具有空气腔的氮化镓微波毫米波晶体管结构及制备方法

    公开(公告)号:CN111710715A

    公开(公告)日:2020-09-25

    申请号:CN202010409092.4

    申请日:2020-05-14

    Abstract: 本发明公开了一种具有空气腔的氮化镓微波毫米波晶体管结构,其特征在于,包括:具有氮化镓外延结构的晶圆;栅电极、源电极和漏电极,栅电极、源电极和漏电极均位于晶圆上;表面钝化层,位于晶圆上;第一中间介质层和第二中间介质层,分别位于漏电极和源电极上;掩膜层,掩膜层位于第一中间介质层和第二中间介质层上,且掩膜层、第一中间介质层和第二中间介质层、表面钝化层、漏电极和源电极在栅电极周围围绕成一空气腔;表面保护层,表面保护层位于掩膜层上。本发明去除了源电极和漏电极之间的介质,形成一个空气腔,显著减少了源电极、栅电极和漏电极之间的寄生电容,提升了器件的频率性能。

    一种增强型氮化镓高电子迁移率晶体管及其制备方法

    公开(公告)号:CN111668101A

    公开(公告)日:2020-09-15

    申请号:CN202010496654.3

    申请日:2020-06-03

    Abstract: 本发明公开了一种增强型氮化镓高电子迁移率晶体管及其制备方法,其中,所述增强型氮化镓高电子迁移率晶体管包括:晶圆,设置在所述晶圆上的源电极和漏电极,设置在所述晶圆上且位于所述源电极和所述漏电极之间的栅电极;其中,所述晶圆包括氮化镓外延结构;所述晶圆内设有一非晶材料区域,所述非晶材料区域位于所述栅电极下面。本发明提供的增强型氮化镓高电子迁移率晶体管通过对栅电极下面的部分势垒层进行离子注入,破坏晶格结构,形成非晶材料,从而对栅电极下面的二维电子气形成耗尽,以实现增强型晶体管的设计,其结构简单,工艺过程易于控制,成本较低,且器件可靠性高。

    自适应开关频率调整电路

    公开(公告)号:CN103607112B

    公开(公告)日:2016-03-02

    申请号:CN201310643640.X

    申请日:2013-12-01

    Abstract: 本发明公开了一种自适应开关频率调整电路,主要解决现有技术存在的开关变换器仅在较窄负载范围内保持较高效率的问题。其包括模式判别模块,阈值选择模块,基本振荡逻辑,抖频控制逻辑及受控电流源。模式判别模块通过检测外部反馈电压FB,产生两个比较逻辑信号,这两个比较逻辑信号在阈值选择模块中进行逻辑运算,确定基本振荡器逻辑中比较器的低阈值电压,基本振荡器逻辑输出时钟信号并作为抖频控制逻辑的驱动并产生一组控制信号对受控电流源的输出电流进行控制,实现频率抖动,降低开关式变换器的电磁干扰。本发明所述的自适应开关频率调整电路可靠性高,所有功能可完全集成在芯片内部,可应用于各种电源管理系统中。

    自适应开关频率调整电路

    公开(公告)号:CN103607112A

    公开(公告)日:2014-02-26

    申请号:CN201310643640.X

    申请日:2013-12-01

    Abstract: 本发明公开了一种自适应开关频率调整电路,主要解决现有技术存在的开关变换器仅在较窄负载范围内保持较高效率的问题。其包括模式判别模块,阈值选择模块,基本振荡逻辑,抖频控制逻辑及受控电流源。模式判别模块通过检测外部反馈电压FB,产生两个比较逻辑信号,这两个比较逻辑信号在阈值选择模块中进行逻辑运算,确定基本振荡器逻辑中比较器的低阈值电压,基本振荡器逻辑输出时钟信号并作为抖频控制逻辑的驱动并产生一组控制信号对受控电流源的输出电流进行控制,实现频率抖动,降低开关式变换器的电磁干扰。本发明所述的自适应开关频率调整电路可靠性高,所有功能可完全集成在芯片内部,可应用于各种电源管理系统中。

    高线性度增强型氮化镓高电子迁移率晶体管及制备方法

    公开(公告)号:CN111969046A

    公开(公告)日:2020-11-20

    申请号:CN202010683068.X

    申请日:2020-07-15

    Abstract: 本发明涉及一种高线性度增强型氮化镓高电子迁移率晶体管及制备方法,高线性度增强型氮化镓高电子迁移率晶体管,包括:晶圆,晶圆包括三族氮化物异质结,异质结界面形成二维电子气;位于晶圆上两端的源电极和漏电极;栅电极,设置在晶圆上,且位于源电极和漏电极之间;若干p型三族氮化物区,间隔设置在三族氮化物异质结内,且位于栅电极的下方,若干p型三族氮化物区与三族氮化物异质结形成纳米沟道带状结构。本发明的晶体管,在栅电极下设置有纳米沟道带状结构,实现了p型三族氮化物区对三族氮化物异质结的二维电子气的耗尽,形成了增强型的氮化镓高电子迁移率晶体管,而且提高了晶体管的跨导曲线的平坦度和线性度。

Patent Agency Ranking