公开(公告)号：CN109270613A

公开(公告)日：2019-01-25

申请号：CN201811029956.9

申请日：2018-09-05

Applicant: 上海大学

Inventor： 杨光 ,  曹琎 ,  王多金 ,  何晓燕 ,  刘斌 ,  陈宏飞 ,  高彦峰

IPC: G02B5/18

Abstract: 本发明公开了一种采用网格电极显微热极化工艺制备可见-红外衍射光栅的制备方法，所用材料主要包括以表面涂覆了硅片作为盖玻片，采用材料为Cu、Ni、Ag或Au金属的网格作阳极，以硅片作阴极，对硫系玻璃进行显微热极化处理，采用周期性电场和热场方法，可实现多种微米级显微结构的衍射光栅的印刷，可通过调整金属网格尺寸和热极化参数中的气氛、电压、温度及时间，来达到控制样品的周期性与形貌，本发明方法相对传统材料制备效率可提高数倍至数十倍，能一次性将所需图案印刷在光学材料样品上，实现图案分辨率可达微米甚至纳米级水平，微结构分布与尺寸的形貌和原子或分子结构的成份可控，制备效率高。

公开(公告)号：CN105842767B

公开(公告)日：2018-05-01

申请号：CN201610286749.6

申请日：2016-05-04

Applicant: 上海大学

Inventor： 杨光 ,  陈宏飞 ,  罗宏杰 ,  高彦峰

IPC: G02B5/18

Abstract: 本发明公开了本发明涉及一种采用显微图案电极热极化制备衍射光学元件的设备及方法，该设备包括复合钠钙硅玻璃、阳极、阴极、加热装置、纳米Ag颗粒、热电偶、绝缘陶瓷、不锈钢盒子、第一控制器、电脑、第二控制器、气体进出口，阳极、阴极分别位于复合钠钙硅玻璃的两侧。该热场和周期性电场设备可实现多种纳米/微米级显微结构的衍射光学元件。本发明可以通过调整热极化电压、温度、时间和Si阳极上的显微图案的周期性与形貌来电压达到控制样品的周期性与形貌。该设备可以一次实现大面积纳米/微米级显微结构的衍射光学元件，相对传统材料制备效率可提高数倍至数十倍。