用于各向异性蚀刻衬底的装置和用于运行用于各向异性蚀刻衬底的装置的方法

    公开(公告)号:CN106575616A

    公开(公告)日:2017-04-19

    申请号:CN201580043466.2

    申请日:2015-07-06

    Inventor: F.莱尔默

    Abstract: 本发明提供了一种用于蚀刻衬底的装置以及一种用于运行根据本发明的装置的方法。该装置包括:第一反应腔,第一气体能够导入到第一反应腔中;第二反应腔,第二气体能够导入到第二反应腔中;线圈装置,借助于线圈装置能够产生电磁交变场;其中,借助于第一气体的加载能够利用电磁交变场产生至少一种第一反应物质,并且其中,借助于第二气体的加载能够利用电磁交变场产生至少一种第二反应物质;分离装置,借助于分离装置来中断第一反应腔与第二反应腔之间的直接气体交换;用于接收各向异性待蚀刻的衬底的蚀刻腔;以及混合装置,混合装置以如下方式布置和构造,即,这些反应物质进入到混合装置中、彼此混合并彼此混合地在蚀刻腔中为了各向异性蚀刻而作用到衬底上。

    微型定量供给泵和用于制造微型定量供给泵的方法

    公开(公告)号:CN103206363B

    公开(公告)日:2016-12-28

    申请号:CN201310010530.X

    申请日:2013-01-11

    CPC classification number: F04B43/02 F04B43/043 F04B53/106 Y10T29/49236

    Abstract: 本发明涉及一种微型定量供给泵和一种它的制造方法,该泵包括带有泵室的泵室基底,设置在泵室基底一侧上的柔性的膜,它流体密封地覆盖泵室,设置在泵室基底的第二侧上的至少一个流体管路,使得流体可以流入和流出泵室,带有至少一个流体通流孔的可转动的阀盘,它布置在泵室内并且被设计成用于通过转动来封闭流体管路和经由流体通流孔来打开流体管路,永久磁化的或可磁化的致动器盘,它经至少一个弹簧弹性的元件与阀盘这样地耦合,使得致动器盘的转动导致阀盘的转动,其中,弹簧弹性的元件将阀盘和致动器盘相互顶开,带有磁性的泵柱塞杆的、用于使膜运动以吸入或排出流体的驱动单元,其设计成用于转动永久磁化的或可磁化的致动器盘。

    用于掩蔽含氧化硅的表面的方法

    公开(公告)号:CN105074871A

    公开(公告)日:2015-11-18

    申请号:CN201480020436.5

    申请日:2014-03-18

    Inventor: F.莱尔默

    Abstract: 本发明涉及用于掩蔽表面的方法,特别是包含氧化硅、铝或硅的表面,所述方法包括以下方法步骤:a)提供具有待掩蔽的表面的基材,特别是具有包含氧化硅、铝或硅的表面的基材;和b)通过在所述表面上局部选择性地形成胶态氧化硅,产生确定的掩蔽图型。相对于多数蚀刻介质,例如特别相对于氢氟酸,上述方法使得可按简单且成本有利的方式实现极其稳定的掩蔽,从而通过例如蚀刻过程实现最高准确度的和确定的结构。本发明进一步涉及电子组件,以及涉及胶态氧化硅用于局部选择性地掩蔽待处理的表面的用途。

    微型定量供给泵和用于制造微型定量供给泵的方法

    公开(公告)号:CN103206363A

    公开(公告)日:2013-07-17

    申请号:CN201310010530.X

    申请日:2013-01-11

    CPC classification number: F04B43/02 F04B43/043 F04B53/106 Y10T29/49236

    Abstract: 本发明涉及一种微型定量供给泵和一种它的制造方法,该泵包括带有泵室的泵室基底,设置在泵室基底一侧上的柔性的膜,它流体密封地覆盖泵室,设置在泵室基底的第二侧上的至少一个流体管路,使得流体可以流入和流出泵室,带有至少一个流体通流孔的可转动的阀盘,它布置在泵室内并且被设计成用于通过转动来封闭流体管路和经由流体通流孔来打开流体管路,永久磁化的或可磁化的致动器盘,它经至少一个弹簧弹性的元件与阀盘这样地耦合,使得致动器盘的转动导致阀盘的转动,其中,弹簧弹性的元件将阀盘和致动器盘相互顶开,带有磁性的泵柱塞杆的、用于使膜运动以吸入或排出流体的驱动单元,其设计成用于转动永久磁化的或可磁化的致动器盘。

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