填料填充膜、片状膜、层叠膜、贴合体和填料填充膜的制造方法

    公开(公告)号:CN111168984A

    公开(公告)日:2020-05-19

    申请号:CN202010025666.8

    申请日:2015-10-28

    Abstract: 本发明提供一种填料填充膜、片状膜、层叠膜、贴合体和填料填充膜的制造方法。为了解决上述课题,根据本发明的观点,提供一种填料填充膜,其具有膜主体、在膜主体的表面形成的多个凹部和填充在各个凹部中的填料,凹部的开口面的直径至少大于可见光波长,凹部的排列图案具有沿着膜主体的长度方向的周期性,膜主体的一个端部中的填料的填充率与膜主体的其他部分中的填料的填充率之差小于0.5%。

    压花膜、片状膜、转印物以及压花膜的制造方法

    公开(公告)号:CN107073806B

    公开(公告)日:2019-09-06

    申请号:CN201580055670.6

    申请日:2015-10-28

    Abstract: 提供一种凹部的缺损频率更少的压花膜。一种压花膜,其具备膜主体、以及在上述膜主体的表面形成的多个凹部,上述凹部的开口面的直径大于可见光波长,上述凹部的排列图案具有沿着所述膜主体的长度方向的周期性,上述膜主体的一个端部中的凹部的缺损率与上述膜主体的另一个端部中的凹部的缺损率之差为10ppm以下。

    母盘的制造方法、转印物的制造方法、复制母盘的制造方法以及母盘的制造装置

    公开(公告)号:CN119183551A

    公开(公告)日:2024-12-24

    申请号:CN202380030901.2

    申请日:2023-03-28

    Inventor: 菊池正尚

    Abstract: 本发明的课题是在母盘的外周面上高精度地形成具有任意的三维形状的凹凸结构的图案。解决方案为一种母盘的制造方法,其包括:在基材的外周面上形成抗蚀剂层的工序;将二维绘制出具有三维形状的物体的输入图像分割成多个小区域的工序;基于含有所述物体的每个所述小区域内的所述物体的部分图像的浓淡而阶段性地确定朝每个该小区域照射的激光束的强度,并基于该确定结果而生成与所述物体对应的曝光控制信号的工序;基于所述曝光控制信号而用所述激光束照射所述抗蚀剂层,从而形成深度根据所述部分图像的浓淡而变化的抗蚀剂图案的工序;以及使用所述抗蚀剂层作为掩模,在所述基材的所述外周面上形成与所述物体的三维形状对应的凹凸图案的工序。

    母盘及转印物
    16.
    发明公开
    母盘及转印物 审中-实审

    公开(公告)号:CN117111412A

    公开(公告)日:2023-11-24

    申请号:CN202311084749.4

    申请日:2017-09-05

    Abstract: 本发明提供一种在外周面上包括凹部或凸部以高精度连续排列的凹凸结构的母盘及转印物。本发明的该母盘包括圆筒或圆柱形状的基材;以及在所述基材的外周面形成的凹凸结构;所述凹凸结构是在所述基材的周向上凹部或凸部以可见光区域的波长以下的点间距且螺旋状地连续排列的结构;所述凹部或凸部在所述基材的轴向上相邻的周之间具有规定的相位差而排列。该转印物在片状基材上形成有形成在上述的母盘的外周面上的所述凹凸结构的反转形状。

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