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公开(公告)号：CN100519836C
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200710150228.9
申请日：2007-11-19
Applicant: 南开大学
IPC: C23C16/505
Abstract: 本发明公开了一种可获得均匀电场的大面积VHF-PECVD反应室异形电极。它的功率电极板在功率馈入端口附近设有对应的附加电极片，所述附加电极片平行于功率电极板水平面，所述附加电极片的厚度小于功率电极板，所述附加电极片连接在功率电极板的功率电极面的边缘。本发明的异形功率电极可以在任意激发频率和任意面积大小的PECVD反应室中采用。这种异形功率电极利用电极功率馈入端口的附加电极改变电极表面电流分布，可以抑制电极馈入端口附近电势的对数奇点效应。
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公开(公告)号：CN100404142C
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：CN200610014890.7
申请日：2006-07-24
Applicant: 南开大学
Abstract: 本发明涉及一种超声喷雾热分解喷头，特别是一种导雾管上半部分加有储液瓶、喷嘴直径由大到小有一个渐变的过程的超声喷雾热分解喷头，可以广泛地应用于薄膜材料、特别是透明导电氧化物薄膜的制备方面。现有技术存在衬底炸裂、喷嘴堵塞导致根本无法成膜的缺陷；为此，本发明提出了一种超声喷雾热分解喷头新的技术方案，其特点在于：喷嘴上增加了一个储液瓶，储液瓶包含有进气导管和排液导管，进气导管与水平面的夹角θ为10-350°，排液管口设置一个阀门。本发明的有益效果是：通过储液瓶和调节进气口的倾斜角度使得大半径雾滴和液态物质不再影响成膜，通过改变喷嘴形状可有效的获得大面积、均匀的薄膜。
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公开(公告)号：CN101154695A
公开(公告)日：2008-04-02
申请号：CN200710061325.0
申请日：2007-09-30
Applicant: 南开大学
IPC: H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种利用绒面临时衬底制备柔性转移衬底太阳电池的方法，该方法将金属衬底浸入电解液中进行表面处理，使金属衬底具有绒面结构，然后在绒面金属铝箔上制备前电极、然后激光切割、制备P－I－N层、激光切割、制备背电极、激光切割和层压聚合物衬底，最后再去除金属衬底制成柔性转移衬底太阳电池。所述本发明中作为柔性转移衬底的金属衬底表面平整且具有绒面结构，使在其表面沉积的前电极也随之具有一定的绒度，从而使所制备的太阳电池具有很好的陷光结构，提高太阳电池效率。
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公开(公告)号：CN1887444A
公开(公告)日：2007-01-03
申请号：CN200610014890.7
申请日：2006-07-24
Applicant: 南开大学
Abstract: 本发明涉及一种超声喷雾热分解喷头，特别是一种导雾管上半部分加有储液瓶、喷嘴直径由大到小有一个渐变的过程的超声喷雾热分解喷头，可以广泛地应用于薄膜材料、特别是透明导电氧化物薄膜的制备方面。现有技术存在衬底炸裂、喷嘴堵塞导致根本无法成膜的缺陷；为此，本发明提出了一种超声喷雾热分解喷头新的技术方案：其特点在于：喷嘴上增加了一个储液瓶，储液瓶包含有进气导管和排液导管，进气导管与水平面的夹角θ为10－350°，排液管口设置一个阀门。本发明的有益效果是：通过储液瓶和调节进气口的倾斜角度使得大半径雾滴和液态物质不再影响成膜，通过改变喷嘴形状可有效的获得大面积、均匀的薄膜。
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