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公开(公告)号：CN201114975Y
公开(公告)日：2008-09-10
申请号：CN200720032542.2
申请日：2007-08-21
Applicant: 西安电子科技大学
IPC: H05H1/46
Abstract: 本实用新型涉及一种用于电子回旋共振等离子体源的谐振腔体装置，该装置包括：同轴波导、介质窗，其中，同轴波导200采用圆波导管和锥形波导管组成的一体结构，该同轴波导下方固定有法兰盘700，法兰盘中间开有圆形窗口，该窗口外侧开有密封槽903，密封槽中设有密封圈，密封圈上固定有介质窗902，介质窗和法兰盘内壁之间设有固定橡胶圈901，介质窗上设有无磁托盘600，该无磁托盘与同轴波导内导体502之间通过扼流圈800连接。法兰盘与同轴波导通过螺纹连接，并与工艺室相连。本实用新型具有微波电场分布均匀、腔体加工尺寸大，拆卸维修方便的优点，可作为电子回旋共振等离子体设备的部件。
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