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公开(公告)号：CN103062291A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210574271.9
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16F15/03 , F16C32/06 , G03F7/20
Abstract: 滚动关节轴承角度解耦的电磁阻尼零刚度隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板、活塞筒与套筒之间分别通过气浮面进行润滑与支撑，通过电磁阻尼器衰减振动能量、提高定位稳定性，上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过滚动关节轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度与角度解耦特性，可具有极低的固有频率和突出的低频/超低频隔振性能，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103062287A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210574212.1
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16F15/03 , F16C32/06 , G03F7/20
Abstract: 共面气浮正交解耦与二维柔性铰链角度解耦的电磁阻尼隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与气浮板、活塞筒与套筒通过气浮面进行润滑与支撑，通过电磁阻尼器衰减振动能量、提高定位稳定性，上安装板与下安装板之间的水平直线运动自由度通过共面正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过二维柔性铰链进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机对高性能隔振器的需求。
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公开(公告)号：CN103062285A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210571708.3
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16C32/06
Abstract: 共面气浮正交解耦与柔性膜角度解耦的零刚度隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板之间通过气浮面进行润滑与支撑，上、下安装板之间的水平直线运动自由度通过共面正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过柔性膜进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动与角运动自由度充分解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103047360A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210578282.4
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16C32/06
Abstract: 双层气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的零刚度隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与气浮板、气浮板与下安装板、活塞筒与套筒之间通过气浮面进行润滑与支撑，上、下安装板之间的水平直线运动自由度通过双层正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过滚动关节轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103047346A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210574709.3
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16C32/04 , F16C32/06
CPC classification number: F16F15/03 , F16F15/002 , F16F15/0232 , G01D5/20 , G01L19/0061 , H02K41/0356
Abstract: 滚动关节轴承角度解耦的磁浮零刚度隔振器与隔振系统属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板之间通过磁浮推力轴承进行承载，活塞筒与套筒之间分别通过气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过滚动关节轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维近似零刚度、高定位精度与角度解耦特性，可获得极低的固有频率和突出的低频/超低频隔振性能，从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机的高性能隔振问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103047344A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210574688.5
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16F15/03
Abstract: 双层气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的磁浮隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与气浮板之间通过磁浮推力轴承进行承载，气浮板与下安装板、活塞筒与套筒之间通过气浮面进行润滑与支撑，上、下安装板之间的水平直线运动自由度通过双层正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过滚动关节轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN119572655A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202411528374.0
申请日：2024-10-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于负刚度阻尼一体化调控的六自由度两级隔微振器属于精密隔振技术领域，利用连接上板与基板、呈Stewart方式排布的十二套低频隔振阻尼器，在变载荷下实现多自由度近全频带隔振性能。低频隔振阻尼器由负刚度阻尼一体化调控器与螺旋弹簧并联支撑负载平台，负刚度阻尼一体化调控器利用多层沿轴向阵列排布、相邻层间垂直磁化的等截面磁环阵列，构建单边高磁密励磁磁场，有效削弱非工作侧的磁场强度；并将垂直磁化的定磁环阵列与动磁环阵列同轴嵌套实现高负刚度特性、与线圈同轴嵌套实现高阻尼特性，调控线圈通电电流可在大承载条件下产生局部低动态刚度与可调高阻尼特性，精确匹配在多自由度实现近全频带高性能隔振的刚度与阻尼参数。
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公开(公告)号：CN119267486A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202411528394.8
申请日：2024-10-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 面向大型精密隔微振的负刚度阻尼一体化调控装置属于精密隔振技术领域，采用多层沿轴向阵列排布、相邻层间垂直磁化的等截面磁环阵列构建单边高磁密励磁磁场，并将垂直磁化的定磁环阵列与动磁环阵列同轴嵌套实现高负刚度特性、与线圈同轴嵌套实现涡流阻尼特性；在基于加速度与速度复合反馈的调控方法作用下，产生可调高负刚度与低频高阻尼、高频低阻尼特性，从而精准匹配大型精密隔微振实现近全频带高性能隔振的刚度与阻尼参数，实现隔振性能最大化并提高隔振系统的稳定性，有效避免了单一参数调控的性能瓶颈。
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公开(公告)号：CN119267479A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202411528377.4
申请日：2024-10-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于垂直磁化空间电磁阵列的六自由度低频隔微振器属于精密隔振技术领域，包括上板、基板以及连接两者呈Stewart方式布置的六套低频电磁隔振器，不仅可在空间六个自由度实现低频、超低频乃至近零频隔微振，还具有高稳定性与强适应性。低频电磁隔振器中的垂直磁化空间电磁阵列负刚度结构利用同轴嵌套的双磁环阵列实现被动式高负刚度特性，并利用与双磁环阵列同轴嵌套的通电线圈产生精密可控的励磁磁通，动态调整偏置磁场与负刚度值，完美适应不同隔振负载质量及激励频率的变化需求，确保在各种工况下都能保持稳定的隔振性能。同轴嵌套的垂直磁化双磁环阵列增强了工作侧的励磁磁场，降低了低频电磁隔振器的漏磁，提升了磁场利用率。
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公开(公告)号：CN119267478A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202411528375.5
申请日：2024-10-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 六自由度自适应主被动复合空间电磁阵列阻尼器属于精密隔振技术领域，利用连接上板与基板呈Stewart方式布置的六套电磁隔振阻尼器在六个自由度产生低频高阻尼与高频低阻尼特性，全方位、有效地隔离不同频率的微小振动干扰。每套电磁隔振阻尼器采用4n(n≥1，n∈N+)层沿轴向阵列布置、相邻层间垂直磁化的等截面磁环构建高阻尼励磁磁场，并实时响应外部激励频率的变化，通过速度反馈控制方法精密调控线圈电流的大小与方向，动态调整阻尼力以适应不同工况，确保最佳隔振效果。自适应主被动复合空间电磁阵列阻尼器的适应性和稳定性使其在多自由度、频率多样化的振动环境中依然保持高隔振性能，为精密仪器与设备的稳定运行保驾护航。
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