公开(公告)号：CN104685604A

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：CN201380041167.6

申请日：2013-10-02

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 威廉·李 ,  威廉·雷诺兹 ,  斯坦利·斯通

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/20 ,  H01J37/18 ,  H01L21/67 ,  H01L21/68

CPC classification number: H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/31705 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67201 ,  H01L21/67213 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67766

Abstract: 本发明涉及一种离子注入系统，该系统向置于冷却夹盘上的处理腔室的真空环境中的工件提供离子。处理腔室内的预冷站具有配置成将工件冷却至第一温度的冷却的工件支撑件，处理腔室内的后热站具有配置成将工件加热至第二温度的加热的工件支撑件。第一温度低于处理温度，第二温度高于外部温度。工件传送臂进一步配置成在夹盘、装载锁定腔室、预冷站及后热站中的两个或两个以上构件之间同时传送两个或两个以上工件。

公开(公告)号：CN104380428A

公开(公告)日：2015-02-25

申请号：CN201380028481.0

申请日：2013-05-24

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 威廉·李 ,  史蒂夫·德拉蒙德

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/18

CPC classification number: H01J37/185 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/184 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/31701

Abstract: 本发明涉及一种离子注入系统(101)，该系统向置于低于环境温度夹盘(130)上的处理腔室(122)的处理环境(126)中的工件(118)提供离子(112)。具有中间环境(138)的中间腔室(136)与外部环境(132)流体连通并具有用于冷却和加热工件(118)的冷却站(140)及加热站(142)。在处理腔室(122)与中间腔室(136)之间提供装载锁定腔室(150)，以使处理环境(126)与中间环境(138)隔离。正压源(166)在中间腔室(136)内提供干气(168)，中间腔室(136)的露点低于中间腔室外部环境(132)的露点。正压源通过自中间腔室流向外部环境的干气流而使中间环境与外部环境隔离。

公开(公告)号：CN102918629A

公开(公告)日：2013-02-06

申请号：CN201180026329.X

申请日：2011-05-26

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 威廉·李 ,  阿施文·普鲁黑特

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/683

CPC classification number: H01L21/6831 ,  B23B31/28 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/6833 ,  Y10T29/49117 ,  Y10T279/23

Abstract: 本发明公开一种用于选择用于形成静电夹持装置的材料的装置和方法。静电夹持装置具有背板，背板具有第一热膨胀系数，其中背板对静电夹持装置提供结构性支撑和刚性。静电夹持装置进一步具有夹持板，夹持板具有与接触工件相关的夹持表面，其中夹持板具有与其相关的第二热膨胀系数。夹持板被结合、连接或生长在背板上，其中夹持板的微小偏转在预定温度范围上是明显的。第一热膨胀系数和第二热膨胀系数例如是大致相似，并且以不大于3的因子变化。