半导体存储器件
    21.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108987405A

    公开(公告)日:2018-12-11

    申请号:CN201810223620.X

    申请日:2018-03-19

    Abstract: 可以提供一种半导体存储器件,其包括:基板,包括第一块和第二块,第一块和第二块每个具有单元阵列区域和连接区域;堆叠,包括绝缘层和栅电极并从单元阵列区域延伸到连接区域;第一单元沟道结构,在第一块的单元阵列区域中并穿过该堆叠以电连接到基板;第一虚设沟道结构,在第一块的连接区域中并穿过该堆叠;第二单元沟道结构,在第二块的单元阵列区域中并穿过该堆叠;以及第二虚设沟道结构,在第二块的连接区域中并穿过该堆叠。第一虚设沟道结构与基板电绝缘,而第二虚设沟道结构电连接到基板。

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