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公开(公告)号：CN110364416A
公开(公告)日：2019-10-22
申请号：CN201910261070.5
申请日：2019-04-02
Applicant: 细美事有限公司
Inventor： 曹美英 , 金多情 , 延蕊林 , 丘峻宅
IPC: H01L21/02 , H01L21/67
Abstract: 本发明涉及一种基板清洗方法，包括：向基板提供在溶剂中包含热敏性高分子树脂的液状清洗液的步骤；通过第一热处理将液状清洗液进行相转变而凝胶化，以捕获颗粒的步骤；通过第二热处理将被捕获的颗粒的凝胶状的清洗液进行相转变而液化的步骤；及，提供冲洗液去除相转变为液状的清洗液的步骤。
