公开(公告)号：CN217721145U

公开(公告)日：2022-11-01

申请号：CN202221917151.X

申请日：2022-07-25

Applicant: 中国电子科技集团公司第二十六研究所

Inventor： 刘娅 ,  马晋毅 ,  张祖伟 ,  杨冬 ,  徐阳 ,  杨靖 ,  许若娴 ,  许东辉

IPC: H03H3/02 ,  H03H9/10

Abstract: 本专利涉及一种薄膜体声波滤波器气密性晶圆级封装结构，属于薄膜体声波滤波器晶圆封装技术领域；所述封装结构包括功能晶圆和玻璃晶圆，所述功能晶圆与所述玻璃晶圆通过阳极键合连接；所述功能晶圆包括硅衬底，所述硅衬底上开设有空腔，在所述硅衬底上设置有掩埋所述空腔的膜层结构，在所述膜层结构的两肩处形成有向上凸起的焊盘电极；所述玻璃晶圆上开设有凹槽并形成封盖，所述封盖覆盖所述焊盘电极和所述膜层结构，且通过盖沿与功能晶圆连接；在所述封盖的顶盖处开设有盲孔，在所述盲孔内填充有电镀的金属材料，将所述焊盘电极从盲孔引出；本专利采用硅和玻璃进行阳极键合，降低工艺难度，同时节约成本。

公开(公告)号：CN209478044U

公开(公告)日：2019-10-11

申请号：CN201920206272.5

申请日：2019-02-18

Applicant: 中国电子科技集团公司第二十六研究所 ,  中电科技集团重庆声光电有限公司

Inventor： 袁宇鹏 ,  张祖伟 ,  王浩 ,  杨靖 ,  李小飞 ,  王登攀 ,  王露

IPC: B25B11/00

Abstract: 本实用新型提供一种传感器测试夹具，包括位于底座上的三个螺纹进给机构；底座上具有设有集成模块的穿孔，螺纹进给机构包括螺杆、支撑座和滑座，螺杆以螺纹连接的方式穿过支撑座后伸入滑座内，螺纹进给机构包括x向螺纹进给机构、y向螺纹进给机构和z向螺纹进给机构，x向螺纹进给机构的滑座上固定有y向螺纹进给机构的支撑座，y向螺纹进给机构的滑座位于x向螺纹进给机构的滑座上，且x向螺纹进给机构的滑座与y向螺纹进给机构的滑座设置有与穿孔正对的通孔，y向螺纹进给机构的滑座上固定有z向螺纹进给机构的支撑座，所述z向螺纹进给机构的滑座在所述通孔内上下滑动。本实用新型结构简单，且能准确测试不同的气室和集成模块。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利