公开(公告)号：CN110342504B

公开(公告)日：2021-05-28

申请号：CN201910572325.X

申请日：2019-06-28

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 杨树明 ,  吉培瑞 ,  杨晓凯 ,  王一鸣

IPC: C01B32/194 ,  C01B32/184 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明公开了一种石墨烯纳米带的制备方法。该方法提出了探针操纵纳米线阵列化的理论模拟和实验方案，利用分子动力学仿真，确定探针着力点、规划探针路径，实现纳米线移动方向和移动距离的可操控，最终将分散的纳米线阵列化，为以纳米线阵列为掩蔽的纳米带结构可控制备提供了基础。刻蚀得到纳米带结构后，进一步通过高温退火改善边缘缺陷，得到原子级平滑边缘的石墨烯纳米带，提高了纳米带的光电特性。本发明提供的方法操作简单、实用性强、可靠性高，适用于实际生产，有效解决了石墨烯纳米带的制备难题。

公开(公告)号：CN110233182B

公开(公告)日：2020-11-10

申请号：CN201910572336.8

申请日：2019-06-28

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 杨树明 ,  吉培瑞 ,  王一鸣 ,  杨晓凯

IPC: H01L31/0232 ,  H01L31/09 ,  H01L31/028 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明公开了一种复合结构双吸收层石墨烯探测器及其制备工艺。该探测器包括二氧化硅基底、石墨烯纳米带、金属电极、纳米光栅天线、金属量子点、金属膜环带片和透明粘合剂。通过亚波长纳米光栅天线对光束进行耦合传导同时产生等离子体共振，提高接收效率并增强光电响应；通过金属量子点激发表面等离子体激元，产生表面等离子体共振增强光电响应；通过金属膜环带片对入射光束聚焦，使得入射光能量集中作用在探测区域，增强光电响应。采用正反两面探测器结构，正面与背面同时接收并转换成光电流，有效增大了接收面积，进一步了提高光电响应。相应的制备工艺操作简单，可靠性强。本发明有助于突破石墨烯弱光子能量探测的技术瓶颈。

公开(公告)号：CN110911521A

公开(公告)日：2020-03-24

申请号：CN201911157414.4

申请日：2019-11-22

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 杨树明 ,  索浩 ,  王一鸣 ,  吉培瑞

IPC: H01L31/113 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明公开了一种多层耦合结构多波段石墨烯探测器及其制备工艺。该探测器包括二氧化硅/硅基底、底层石墨烯、底层金属纳米颗粒、源极、漏极、顶层石墨烯、顶层金属纳米颗粒和背栅。金属电极在两层石墨烯之间的夹层结构，形成双活性层。两层金属纳米颗粒修饰两层石墨烯的结构，实现对双波段、多波段光电响应增强。通过分别调控两层金属纳米颗粒，改变金属纳米颗粒的尺寸、材料及颗粒间距，实现对特定波长入射光选择性吸收增强及多波段的选择性光电探测。背栅电压调控进一步增强光的吸收，提高响应度。该探测器制备工艺简单，实现了室温下的高速、高灵敏、多波段探测，有效解决了双波段、多波段探测的迫切需求。

公开(公告)号：CN108760057B

公开(公告)日：2019-12-20

申请号：CN201810387517.9

申请日：2018-04-26

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 刘涛 ,  刘强 ,  杨树明 ,  刘康 ,  王一鸣 ,  田博 ,  蒋庄德

IPC: G01J9/02

Abstract: 本发明公开了一种激光波长精密测量方法，属于光学精密测量技术领域。利用大数值孔径菲涅尔波带片(FZP)，采用矢量角谱理论计算照明波长为λi的线偏振光垂直照明FZP时对应的轴向强度点扩散函数，根据峰值获得焦距zp，改变λi重新计算得到焦距zp，利用线性相关系数评价(λi,zp)相关性，截取线性区间，并利用线性最小二乘拟合法得到线性测量曲线；用该FZP直接聚焦待测激光光束，通过压电陶瓷纳米位移台轴向步进扫描点探测器，测得轴向强度点扩散函数分布，用质心法得到实际焦距，利用线性测量曲线计算求得激光波长。本发明方法简单，成本低，测量波长适应范围广，适用于激光波长的低成本精密测量。

公开(公告)号：CN110233182A

公开(公告)日：2019-09-13

申请号：CN201910572336.8

申请日：2019-06-28

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 杨树明 ,  吉培瑞 ,  王一鸣 ,  杨晓凯

IPC: H01L31/0232 ,  H01L31/09 ,  H01L31/028 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明公开了一种复合结构双吸收层石墨烯探测器及其制备工艺。该探测器包括二氧化硅基底、石墨烯纳米带、金属电极、纳米光栅天线、金属量子点、金属膜环带片和透明粘合剂。通过亚波长纳米光栅天线对光束进行耦合传导同时产生等离子体共振，提高接收效率并增强光电响应；通过金属量子点激发表面等离子体激元，产生表面等离子体共振增强光电响应；通过金属膜环带片对入射光束聚焦，使得入射光能量集中作用在探测区域，增强光电响应。采用正反两面探测器结构，正面与背面同时接收并转换成光电流，有效增大了接收面积，进一步了提高光电响应。相应的制备工艺操作简单，可靠性强。本发明有助于突破石墨烯弱光子能量探测的技术瓶颈。

公开(公告)号：CN105242390B

公开(公告)日：2017-12-15

申请号：CN201510707519.8

申请日：2015-10-27

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 刘涛 ,  杨树明 ,  王通 ,  蒋庄德 ,  王一鸣

IPC: G02B21/00

Abstract: 本发明公开了一种多环带形MEMS共焦针孔探测器及测量方法，属于高分辨共焦扫描光学显微成像及测量技术领域。本发明所述的一种多环带形MEMS共焦针孔探测器为多环带形结构，每个环带可实现独立电极输出，利用不同环带信号的运算组合，编程选择滤波器信号输出模式以实现多种功能共焦探测输出，分别实现可变直径圆形针孔滤波、可变内外直径环形针孔滤波、差分和微分滤波共焦探测输出等，并应用实现高分辨率共焦层析成像及精密测量。以本发明为基础研制分辨率可调制共焦扫描光学显微镜，用于微纳结构表面形貌的精密测量或生物样品内部三维结构高分辨成像等。