喷墨头和喷墨打印机
    11.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107405920B

    公开(公告)日:2019-02-19

    申请号:CN201680014432.5

    申请日:2016-03-16

    Abstract: 一种喷墨头,包括:压力室形成板,其形成有各自与喷嘴连通的多个压力室;振动板,其限定每个压力室的一个表面并允许其限定区域的变形;压电元件,其是通过从振动板的与所述压力室相反的表面在对应于所述压力室的区域中依次堆叠第一电极层、压电层和第二电极层而形成;以及电路板,其与所述振动板成间隔布置,多个凸块电极介于所述电路板与所述振动板之间,并且所述电路板输出用于驱动所述压电元件的信号,其中针对每个压电元件独立地形成第一电极层,所述第二电极层跨多个压电元件连续地形成,并且在所述限定区域外的区域中,所述凸块电极的至少一部分与所述第一电极层和所述第二电极层电连接。

    MEMS装置、液体喷射头和它们的制造方法、液体喷射装置

    公开(公告)号:CN107020808A

    公开(公告)日:2017-08-08

    申请号:CN201610811780.7

    申请日:2016-09-08

    Abstract: 本发明提供一种MEMS装置、液体喷射头、液体喷射装置、MEMS装置的制造方法、以及液体喷射头的制造方法,该MEMS装置使构成记录头的压力产生室形成基板不易产生机械性的损伤,从而提高记录头的制造成品率与品质。本发明的特征在于,包括:第一基板(33);第二基板(29),其与第一基板(33)层压配置,并在第一基板(33)侧具有压电元件(32),第一基板(33)与第二基板(29)为大致相同的尺寸,并且在俯视观察时,第一基板(33)的端部(33a)与第二基板(29)的端部(29a)被配置在大致相同的位置处。

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