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公开(公告)号：CN114593052B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202011412108.3
申请日：2020-12-04
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空干泵技术领域，具体地说是一种变型线罗茨转子及设计方法，转子型线包括圆弧包络线、过渡圆弧和切圆圆弧，其中圆弧包络线设于转子相邻叶之间且凹向转子圆心，切圆圆弧设于转子叶顶部，且所述切圆圆弧通过过渡圆弧与相邻的圆弧包络线相连。本发明通过对常规罗茨转子进行顶部切圆，以转子顶部面密封来代替原先的线密封，从而大大降低了压缩气体的反流率，提高了转子的极限压力与压缩比，同时降低了转子型线干涉的几率，避免了转子卡死。
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公开(公告)号：CN114607598A
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202011445831.1
申请日：2020-12-09
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空罗茨泵领域，具体地说是一种具有渐变形状系数的罗茨转子及其设计方法，转子的形状系数沿着轴向方向逐渐变化，且变化趋势为一个连续函数，并且变化趋势至少包括逐渐递减和逐渐递增中的一种，转子的最大形状系数为理论最大值Cmax，转子腰部为凹部A，转子外侧为顶部B，且两个转子配合时，其中一个转子的顶部B嵌入另一个转子的凹部A中。本发明转子的形状系数在沿着轴向的方向上逐渐变化，并形成大形状系数段和小形状系数段，其中大形状系数段的转子可以达到形状系数的理论最大值，因此罗茨泵的容积利用系数和抽速显著提高，而小形状系数段的转子可以充当大形状系数段转子的肋板，对整个转子起到加强作用。
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公开(公告)号：CN110629168B
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN201911042223.3
申请日：2019-10-30
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明涉及一种真空镀膜机的蒸发装置，其包括：蒸发舟、加热系统、布气系统，蒸发舟包括有蒸发舟内层、蒸发舟外层和活动盖板，蒸发舟内层位于蒸发舟外层与活动盖板之间，活动盖板开设有多个蒸发孔，蒸发舟内层上开设有与蒸发孔对应的蒸发凹槽；加热系统包括多个相对独立的蒸发源，蒸发源设置有内坩埚，内坩埚嵌套于蒸发凹槽内，蒸发源能够对放置在内坩埚内的物体进行加热；设置多级二元型结构的布气管路，实现进气量的均匀性的控制，使蒸发气体与外部通入气体可以充分混合，形成均匀的复合薄膜。本发明采用蜂窝状结构的蒸发源加热效率高，能够保证材料的大面积加热蒸发时的均匀性，减少溅射现象，适用于大面积高速卷绕镀膜工艺。
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公开(公告)号：CN111366744A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201811601895.9
申请日：2018-12-26
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空泵测试领域，具体地说是一种干式真空泵内部流场测量系统及测量方法，包括示踪粒子发生组件、透明干式真空泵、脉冲激光器、片光源、CCD相机和同步控制器，其中脉冲激光器发出的脉冲激光经片光源后射入透明干式真空泵的泵腔内，CCD相机设于透明干式真空泵一侧且镜头方向与所述片光源的照射方向垂直，所述脉冲激光器和CCD相机通过所述同步控制器控制。本发明利用示踪粒子、脉冲激光器和CCD相机获得透明干式真空泵在正常抽气过程中泵腔流场内的气体流动特性，并且还可以模拟多级泵抽气过程中某一级泵腔的抽气情况，从而完成多级泵抽气过程中单级泵腔的流场测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111365221A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201811601913.3
申请日：2018-12-26
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC: F04B51/00
Abstract: 本发明涉及集成干泵测试台控制方法，该控制系统由流量控制单元、温度控制单元、压力控制单元及待测泵检测单元组成。该系统的主要特点是可实现一种控制量单独控制或多种控制量同时控制，通过对温度、流量、真空度、转速的控制，可以模拟干泵在带负载情况下的性能。所测数据均集成到PLC中分析处理，所有阀门均为电控阀门，系统可以全面实现自动化。
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公开(公告)号：CN109737034A
公开(公告)日：2019-05-10
申请号：CN201910109694.5
申请日：2019-02-11
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明属于干式真空泵系统领域，尤其涉及一种含有泵前冷凝器的干式真空系统。该系统包括真空泵单元和泵前冷凝单元，所述泵前冷凝单元包括泵前冷凝器，所述泵前冷凝器包括五个端口；泵前冷凝器的第一端口通过物料进管与真空物料入口连接，第二端口通过第一物料管与真空泵单元连接，第三端口与冷凝液排出管连接，第四端口和第五端口分别通过第三冷冻盐水出管和第三冷冻盐水进管与第三冷冻盐水出口和第三冷冻盐水入口连接。本发明提供一种含有泵前冷凝器的干式真空系统，该系统中在真空泵之前设置泵前冷凝器，作为可凝性气体的捕集单元，改善真空泵及管路容易产生积水现象。
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公开(公告)号：CN106290269B
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201610585124.X
申请日：2016-07-22
Applicant: 东北大学
IPC: G01N21/64
Abstract: 一种复合型微生物快速检测方法及微芯片系统，其中微芯片系统由三层芯片组成，中层微通道芯片上的样品入口连通液体混合通道，液体混合通道连通环形凹槽；环形凹槽连通LAL检测通道和ATP检测通道；上层平板芯片上分布孔道；下层功能器件芯片上设有压电传感器、光电倍增器和温度传感器。检测方法为：（1）将微生物样品溶液引入至中层微通道芯片；（2）再将样品溶液引入LAL检测通道的LAL反应池中与LAL试剂发生凝胶反应；（3）根据压电传感器的数值变化检测出微生物种类；（4）将样品溶液引入ATP检测通道的ATP反应池与ATP试剂发生荧光反应；（5）根据光电倍增器测出的光强大小检测出微生物样品溶液中的微生物含量。
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公开(公告)号：CN109336047A
公开(公告)日：2019-02-15
申请号：CN201811168892.0
申请日：2018-10-08
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明涉及一种基于MEMS工艺的多层结构离子源芯片，包括底层硅、中间层玻璃、导电硅和顶层玻璃；底层硅上侧设有电极层和碳纳米管；中间层玻璃两侧分别设电极层；顶层玻璃下侧设电极层；底层硅与中间层玻璃结合，中间层玻璃及顶层玻璃分别与导电硅结合。中间层玻璃对应碳纳米管的上方区域为栅网结构，对中间玻璃层下侧电极层和底层硅电极层施加高电压激发碳纳米管产生电子，电子透过中间层玻璃的栅网结构进入该中间层玻璃上方的电离室中，在电离室内与待测气体样品发生碰撞产生离子，离子被设置在该电离室后方的离子提取与聚焦区引出和聚焦并加速。本发明的离子源芯片为“硅-碳纳米管-玻璃-硅-玻璃”的多层结构，具有体积小重量轻、低功耗、便携化等优点。
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公开(公告)号：CN108443142A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201810479034.1
申请日：2018-05-18
Applicant: 东北大学
Abstract: 一种双侧双级涡旋干式真空泵，属于容积式真空泵技术领域。所述双侧双级涡旋干式真空泵包括电动机、曲拐轴、涡旋动盘、左涡旋定盘和右涡旋定盘，左涡旋定盘和右涡旋定盘与涡旋动盘之间分别形成的配合腔为涡旋工作腔，涡旋动盘左侧从外圈至内圈均设有涡旋齿，位于内圈的涡旋齿的齿高高于位于外圈的涡旋齿的齿高，所述涡旋动盘右侧只有外圈设有涡旋齿，所述涡旋工作腔包括第一级涡旋工作腔和第二级涡旋工作腔，所述涡旋动盘内设置气流通道使所述第一级涡旋工作腔和所述第二级涡旋工作腔相通。所述双侧双级涡旋干式真空泵可以在完全清洁、无油的基础上具有抽速大、压缩比和极限真空度高的特点，且泵体产热量少、散热好，有利于长期稳定运行。
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