公开(公告)号：CN102782869A

公开(公告)日：2012-11-14

申请号：CN201080063496.7

申请日：2010-12-09

Applicant: 速力斯公司

Inventor： M·M·穆斯利赫 ,  P·卡普尔 ,  K·J·克拉默 ,  D·X·王 ,  S·苏特 ,  V·V·雷纳

IPC: H01L31/042 ,  H01L31/18

CPC classification number: H01L31/0236 ,  H01L31/0201 ,  H01L31/02167 ,  H01L31/022441 ,  H01L31/022458 ,  H01L31/02363 ,  H01L31/035281 ,  H01L31/03529 ,  H01L31/03921 ,  H01L31/056 ,  H01L31/068 ,  H01L31/0682 ,  H01L31/18 ,  H01L31/1804 ,  H01L31/1892 ,  Y02E10/52 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

Abstract: 提供了背结背触点三维太阳能电池及其制造方法。背结背触点三维太阳能电池包括三维衬底。该衬底包括具有钝化层的光捕获正面表面，掺杂的基极区域，和极性与掺杂的基极区域相反的掺杂的背面发射极区域。背面钝化层置于掺杂的背面发射极区域上。背面发射极触点和背面基极触点，其连接至金属互连件且选择性地在三维太阳能电池背面的三维特征上形成。

公开(公告)号：CN102714227A

公开(公告)日：2012-10-03

申请号：CN201080060493.8

申请日：2010-11-10

Applicant: 速力斯公司

Inventor： P·卡普尔 ,  M·M·莫斯莱希

IPC: H01L31/00

CPC classification number: H01L31/022425 ,  H01L31/02167 ,  H01L31/02363 ,  H01L31/02366 ,  H01L31/035281 ,  H01L31/03529 ,  H01L31/0445 ,  H01L31/068 ,  H01L31/182 ,  H01L31/1896 ,  Y02E10/546 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

Abstract: 本公开使三维薄膜太阳能电池（3-D TFSC）衬底的生产具有大批量成本效益。首先，本公开内容公开了锥体状单元电池结构16和50，通过其开放的锥体结构能够外延生长。然后本公开给出了四种3-D TFSC的实施方案70、82、100和110，其可根据需要进行结合。具有衬底、发射极、发射极上的氧化物、前和背金属接触的基础3-D TFSC加工简单。其它实施方案公开了选择性发射极、选择性背侧金属接触和前侧SiN ARC层。数种加工方法包括工艺流程150、200、250、300和350能够生产这些3-D TFSC。此外，本公开通过使用双侧模板400使生产量较高。通过在模板中加工衬底，本公开提高了成品率并减少了加工步骤。