公开(公告)号：CN108738223A

公开(公告)日：2018-11-02

申请号：CN201810625700.8

申请日：2018-06-18

Applicant: 安徽航天环境工程有限公司

Inventor： 吴穹

IPC: H05H1/24 ,  H05H1/36

Abstract: 一种气态废物的等离子处理装置，其包括容器（101）、等离子电极和高电压源，所述等离子电极包括设置在容器中并沿容器的轴线延伸的柱状第一等离子电极（108）和沿容器的周向并环绕第一等离子体电极的呈筒状的第二等离子体电极（104），所述第一等离子体电极和第二等离子体电极之间设置有圆筒状或柱状的介电质部件，所述介电部件包括多个介电球，每个介电球为空心球形结构,且球面沿径向开口有多个气孔。本发明提供的气态废物的等离子处理装置体积小、价格低廉且效率高。

公开(公告)号：CN108353491A

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201680065380.4

申请日：2016-10-06

Applicant: 海别得公司

Inventor： S·米特拉 ,  S·M·利博尔德 ,  J·埃姆斯 ,  C·S·帕西奇 ,  J·彼得斯 ,  S·邓巴

IPC: H05H1/34 ,  H05H1/36

Abstract: 在一些方面中，用于保持安装于等离子体电弧炬中的等离子体电弧电极消耗品的可使用寿命的方法可包含测量正提供到所述炬以产生所述炬和待处理的工件之间的等离子体电弧的电信号的特性；在所述炬的操作期间在一时间段内监测所述特性；将所述特性与阈值进行比较；和响应于确定测量的特性符合和/或超过所述阈值，起始电弧熄灭序列以保持所述电极的所述寿命。

公开(公告)号：CN104969665B

公开(公告)日：2018-04-13

申请号：CN201380060808.2

申请日：2013-11-27

Applicant: 欧瑞康美科股份公司 ,  沃伦

Inventor： F.里伊奇蒂 ,  A.弗里伊德里 ,  H.科施尼茨科 ,  R.格雷伯

IPC: H05H1/36

CPC classification number: H05H1/30 ,  H05H1/0081 ,  H05H1/36

Abstract: 本发明涉及用于运行等离子体产生装置的方法和控制装置。本发明基于以下方法和控制装置，其中为了点火等离子体在阳极与阴极之间施加一个电压作为点火电压。为了能够实现等离子体产生装置的经济的运行，根据本发明提出，在点火过程期间持续地执行以下检验，即等离子体的点火是否成功。附加地，该点火电压（UZ）从起始点火电压（UZA）开始升高并且在识别出等离子体的成功点火（在时刻tZ）之后在阳极与阴极之间的电压被降低到维持电压（UA）。

公开(公告)号：CN105142844B

公开(公告)日：2018-04-03

申请号：CN201480018279.4

申请日：2014-03-31

Applicant: 松下知识产权经营株式会社

Inventor： 植田昌良 ,  赤石三德 ,  木曾博之 ,  玉川健太

IPC: B23K10/00 ,  H05H1/28 ,  H05H1/34 ,  H05H1/36

CPC classification number: B23K10/006 ,  B23K10/00 ,  H05H1/36

Abstract: 本发明的目的在于提供一种实现省线化并简化线缆的连接作业，进而连接作业中的安全性高的等离子切割装置。在本发明的等离子切割用割炬(7)中采用了如下构成的等离子切割用割炬：具有电极(13)、第1线缆(8)、割炬开关(12)、第2线缆(10)、割嘴(14)、和第3线缆(9)，第1线缆(8)与电极(13)电连接，且具有第1端子(25)，第2线缆(10)与割炬开关(12)电连接，且具有第2端子(22)以及第3端子(23)，割嘴(14)与电极(13)分离，且构成为包围电极(13)，第3线缆(9)与割嘴电连接，且在第2端子(22)与割炬开关(12)之间的连接部，与第2线缆(9)电连接。

公开(公告)号：CN103155717B

公开(公告)日：2017-08-29

申请号：CN201180046783.1

申请日：2011-08-11

Applicant: 先进能源工业公司

Inventor： V·布劳克 ,  R·赫克曼 ,  D·J·霍夫曼

IPC: H05H1/36 ,  C23C16/52 ,  H01L21/3065 ,  C23C14/54 ,  C23F1/08

CPC classification number: H01J37/24 ,  C23C14/345 ,  C23C16/50 ,  H01J37/32009 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32174 ,  H01J37/32935 ,  H01J37/3299

Abstract: 公开了等离子室内的用于调节离子能量的系统、方法和装置。示例性方法包括：在等离子体室内放置衬底；在所述等离子体室内形成等离子体；对所述衬底可控地开关电能，以便向所述衬底施加周期电压函数；以及在所述周期电压函数的多个周期期间，响应于所述衬底的表面的期望离子能量分布来调制所述周期电压函数，以便在时间平均的基础上实现所述期望离子能量分布。

公开(公告)号：CN106061091A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201610676825.4

申请日：2016-08-17

Applicant: 衢州昀睿工业设计有限公司

Inventor： 周昀煜

IPC: H05H1/36 ,  H02M1/08 ,  H02M1/38 ,  H02H7/10

CPC classification number: H05H1/36 ,  H02H7/10 ,  H02M1/08 ,  H02M1/38

Abstract: 一种开关电源的控制电路，涉及到一种高频开关电源控制电路，包括振荡门、反相门、延迟门和输出门，振荡门的输出端连接到反相门的输入端、第一放电电阻和第一死区控制电阻，第一放电电阻连接到第一放电二极管的阴极，第一死区控制电阻连接到第一延迟电容器、第一放电二极管的阳极和第一延迟门的输入端，第一延迟门的输出端连接到第一输出门；反相门的输出端连接到第二放电电阻和第二死区控制电阻，第二放电电阻连接到第二放电二极管的阴极，第二放电二极管的阳极连接到第二死区控制电阻、第二延迟电容器和第二延迟门的输入端，第二延迟门的输出端连接到第二输出门。本发明的正半周的死区控制元件和负半周的死区控制元件是各自独立，输出的开关信号特性好。

公开(公告)号：CN105007679A

公开(公告)日：2015-10-28

申请号：CN201510499377.0

申请日：2015-08-14

Applicant: 衢州昀睿工业设计有限公司

Inventor： 周开根

IPC: H05H1/36

Abstract: 一种间歇式高频引弧电源的控制电路，涉及到一种高频电源控制电路，由振荡门、反相门、延迟门、第一输出门、第二输出门和间歇控制电路组成，其中，振荡门、反相门、延迟门、第一输出门和第二输出门由六非门集成电路中的五个非门构成，间歇控制电路由间歇门、电位器和间歇电容器构成，间歇门为六非门集成电路中的一个非门；振荡电容器连接在振荡门的输入端与地线之间，振荡电阻连接在振荡门的输入端与振荡门的输出端之间；间歇电容器连接在间歇门的输入端与地线之间，电位器的三个端头连接为可变电阻方式后连接在间歇门的输入端与间歇门的输出端之间。本发明使等离子体喷枪减少功率消耗，节省电能，并且延长高频引弧电源的使用寿命。

公开(公告)号：CN104969665A

公开(公告)日：2015-10-07

申请号：CN201380060808.2

申请日：2013-11-27

Applicant: 欧瑞康美科股份公司 ,  沃伦

Inventor： F.里伊奇蒂 ,  A.弗里伊德里 ,  H.科施尼茨科 ,  R.格雷伯

IPC: H05H1/36

CPC classification number: H05H1/30 ,  H05H1/0081 ,  H05H1/36

Abstract: 本发明涉及用于运行等离子体产生装置的方法和控制装置。本发明基于以下方法和控制装置，其中为了点火等离子体在阳极与阴极之间施加一个电压作为点火电压。为了能够实现等离子体产生装置的经济的运行，根据本发明提出，在点火过程期间持续地执行以下检验，即等离子体的点火是否成功。附加地，该点火电压（UZ）从起始点火电压（UZA）开始升高并且在识别出等离子体的成功点火（在时刻tZ）之后在阳极与阴极之间的电压被降低到维持电压（UA）。

公开(公告)号：CN102405512B

公开(公告)日：2015-03-18

申请号：CN201080017540.0

申请日：2010-04-15

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 埃里克·A·埃德尔伯格

IPC: H01L21/3065 ,  H05H1/34 ,  H05H1/36

CPC classification number: H01L21/02002 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/32146 ,  H01J37/32174 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32449 ,  H01L21/31116

Abstract: 提供了用于蚀刻高深宽比的特征的设备。提供了等离子体处理室，其包括形成等离子体处理室封壳的室壁、下电极、上电极、进气口和出气口。高频射频(RF)功率源电气连接到至少一个上电极或下电极。偏置功率源系统电气连接到上电极和下电极，其中偏置功率源系统能够提供相对于上电极和下电极幅值为至少为500伏的偏压，其中相对于下电极的偏压被间歇性脉冲化。气体源与进气口流体连接。控制器可控地连接气体源、高频射频功率源和偏置功率源系统。

公开(公告)号：CN102415221B

公开(公告)日：2014-11-19

申请号：CN201080017788.7

申请日：2010-04-26

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 赛义德·贾法·雅法良-特哈妮

IPC: H05H1/34 ,  H05H1/36

CPC classification number: G01R31/026 ,  H01J37/32568 ,  H01J37/32577 ,  H01J37/32935

Abstract: 本发明提供了在具有可移动的下电极的等离子体处理室内的检测电路配置。该配置包括具有第一柔性连接器端、第二柔性连接器端和至少一个缝隙的柔性连接器。该缝隙的至少一部分被设置在与在两个柔性连接器端之间划的线平行的方向上。一个端耦合到可移动下电极，另一个端耦合到等离子体处理室的组件。柔性导体配置为在可移动的下电极和等离子体处理室的组件之间提供低阻抗的电流路径。该配置也包括用于检测通过设置在缝隙的一侧的连接器材料的电流的装置。用于检测的装置包括绕在导体材料周围的至少一个线圈和与线圈耦合的、用来检测撕裂导致的电流中断的检测电路。