基于梯形入射结构棱镜入射型硅的液浸微通道测量装置及测量方法

    公开(公告)号:CN110023739A

    公开(公告)日:2019-07-16

    申请号:CN201680091283.2

    申请日:2016-12-15

    Abstract: 本发明涉及基于梯形入射结构棱镜入射型硅的液浸微通道测量装置及测量方法,并且根据本发明的一个实施方式,该装置包括微通道结构,包括支撑体和形成在支撑体上并具有固定有用于检测第一样本的第一生物粘附材料的样本检测层的至少一个微通道;形成在微通道结构的上部上的截顶金字塔形棱镜;将包含第一样本的缓冲溶液注入微通道的样本注入单元;以满足p波非反射条件的入射角将通过棱镜偏振的入射光发射到微通道上的偏振光产生单元;以及检测偏振入射光中从样本检测层反射的第一反射光的偏振变化的偏振光检测单元,其中棱镜在棱镜的上界面对入射到棱镜上的偏振入射光中的从棱镜的下边界面和注入微通道的缓冲溶液的边界面反射的第二反射光全反射。

    单偏振器聚焦光束椭偏计
    13.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101715539B

    公开(公告)日:2011-09-21

    申请号:CN200880021195.0

    申请日:2008-11-11

    CPC classification number: G01B11/0641 G01N21/211 G01N2021/213

    Abstract: 本发明涉及一种单偏振器聚焦光束椭偏计,更具体地涉及一种具有简化结构的聚焦光束椭偏计,在该简化结构中,单个偏振分束器起着起偏器、分束器和偏振分析器的作用。在采用的测量方法中,多入射面测量方法被应用于多入射角,因此可以分析试样的光学性质的准确信息,即,薄膜情况下该薄膜的厚度和折射率。

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