双质量式硅微振动陀螺仪
    21.
    实用新型

    公开(公告)号:CN203837718U

    公开(公告)日:2014-09-17

    申请号:CN201420199230.0

    申请日:2014-04-22

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本实用新型公开一种双质量式硅微振动陀螺仪包括基座、第一子结构、第二子结构和子结构连接装置,第一子结构和第二子结构之间通过子结构连接装置连接,所述的第一子结构和第二子结构均为角速度测量子结构,所述的角速度测量子结构包括质量块、固定在基座上的第一固定基座、固定在基座上的第二固定基座、固定在基座上的第三固定基座、固定在基座上的第四固定基座、第一驱动机构、第二驱动机构、第一检测机构、第二检测机构、第一驱动平行梁、第二驱动平行梁、第一检测平行梁、第二检测平行梁和若干U型折叠梁。

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