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公开(公告)号：CN1303538A
公开(公告)日：2001-07-11
申请号：CN99806810.1
申请日：1999-10-12
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: H03H3/08 , H03H9/02543 , H03H9/02559 , H03H9/145
Abstract: 本发明的目的在于提供一种在具有近似于36度旋转Y切割的切割角的钽酸锂基片上带有电极膜的SAW装置,该电极膜包括具有改进功率耐久性的铝单晶膜。SAW装置在一个基片上带有叉指型电极。基片由38至44度旋转Y切割钽酸锂单晶建造,每根叉指型电极包括一层钛膜和一层形成在其上的铝膜,并且铝膜是仅在选择区域电子衍射分析时产生斑点的单晶膜。
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