的优点。本发明可用于激光等离子体相互作用领域，特别是激光等离子体尾波场加速电子机制中，可提供好的激光光束质量用于聚焦打靶。
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公开(公告)号：CN106163075B
公开(公告)日：2018-04-13
申请号：CN201610551539.5
申请日：2016-07-14
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: H05H7/02
Abstract: 一种充气型放电毛细管的夹持装置，包括支撑底座，支撑架、铜电极，夹持管套，密封圈，挤压管套，密封管套，螺纹钢套，电线、橡皮垫、螺丝。本发明的特点在于结构简单紧凑，操作方便，夹持稳定性好，充气放电稳定，可多次使用且方便更换毛细管，而且密封性很好。本发明可用于基于充气型放电毛细管的激光等离子体相互作用领域，特别是激光尾波场加速电子。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105606488A
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201610016650.4
申请日：2016-01-11
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01N9/24
CPC classification number: G01N9/24
Abstract: 一种易调节的气体密度测量系统，包括格林棱镜、透镜、直角反射棱镜、可调节光学镜架、水平导轨、CCD，本发明能够有效的测量气体密度的分布，具有操作简单，方便高效，应用范围广泛的优点。本发明利用光束进入直角反射棱镜后平行于原光束出射的特点，实现调节直角反射棱镜时，只有一个维度上对光束产生影响，从而降低系统调节的复杂性。本发明可用于激光等离子体相互作用的领域，特别是等离子体尾波场加速电子机制中，探测等离子体通道的形成以及气体密度的分布。
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公开(公告)号：CN104638503A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201510080857.3
申请日：2015-02-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种多脉冲组合泵浦的LPP-EUV光源系统，由泵浦激光脉冲源组、脉冲延时调节装置组、光束指向调节装置组、LPP-EUV发生装置和同步信号控制器构成。由泵浦激光脉冲源组输出泵浦脉冲，经脉冲延时调节装置组和光束指向调节装置组而产生脉冲组合，然后进入LPP-EUV发生装置作用于靶材，各泵浦激光脉冲源的触发信号由同步信号控制器产生。利用该系统既能突破单脉冲泵浦激光源功率不足的限制，又可以通过调整泵浦脉冲组合以优化能量转化效率，从而提高LPP-EUV光刻光源的功率输出能力。
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公开(公告)号：CN104159390A
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：CN201410422505.7
申请日：2014-08-26
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: H05H7/00
Abstract: 一种高精度可控喷嘴气池，构成包括：超音速气阀、调整平台，扁长椭圆喷口、前挡板、后挡板、前刀片、后刀片、缓存高压气瓶和喷嘴气阀控制器，本发明能有效提供一种边缘密度梯度陡峭变化而中间稳流的气体通道。具有操作简单、方便高效、高精度调节、气体密度分布稳定、可控的优点。本发明可用于激光等离子体相互作用领域，特别是激光等离子尾波场加速电子机制中，可提供稳定、可调的气体介质通道，可有效解决传统毛细管、气池等产生气体通道时的不稳定、操作复杂、精度不够、高电压等缺点。
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公开(公告)号：CN103887693A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201410081766.7
申请日：2014-03-07
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: H01S3/10
Abstract: 一种超短激光脉冲飞秒量级延时同步方法，本发明通过使用两束飞秒脉冲光由同源飞秒脉冲分束而成的方法，可有效解决飞秒脉冲间的时间抖动问题，同时运用频谱干涉方法可以在飞秒(fs)精度内控制测量并监控两同源飞秒脉冲间的延时。此方法可结合激光等离子尾波场电子加速机制，可有效解决当前传统射频X射线自由电子激光器(X-FEL)难以解决的注入信号与电子束时间同步的问题，此方法由于注入信号和电子束均由同源飞秒脉冲产生激发，因此只需控制被分束的飞秒脉冲间的延时，即可实现注入种子源的有效注入。
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公开(公告)号：CN103235272A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201310151173.9
申请日：2013-04-26
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01R33/032
Abstract: 一种用于测量等离子体中高能电子束伴生磁场的高能电子束磁场诊断仪，包括同步装置、飞秒激光器和矩形的真空不锈钢腔体，通过在探测光路中简单地垂直插入合适厚度的高性能玻璃薄片，对穿过该玻璃片的那部分探测光进行光路延时，实现了在单次条件下对等离子体中电子束磁场的多时间点测量，本发明具有测量效率高、操作简单、方便高效、应用范围广的优点。
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