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公开(公告)号:CN104487412B
公开(公告)日:2016-08-24
申请号:CN201380039314.6
申请日:2013-06-25
Applicant: DIC株式会社
CPC classification number: C07C69/54 , C07C37/002 , C07C37/20 , C07C67/14 , C08F22/14 , C08F222/1006 , C08G8/30 , C09D4/00 , C07C39/16
Abstract: 本发明提供耐热性优异的正型光致抗蚀剂组合物。一种自由基固化性化合物,其特征在于,由下述通式(1)表示。(式(1)中,R1、R2以及R3各自独立地为碳原子数1~8的烷基,m和n各自独立地为1~4的整数,p为0~4的整数。此外,X、Y以及Z各自独立地为丙烯酰氧基、甲基丙烯酰氧基或者羟基中的任一种,X、Y、Z之中的至少一者为丙烯酰氧基或者甲基丙烯酰氧基,t为1或者2。)。
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公开(公告)号:CN104822715A
公开(公告)日:2015-08-05
申请号:CN201380062340.0
申请日:2013-11-20
Applicant: DIC株式会社
IPC: C08F20/30 , C07C67/14 , C07C67/297 , C07C69/54 , C08F299/02 , C08G8/30 , G03F7/027
CPC classification number: C07C69/54 , C08F220/30 , C08F283/06 , C08F299/024 , C08F2220/302 , C08G8/04 , C08G8/30 , C09D133/08 , C09D161/14 , G03F7/0002 , G03F7/027
Abstract: 提供一种耐热性优异的含(甲基)丙烯酰基的树脂、及作为其原料的含酚羟基的组合物。所述含酚羟基的组合物具有下述通式(1)(式中,R1、R2及R3分别独立地为碳原子数1~8的烷基,m及n分别独立地为1~4的整数,p为0~4的整数。另外,V为氢原子、(甲基)丙烯酰氧基或羟基,W、X及Y分别独立地为(甲基)丙烯酰氧基或羟基。)表示的分子结构,V、W、X、及Y的至少一者为羟基,另外,V、W、X、及Y的至少一者为(甲基)丙烯酰氧基。
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