公开(公告)号：CN102730620B

公开(公告)日：2016-12-14

申请号：CN201210107782.X

申请日：2012-04-05

Applicant: 通用电气公司

Inventor： M·F·艾米 ,  J·A·约诺蒂 ,  C·F·凯梅尔 ,  髙宇轩

IPC: B81B7/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: G01R33/3657 ,  H01H1/0036 ,  H01H9/54

Abstract: 本发明涉及用于提高MEMS装置可靠性的系统和方法。一种微机电系统(MEMS)装置，其在一个实施例中包括采用背对背配置互相耦合的至少两个MEMS开关。对应于第一和第二MEMS开关的第一和第二悬置元件电耦合。此外，配置对应于第一和第二MEMS开关的第一和第二触点使得第二悬置元件和第二触点之间的差分电压近似等于第一悬置元件和第一触点之间的差分电压。该MEMS装置包括至少一个致动器，其耦合于第一和第二悬置元件中的一个或多个来致动第一和第二悬置元件中的一个或多个。在一个示例中，该MEMS装置包括一个或多个无源元件，其耦合于第一和第二MEMS开关中的一个或多个。

公开(公告)号：CN101465242B

公开(公告)日：2016-12-14

申请号：CN200810185380.5

申请日：2008-12-22

Applicant: 通用电气公司

Inventor： W·J·普雷默拉尼 ,  C·F·凯梅尔 ,  K·苏布拉马尼安 ,  王雪峰 ,  M·F·艾米

IPC: H01H59/00

Abstract: 本发明涉及具有改进的关态电压控制的MEMS开关。提供了一种MEMS开关(20，30，40)，其包括衬底(28)、耦合到该衬底(28)并且具有第一侧部和第二侧部的可动执行器(22，32，132)、第一固定电极(24)和第二固定电极(27，37，47)，该第一固定电极(24)耦合到该衬底(28)并且定位在该可动执行器(22，32，132)的第一侧部上以产生第一驱动力来将该可动执行器(22，32，132)拉向导电状态，该第二固定电极(27，37，47)耦合到该衬底(28)并且定位在该可动执行器(22，32，132)的第二侧部上以产生第二驱动力来将该可动执行器(22，32，132)拉向非导通状态。

公开(公告)号：CN102856100B

公开(公告)日：2016-09-14

申请号：CN201210138329.5

申请日：2012-04-26

Applicant: 通用电气公司

Inventor： M·F·艾米

IPC: H01H9/54 ,  H01H59/00

CPC classification number: H01H1/0036 ,  H01H9/541

Abstract: 本发明名称为“具有调整施加到开关阵列的选通信号的时间分布的电路的开关阵列”。微机电系统(MEMS)开关阵列(1000)包括电路(1008)，电路(1008)可以耦合到阵列的选通电极线路(1006)以调整施加到组成该开关阵列的多个MEMS开关的选通信号的时间分布。可以对时间分布整形以减少可能在电流的开关期间在开关中发展的电压电涌。这种电压电涌减少有助于提高阵列的耐用性。

公开(公告)号：CN101533740B

公开(公告)日：2013-11-13

申请号：CN200810188424.X

申请日：2008-12-22

Applicant: 通用电气公司

Inventor： X·王 ,  K·苏布拉马尼安 ,  C·F·凯梅尔 ,  M·F·艾米 ,  K·V·S·R·基肖尔 ,  G·S·克莱顿 ,  O·C·布姆豪尔 ,  P·萨克尔

IPC: H01H59/00

CPC classification number: H01H59/0009 ,  H01H2059/0072

Abstract: 本发明涉及一种具有导电机械停止器的MEMS微开关。MEMS开关30、50、60、70、80包含衬底32、耦接到该衬底32的活动致动器53、63、83，衬底接触35、85，衬底电极36、56、86，和电耦接到该活动致动器33、63、83并被构造为防止该活动致动器33、63、83与衬底电极36、56、86接触，但允许该活动致动器33、63、83与衬底接触35、85形成接触的导电停止器39、59、69、79。

公开(公告)号：CN102856100A

公开(公告)日：2013-01-02

申请号：CN201210138329.5

申请日：2012-04-26

Applicant: 通用电气公司

Inventor： M·F·艾米

IPC: H01H9/54 ,  H01H59/00

CPC classification number: H01H1/0036 ,  H01H9/541

Abstract: 本发明名称为“具有调整施加到开关阵列的选通信号的时间分布的电路的开关阵列”。微机电系统(MEMS)开关阵列(1000)包括电路(1008)，电路(1008)可以耦合到阵列的选通电极线路(1006)以调整施加到组成该开关阵列的多个MEMS开关的选通信号的时间分布。可以对时间分布整形以减少可能在电流的开关期间在开关中发展的电压电涌。这种电压电涌减少有助于提高阵列的耐用性。

公开(公告)号：CN102082043A

公开(公告)日：2011-06-01

申请号：CN201010586673.1

申请日：2010-11-30

Applicant: 通用电气公司

Inventor： M·F·艾米 ,  S·班萨尔 ,  C·F·凯梅尔 ,  K·V·S·R·基肖尔 ,  S·孙达拉姆 ,  P·塔克雷

IPC: H01H59/00

CPC classification number: H01H59/0009 ,  H01H1/0036 ,  H01H2001/0052 ,  H01H2001/0084

Abstract: 本发明涉及一种开关结构。提供了一种装置，例如开关结构(100)。该开关结构可包括各自分别设置在衬底(108)上的触头(102)和导电元件(104)。导电元件可基本由金属材料组成，并且可构造成可在第一位置和第二位置之间变形，在第一位置上，导电元件与触头分开一段间距，而在第二位置上，导电元件接触触头且存储机械能。导电元件可进一步构造成使得在介于约室温和金属材料的熔化温度的约一半之间的温度处变形到第二位置上达至少107秒的累计时间之后，间距在没有外力的情况下经过该累计时间改变小于20％。还提供了相关联的方法。

公开(公告)号：CN101635229A

公开(公告)日：2010-01-27

申请号：CN200910165590.2

申请日：2009-07-23

Applicant: 通用电气公司

Inventor： M·F·艾米 ,  S·E·小韦弗 ,  S·E·雷迪 ,  O·普拉卡什 ,  E·伯克肯

IPC: H01H59/00 ,  B81B7/02

CPC classification number: H01H59/0009 ,  H01H2001/0052

Abstract: 公开电元件。电元件包括至少两个关于彼此在断开位置和闭合位置之间可移动的电触点，其中电触点中的至少一个包括具有小于大约3.5eV的功函数的材料，并且其中处于闭合位置的电触点之间的距离大于0nm并且高达大约30nm。还公开包括多个电开关的器件。