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公开(公告)号：CN101256360B
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN200810082145.5
申请日：2008-03-03
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 一种放射线敏感性树脂组合物，其含有：下述共聚物、和1，2-二叠氮醌化合物，所述共聚物是不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐、含有环氧基或氧杂环丁烷基的至少一个的不饱和化合物、(甲基)丙烯酰基吗啉和其他不饱和化合物的共聚物。本发明提供放射线敏感性树脂组合物，其具有高放射线敏感度，具有在显影工序中即使超过最佳显影时间仍可以形成良好的图案形状的显影余量，可以容易地形成贴合性优异的图案状薄膜。
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公开(公告)号：CN101946309A
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN200880126610.9
申请日：2008-12-18
Applicant: JSR株式会社
IPC: H01L21/304 , B24B37/00 , C09K3/14
CPC classification number: H01L21/31053 , C09G1/02 , C09K3/1463 , H01L21/3212
Abstract: 本发明的化学机械研磨用水系分散体包含(A)在主干聚合物部具有阴离子性官能团的接枝聚合物和(B)磨粒。
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公开(公告)号：CN101546127B
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN200910127063.2
申请日：2009-03-23
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明涉及一种感射线性树脂组合物以及层间绝缘膜和微透镜的制造方法。该感射线性树脂组合物具有高的感射线敏感度和优良的显影裕度，并且能够容易地形成与底层的粘附性也优良的图案状薄膜，适用于形成层间绝缘膜和微透镜。上述感射线性树脂组合物包括：含有由不饱和羧酸和不饱和羧酸酐构成的群组中选出的至少一种和由具有环氧乙基的不饱和化合物和具有氧杂环丁烷基的不饱和化合物构成的群组中选出的至少一种的不饱和混合物的共聚物、1，2-醌二叠氮化合物、以及具有碳原子数为6～15的芳基的倍半硅氧烷。
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公开(公告)号：CN101324755B
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN200810125444.2
申请日：2008-06-13
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明的感放射线性树脂组合物含有[A]具有选自环氧乙烷基及氧杂环丁烷基中的至少1种基团、和能与环氧乙烷基或氧杂环丁烷基加成反应的官能团的聚硅氧烷；及[B]1，2-重氮醌化合物。上述本发明的感放射线性树脂组合物即使在不足250℃的烧成条件下，用于形成层间绝缘膜时，也能够形成高耐热性、高耐溶剂性、高透射率、低介电常数的层间绝缘膜，另外用于形成微透镜时，能够形成具有高透射率和良好的熔化形状的微透镜。
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公开(公告)号：CN101226329B
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN200810003519.X
申请日：2008-01-18
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 一种放射线敏感性树脂组合物，其含有：(a1)、(a2)和(a3)的共聚物[A]、1，2-二叠氮醌化合物[B]、以及含有通过热与[A]成分进行交联反应的官能团的硅氧烷低聚物[C]，所述(a1)：不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐，所述(a2)：含有环氧基和/或氧杂环丁烷基的不饱和化合物，和所述(a3)：(a1)成分和(a2)成分以外的不饱和化合物。一种放射线敏感性树脂组合物，其具有高放射线敏感度，具有在显影工序中即使超过最佳显影时间仍可以形成良好的图案形状的显影余量，可以容易地形成贴合性优异的图案状薄膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101546127A
公开(公告)日：2009-09-30
申请号：CN200910127063.2
申请日：2009-03-23
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明涉及一种感射线性树脂组合物以及层间绝缘膜和微透镜的制造方法。该感射线性树脂组合物具有高的感射线敏感度和优良的显影裕度，并且能够容易地形成与底层的粘附性也优良的图案状薄膜，适用于形成层间绝缘膜和微透镜。上述感射线性树脂组合物包括：含有由不饱和羧酸和不饱和羧酸酐构成的群组中选出的至少一种和由具有环氧乙基的不饱和化合物和具有氧杂环丁烷基的不饱和化合物构成的群组中选出的至少一种的不饱和混合物的共聚物、1，2－醌二叠氮化合物、以及具有碳原子数为6～15的芳基的倍半硅氧烷。
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公开(公告)号：CN101359174A
公开(公告)日：2009-02-04
申请号：CN200810130172.5
申请日：2008-07-30
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/008 , G03F7/00 , C08F220/32 , C08F4/04 , C08F220/10 , C08F212/08
Abstract: 本发明涉及放射线敏感性树脂组合物，其含有[A]聚合物、和[B]1，2－二叠氮醌化合物，所述[A]聚合物具有如下基团：选自羧基和羧酸酐基的至少1种的基团、选自环氧乙基和氧杂环丁烷基的至少一种基团、和下述式(1)表示的n价基团，(式(1)中RI是亚甲基或碳原子数2～10的亚烷基或者烷基亚甲基，Y是单键、－CO－、－O－CO－*(其中，带有“*”的连接键与RI键合)或者－NHCO－*(其中，带有“*”的连接键与RI键合)，n是2～10的整数，X是可以具有1个或多个醚键的碳原子数2～70的n价烃基，“+”表示连接键)。
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公开(公告)号：CN101324755A
公开(公告)日：2008-12-17
申请号：CN200810125444.2
申请日：2008-06-13
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明的感放射线性树脂组合物含有[A]具有选自环氧乙烷基及氧杂环丁烷基中的至少1种基团、和能与环氧乙烷基或氧杂环丁烷基加成反应的官能团的聚硅氧烷；及[B]1，2－重氮醌化合物。上述本发明的感放射线性树脂组合物即使在不足250℃的烧成条件下，用于形成层间绝缘膜时，也能够形成高耐热性、高耐溶剂性、高透射率、低介电常数的层间绝缘膜，另外用于形成微透镜时，能够形成具有高透射率和良好的熔化形状的微透镜。
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公开(公告)号：CN101256360A
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：CN200810082145.5
申请日：2008-03-03
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 一种放射线敏感性树脂组合物，其含有：下述共聚物、和1，2－二叠氮醌化合物，所述共聚物是不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐、含有环氧基或氧杂环丁烷基的至少一个的不饱和化合物、(甲基)丙烯酰基吗啉和其他不饱和化合物的共聚物。本发明提供放射线敏感性树脂组合物，其具有高放射线敏感度，具有在显影工序中即使超过最佳显影时间仍可以形成良好的图案形状的显影余量，可以容易地形成贴合性优异的图案状薄膜。
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公开(公告)号：CN101256356A
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：CN200710305940.1
申请日：2007-12-28
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明涉及一种放射线敏感性组合物、彩色滤光片和液晶显示元件，所述放射线敏感性组合物含有(A)着色剂、(B)碱可溶性树脂、(C)多官能性单体和(D)光聚合引发剂，其特征在于，(B)碱可溶性树脂具有上述式(B－1)表示的结构，而且上述放射线敏感性组合物用于形成着色层，式(B－1)中，R1、R2和R3各自独立地表示氢原子或碳原子数1～10的烷基，X为具有丙烯酰基或甲基丙烯酰基的一价有机基团或者乙烯基或1－甲基乙烯基，Y为二价的有机基团，h为1～5的整数。
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