公开(公告)号：CN109883580B

公开(公告)日：2020-11-17

申请号：CN201910208085.5

申请日：2019-03-19

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 赵玉龙 ,  张全伟 ,  李村 ,  李波 ,  韩超 ,  葛晓慧

IPC: G01L1/10

Abstract: 一种全石英差动式谐振压力传感器芯片,包括推杆，推杆的末端通过柔性铰链和基底连接，推杆的末端两侧连接的第一双端固支音叉、第二双端固支音叉组成差动工作单元；推杆的侧面基底上设有第三双端固支音叉的作为校正工作单元的参考单元，推杆受力端连接至附属的压力敏感结构；双端固支音叉、柔性铰链、推杆和基底为一体化石英晶体加工；附属的压力敏感结构将压力转换为位移，推动推杆绕柔性铰链转动，带动工作单元的两个石英音叉梁发生形变，一个受到拉应力频率升高，另一个受到压应力频率降低，两者的频率差与压力成比例关系，通过测量频率差，进而获得所测压力的大小；本发明具有数字信号输出、灵敏度高和抗干扰性能优良的优点。

公开(公告)号：CN109765404B

公开(公告)日：2020-03-17

申请号：CN201811626393.1

申请日：2018-12-28

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 李村 ,  韩超 ,  赵玉龙 ,  李波 ,  张全伟 ,  白冰

IPC: G01P15/097

Abstract: 本发明提供基于QoS工艺的加速度计芯片及加工工艺和加速度计，芯片包括键合在硅基结构两侧的第一、第二石英结构，石英结构包括石英框架、双端固定石英音叉、石英支撑梁和石英质量块，硅基结构包括硅基框架和硅质量块；在石英框架和硅基框架处，以及石英质量块和硅质量块处完全键合，形成第一石英结构、硅基结构、第二石英结构的三明治形式；加工工艺是先进行硅基初加工，再进行硅基和两个石英片双面键合，两个石英片减薄和抛光，然后进行石英振梁电极及石英结构的制作，最后进行硅基结构的释放。本发明具有灵敏度高、成本低等特点。