一种沉积制备薄膜样品的方法

    公开(公告)号:CN109580325A

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201811430959.3

    申请日:2018-11-17

    Abstract: 本发明涉及薄膜制备领域,一种沉积制备薄膜样品的方法,气相沉积装置包括沉积腔、进气口I、导气管、出气口I、出气口II、导流罩、样品腔、传送杆、样品、样品座、样品台、操纵杆、进气口II、门阀I、进样腔、真空泵I、门阀II、分析腔、真空泵II和真空泵III,在真空环境中进行气相沉积,沉积制备薄膜方法采用了特殊的导流罩结构,能够减少沉积制备薄膜样品过程中的真空污染,能够更加精确地调节样品温度,获得高质量的薄膜,能够在无需破坏真空环境的条件下完成样品制备和样品分析,兼具低真空环境中进行的样品制备和高真空环境中的样品分析功能,能够调节样品与样品座之间的接触压力及样品座与加热器之间的接触压力,薄膜制备到分析的过程简单。

    一种真空中化学反应方法
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109569432A

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201811431993.2

    申请日:2018-11-17

    Abstract: 本发明涉及化学领域,一种真空中化学反应方法,真空反应及测试装置包括反应腔、观察窗、液体容器、直线驱动器、冷却杆、样品、样品座、样品台、金属杆、气体进口、真空泵I、波纹管I、门阀、波纹管II、测试腔、样品架、传送杆、真空泵II和测试电路,冷却杆使得通入真空环境中的气态试剂分子冷冻凝固,在真空环境中首先对气态的试剂分子进行预先冷冻,并采用升温的方法使得试剂融化后滴在样品表面以进行化学反应,避免反应腔内的真空度突然变差,在需要液态试剂参与的真空反应中无需将固态样品转移到真空环境外或是对真空腔内通入保护气体,避免样品周围的真空度突然变差,进行化学反应的操作步骤简单且不会引入杂质。

    一种脉冲激光加热的高压样品测试装置

    公开(公告)号:CN109444192A

    公开(公告)日:2019-03-08

    申请号:CN201811501108.3

    申请日:2018-11-27

    Abstract: 本发明涉及材料特性研究领域,一种脉冲激光加热的高压样品测试装置,包括下支撑盘、下顶砧、上顶砧、上支撑盘、垫圈、特氟龙环、样品、消色差透镜I、光阑、消色差透镜II、滤光片、分束器I、分束器II、光谱仪、示波器、光电二极管、信号发生器、激光器、分束器III、反射镜、聚焦透镜、光电倍增管和摄像机,采用特殊激光脉冲加热方法能够使得样品的温度在毫秒时间量级内保持相对稳定,采用特殊的结构使得X射线能够以较大角度入射样品,样品外侧采用特氟龙环,采用对X射线散射及吸收较少的材料来对垫圈中的样品进行固定,增加样品稳定性的同时能够减少X射线的散射和衰减,能够对高压条件下的样品进行稳定加热及光谱测量,增加样品衍射信号信噪比。

    一种液体介电常数测量装置

    公开(公告)号:CN109374982A

    公开(公告)日:2019-02-22

    申请号:CN201811218619.4

    申请日:2018-10-10

    Abstract: 本发明涉及材料研究领域,一种液体介电常数测量装置,包括高压直流电源、充电电阻、充电线、脉冲成形线缆、循环水机、高压开关、功率分配器、衰减器、传输线I、阻抗匹配电路、示波器、传输线II、样品槽、共振器、矢量网络分析仪和计算机,装置具有脉冲成形线缆结合高压开关的结构,以产生电压脉冲并施加到液体样品,采用脉冲成形线缆结合高压开关的结构来产生电压脉冲,并通过传输线将高压施加到液体样品上,另外,采用基于法布里一珀罗共振原理的的共振器结合矢量网络分析仪来测量液体的介电常数,能够测量高电压作用后的液体样品的介电常数,装置产生高压脉冲的结构简单,操作方便,用于测量液体介电常数的共振器成本较低,测试结果精度较高。

    一种用于沉积制备金刚石的反应器

    公开(公告)号:CN107021480B

    公开(公告)日:2019-01-08

    申请号:CN201710321049.0

    申请日:2017-04-26

    Abstract: 本发明涉及金刚石制备领域,一种用于沉积制备金刚石的反应器,包括石英玻璃毛细管、钨毛细管、冷却气出口、钼制柱面体、电极、热耦、冷却水进口、环形冷却气管、冷却水管、冷却水出口、反应器腔体、冷却气进口、氢气进口、喷嘴,钨毛细管一端无接触地通入钼制柱面体另一端位于反应器腔体外,钼制柱面体是加热器又是活化剂,电极由金属钼制成且电连接于钼制柱面体两端,通过加电流,能使钼制柱面体加热至2200K以上,钼制柱面体与反应器腔体之间绝缘;热耦由钨‑铼材料制成用以测量钼制柱面体温度,调节环形冷却气管中的氩气流速并使其保持在恒定值,就能够使得热耦尖端测温区域的温度仅与钼制柱面体的温度相关,能够为钼制柱面体准确测温。

    利用一种样品腔进行光谱实验的方法

    公开(公告)号:CN109142228A

    公开(公告)日:2019-01-04

    申请号:CN201811084092.0

    申请日:2018-09-06

    CPC classification number: G01N21/0332

    Abstract: 本发明涉及物理实验领域,利用一种样品腔进行光谱实验的方法,用于光谱实验的样品腔包括进气管、上盖、毛细管、连接管、出气管、样品管、下盖、样品、碳纤维管、加热灯、热屏蔽腔、辐射热计、温度计、导热基座、水冷台和位移装置,在进行光谱实验时需要与储气罐、光源及光谱仪一起使用,样品准备过程简单且可靠性高,通过加热灯的辐射热对样品均匀加热,通过加热灯结合流速可控的气流来调节样品温度,能够精确测量样品温度,采用特殊设计的辐射热计精确测量入射光的辐射功率,分析光谱仪采集的光信息,得到样品相关的物理性质。

    一种薄膜样品的力学性质测量方法

    公开(公告)号:CN109115607A

    公开(公告)日:2019-01-01

    申请号:CN201811083995.7

    申请日:2018-09-06

    Abstract: 本发明涉及材料科学领域,一种薄膜样品的力学性质测量方法,将透镜探针切换到探头的探针位I;控制微驱动器使得透镜探针移动至刚好接触样品表面;显微镜物镜实时记录样品图像;法向力测量:控制微驱动器使得透镜探针继续向样品表面施加压力,记录反射镜I和反射镜II的偏向,通过计算机得到法向的相互作用力,并与显微镜物镜记录的样品图像进行组合分析,得到样品表面形变与法向作用力之间的关系;切向力测量:控制微驱动器以保持透镜探针与样品的法向力恒定,同时使样品台在z方向移动,记录反射镜I和反射镜II的偏向,通过计算机得到切向的相互作用力,并与显微镜物镜记录的样品图像进行组合分析,得到样品形变与法向力及样品台移动速度的关系。

    一种薄膜测试装置
    18.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109115606A

    公开(公告)日:2019-01-01

    申请号:CN201811083994.2

    申请日:2018-09-06

    Abstract: 本发明涉及材料科学领域,一种薄膜测试装置,包括光纤传感器、反射镜、探头、透镜探针、电晕探针、高压恒流源、金属罩、栅网、位移台、直流电源、电压源、样品台、接地环电极、主电极、显微镜物镜、计算机、电流计和电流控制器,采用悬臂偏向的方法并结合半球形透镜探针,能够对样品表面进行切向和法向的力学测量,能够在对样品表面进行切向和法向的力学测量,结合对样品进行的实时原位成像能够计算出样品的体积弹性模量,对有较大形变量的薄膜表面进行成像的效果较好,提高了测量精度,另外,对薄膜进行电学测量时的充电过程较快且易控制,并能够通过电晕充电方式对薄膜进行相关电学测量,能够同时测量薄膜的力学及电学性质。

    一种发射电流可控的小型化非放射性电子源

    公开(公告)号:CN107026064B

    公开(公告)日:2018-12-14

    申请号:CN201710263346.4

    申请日:2017-04-10

    Abstract: 本发明涉及真空电子技术领域,一种发射电流可控的小型化非放射性电子源,主要包括加速电压源、电流表、抽取电压源、灯丝加热电流源、灯丝、抽取栅格、加速电极、氮化硅膜、真空腔,抽取栅格位于真空腔内的灯丝前面1毫米处,真空腔另一端为加速电极,氮化硅膜贴附于真空腔外的加速电极的中心开口处,加速电压源使得从灯丝发射出的电子加速并获得动能,调节抽取电压源能够控制真空腔内部电子束的聚焦或散焦,抽取栅格至加速电极之间为加速区域且长度5毫米,灯丝工作时电流0至300mA,在灯丝和抽取栅格之间的电子抽取电场独立于加速电场,使得可以调节灯丝的电流和抽取电场来控制电子发射,氮化硅膜为1×1平方毫米且厚度250纳米。

    一种高透射率的原子束显微装置

    公开(公告)号:CN108956664A

    公开(公告)日:2018-12-07

    申请号:CN201810683019.9

    申请日:2018-06-16

    Inventor: 张向平 赵永建

    CPC classification number: G01N23/20008 G01N2223/05 G01N2223/105

    Abstract: 本发明涉及对材料的显微技术领域,一种高透射率的原子束显微装置,包括储气罐、气管、由腔体I和腔体II连接成的真空腔体、喷射头、分流器、气体透射窗片、原子衍射片、第一阶菲涅尔环带透射区域上的通孔、第二阶菲涅尔环带透射区域上的通孔、探测器I、样品、样品台、计算机、探测器II、抽气口I、真空泵组I、抽气口II、真空泵组II,探测器I和探测器II分别探测被样品表面反射的原子,并以差分对模式工作,本发明采用具有通孔的原子衍射片,原子衍射片易于加工,且通孔按照相应的菲涅尔区有序排列,增加了一定原子束流横截面积上的通孔总面积,提高了原子束流的透射率,能够得到锐利的聚焦束斑,并能够抑制更高阶的衍射,增加了装置的信噪比。

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