无监督的晶圆缺陷检测方法、装置、设备及存储介质

    公开(公告)号:CN114998330A

    公开(公告)日:2022-09-02

    申请号:CN202210894978.1

    申请日:2022-07-28

    Abstract: 本发明属于晶圆检测技术领域,公开了一种无监督的晶圆缺陷检测方法、装置、设备及存储介质。该方法包括:获取初始晶圆检测数据集;利用预设无监督自编码器为初始晶圆检测数据集中的无标签晶圆检测数据制作伪标签,生成目标晶圆检测数据集;根据目标晶圆检测数据集对预设分类器进行训练,得到训练好的目标分类器;在接收到待检测晶圆数据时,利用目标分类器对待检测晶圆数据进行检测,得到晶圆缺陷检测结果。通过上述方式,为无标签晶圆检测数据制作伪标签,利用有标签数据和伪标签数据对目标分类器进行训练,使得目标分类器学习到不同的缺陷特征,能够识别到未知的缺陷种类,提高了晶圆缺陷的检测精度。

    工件缺陷检测方法、装置、电子设备及可读存储介质

    公开(公告)号:CN114782451A

    公开(公告)日:2022-07-22

    申请号:CN202210715388.8

    申请日:2022-06-23

    Abstract: 本申请公开了一种工件缺陷检测方法、装置、电子设备及可读存储介质,所述工件缺陷检测方法包括:获取待测工件的偏振光强信息,依据所述偏振光强信息,确定待测工件对应的总光强信息、对应的偏振度信息以及对应的偏振角信息;对所述总光强信息、所述偏振度信息以及所述偏振角信息进行加权聚合,得到工件偏振特征图像;对所述工件偏振特征图像进行工件边缘轮廓检测,得到边缘轮廓特征信息;依据所述边缘轮廓特征信息,对所述待测工件进行工件缺陷检测,得到工件缺陷检测结果。本申请解决了工件缺陷检测准确度低的技术问题。

    缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质

    公开(公告)号:CN114235759B

    公开(公告)日:2022-06-14

    申请号:CN202210174486.5

    申请日:2022-02-25

    Abstract: 本发明属于晶圆缺陷检测领域,公开了一种缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质。该方法包括:获取待检测晶圆的光致发光检测结果;根据所述光致发光检测结果和预设热力图模型生成所述待检测晶圆对应的缺陷热力图,所述预设热力图模型基于电致发光缺陷标记后的光致发光检测结果样本构建;根据所述缺陷热力图确定所述待检测晶圆的缺陷检测结果。由于本发明是根据光致发光检测结果通过预设热力图模型生成待检测晶圆对应的缺陷热力图,根据缺陷热力图确定待检测晶圆的检测结果。相对于现有的通过晶圆的光致发光检测结果和电致发光检测结果确定晶圆的缺陷检测结果的方式,本发明上述方式能够提高晶圆的检测效率和检测精度。

    拉曼光谱的峰位分析方法、系统、终端设备及介质

    公开(公告)号:CN113989578B

    公开(公告)日:2022-04-26

    申请号:CN202111608055.7

    申请日:2021-12-27

    Abstract: 本发明公开了一种拉曼光谱的峰位分析方法、系统、终端设备以及计算机可读存储介质,该拉曼光谱的峰位分析方法的步骤包括:基于预设的滑动PCA模型和预设的分类预测模型对所述拉曼光谱进行划分得到多个光谱区间和多个所述光谱区间对应的F1分数,并基于多个所述F1分数从多个所述光谱区间确定最优光谱区间;获取所述最优光谱区间内的原始光谱和所述原始光谱中的多个光谱峰位,并确定多个所述光谱峰位对应的峰位区间的中间位置;根据所述中间位置确定峰均值组,基于多个所述峰均值组对所述原始光谱中的多个所述光谱峰位进行排序,并针对排序后的多个光谱峰位进行分析。本发明能够提高针对拉曼光谱峰位进行分析时的分析效率。

    拉曼光谱数据处理方法、装置、设备与可读存储介质

    公开(公告)号:CN113971747B

    公开(公告)日:2022-04-26

    申请号:CN202111593447.0

    申请日:2021-12-24

    Abstract: 本发明公开了一种拉曼光谱数据处理方法、装置、设备与可读存储介质,属于数字信号处理技术领域。本发明通过获取原始光谱数据,对所述原始光谱数据进行降维,得到降维后的光谱信息;并基于所述原始光谱数据,获取平移特征信息;将所述光谱信息和所述平移特征信息进行特征拼接,以得到新的特征表示方法,使用本发明中的新的特征表示方法进行预测,能够有效地避免测试时间不同引起的采样点平移的影响,并且显著提升预测模型的预测精度以及模型的泛化能力,提高了检测效率。

    目标类别判定方法
    267.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113963225B

    公开(公告)日:2022-04-26

    申请号:CN202111584922.8

    申请日:2021-12-23

    Abstract: 本申请公开了一种目标类别判定方法,所述目标类别判定方法包括:获取待测样本集对应的目标光谱数据,基于树状种类判别结构和所述待测样本集对应的目标光谱数据,对所述待测样本集进行逐级预测,获得所述待测样本集对应的种类预测结果,其中,所述树状种类判别结构包括多层级样本种类判别模型,不同层级的样本种类判别模型为基于不同光谱区分程度的白酒样本集对应的光谱数据进行训练得到。本申请解决白酒样品种类检测的效率低以及准确性低的技术问题。

    微夹持装置
    268.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114058474A

    公开(公告)日:2022-02-18

    申请号:CN202210031642.2

    申请日:2022-01-12

    Abstract: 本发明涉及微操作技术领域,公开了一种微夹持装置,微夹持装置包括:固定座、第一夹持组件和第二夹持组件,第一夹持组件包括第一夹持臂机构和第一驱动结构,第一夹持臂机构平行于XY平面平行设置,并固定于固定座上,第一驱动结构与第一夹持臂机构连接,用于驱动所述第一夹持臂机构沿X轴或Y轴方向运动;第二夹持组件包括第二夹持臂机构和第二驱动结构,第二夹持臂机构平行于XZ平面平行设置,并固定于固定座上,第二驱动结构与第二夹持臂机构连接,用于驱动所述第二夹持臂机构沿X轴或Z轴方向运动;具备X、Y和Z轴三个方向运动能力,实现对细胞多自由度且高精度的角度调整,第一和第二夹持结构为微小体积的硅,降低生产成本。

    目标类别判定方法
    269.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113963225A

    公开(公告)日:2022-01-21

    申请号:CN202111584922.8

    申请日:2021-12-23

    Abstract: 本申请公开了一种目标类别判定方法,所述目标类别判定方法包括:获取待测样本集对应的目标光谱数据,基于树状种类判别结构和所述待测样本集对应的目标光谱数据,对所述待测样本集进行逐级预测,获得所述待测样本集对应的种类预测结果,其中,所述树状种类判别结构包括多层级样本种类判别模型,不同层级的样本种类判别模型为基于不同光谱区分程度的白酒样本集对应的光谱数据进行训练得到。本申请解决白酒样品种类检测的效率低以及准确性低的技术问题。

    预紧力可调的压电促动器及其驱动模式自动切换方法

    公开(公告)号:CN113872464A

    公开(公告)日:2021-12-31

    申请号:CN202110903797.6

    申请日:2021-08-06

    Abstract: 本发明涉及高精度定位驱动技术领域,公开了一种预紧力可调的压电促动器及其驱动模式自动切换方法。本发明的预紧力可调的压电促动器包括:基座、设置在基座上的主动钳位机构,分别设置在主动钳位机构上的第一剪、第二剪切压电陶瓷;与主动钳位机构固定连接,并且位于第一、第二剪切压电陶瓷下方的预紧力调节压电陶瓷;主动钳位机构固定连接的驱动机构,位于预紧力调节压电陶瓷的正上方的运动导轨,第一剪切压电陶瓷和/或第二剪切压电陶瓷在预紧力的作用下与运动导轨相互接触做剪切运动。以上结构能够控制预紧力调节压电陶瓷,将预紧力调节至合适范围区间,以适应促动器切换不同的驱动模式,从而使输出性能达到最优,最终实现高精度的精确定位。

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