基于MEMS技术的阵列式气味检测元件

    公开(公告)号:CN102590450B

    公开(公告)日:2015-12-16

    申请号:CN201210018690.4

    申请日:2012-01-20

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及气敏传感器领域,具体是一种基于MEMS技术的阵列式气味检测元件。解决了现有电子鼻所用气敏传感器阵列中的个体存在响应特性漂移不一致的问题。所述检测元件包括半导体基底,以及在半导体基底上采用MEMS加工工艺加工得到的:气味敏感单元、用以检测气味敏感单元工作温度的感温单元、用以将气味敏感单元加热至所需工作温度的加热单元;所述气味敏感单元包含按照阵列排布的若干气敏型金属氧化物薄膜,且各薄膜为尺寸参数各异的同种气敏型金属氧化物,各薄膜上分别设有两个用于与数据采集设备连接的电极。本发明结构简单,能采用目前发展已较成熟的MEMS技术加工实现,利于实现电子鼻的集成化、小型化,且方法合理,识别准确。

    航空发动机燃气成分及浓度监测系统

    公开(公告)号:CN207379917U

    公开(公告)日:2018-05-18

    申请号:CN201721531743.7

    申请日:2017-11-16

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本实用新型公开一种航空发动机燃气成分及浓度监测系统,属于气体检测的技术领域,包括信号发射装置、信号接受装置、防护装置、光源系统以及控制系统;信号发射装置和信号接受装置分别设置在航空发动机燃烧室相对的两侧;防护装置包括密封设置在航空发动机燃烧室相对两侧上的石英光学窗口以及分别设置在信号发射装置和信号接受装置外的保护罩;石英光学窗口可通过光的光谱范围为1000‑5500nm;光源系统包括可调谐半导体激光器以及光纤耦合器;控制系统包括光电探测器、信号放大器、锁相解调模块以及存储模块;信号发射装置通过光纤与光纤耦合器电连接;信号接受装置通过同轴电缆与光电探测器电连接。该系统实现了对航空发动机燃气进行原位检测。

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