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公开(公告)号：CN102809669B
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201210169606.9
申请日：2012-05-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01P15/0802 , G01P15/0922 , G01P15/097 , G01P2015/0828 , H05K3/4623 , Y10T29/49002 , Y10T29/49124 , Y10T29/49126 , Y10T29/49817
Abstract: 本发明提供物理量检测器的制造方法和物理量检测器，其能够降低实施制造工序时的可动部或连接部的破损，从而提高物理量检测器的生产性。物理量检测器的制造方法的特征在于，所述物理量检测器具备：平板框状的基座部(10)；被配置于基座部(10)的内侧，一个端部经由连接部(11)而与基座部(10)连接的平板状的可动部(12)；被架设于基座部(10)和可动部(12)上的物理量检测元件(13)，该物理量检测器的制造方法包括：一体地形成基座部(10)、连接部(11)、可动部(12)以及连结部(14)的基座基板形成工序，该连结部被设置在可动部(12)的自由端侧并连接基座部(10)与可动部(12)；将物理量检测元件(13)架设并固定在基座部(10)与可动部(12)上的物理量检测元件接合工序；将连结部(14)切断的连结部切断工序。
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公开(公告)号：CN103090887A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201210422835.7
申请日：2012-10-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01C9/06 , G01P15/09 , G01P15/097 , G01P2015/0828
Abstract: 本发明提供一种物理量检测装置、物理量检测器及电子设备，其能够抑制应力向物理量检测元件被传递的情况。本发明所涉及的物理量检测装置（100）包括：基部（10）；可动部（14），其通过连接部（12）而被基部（10）支承，并根据物理量的变化而发生位移；物理量检测元件（40），其跨接基部（10）和可动部（14）；第一支承部（20），其从基部（10）起延伸，并具备第一固定部（24）；第二支承部（30），其从基部（10）起延伸，并具备第二固定部（34），第一固定部（24）与第二固定部（34）之间的距离（L1）小于，第一支承部（20）与基部（10）的连接根部的部分（23）和第二支承部（30）与基部（10）的连接根部的部分（33）之间的距离（L2）。
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公开(公告)号：CN102809669A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201210169606.9
申请日：2012-05-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01P15/0802 , G01P15/0922 , G01P15/097 , G01P2015/0828 , H05K3/4623 , Y10T29/49002 , Y10T29/49124 , Y10T29/49126 , Y10T29/49817
Abstract: 本发明提供物理量检测器的制造方法和物理量检测器，其能够降低实施制造工序时的可动部或连接部的破损，从而提高物理量检测器的生产性。物理量检测器的制造方法的特征在于，所述物理量检测器具备：平板框状的基座部(10)；被配置于基座部(10)的内侧，一个端部经由连接部(11)而与基座部(10)连接的平板状的可动部(12)；被架设于基座部(10)和可动部(12)上的物理量检测元件(13)，该物理量检测器的制造方法包括：一体地形成基座部(10)、连接部(11)、可动部(12)以及连结部(14)的基座基板形成工序，该连结部被设置在可动部(12)的自由端侧并连接基座部(10)与可动部(12)；将物理量检测元件(13)架设并固定在基座部(10)与可动部(12)上的物理量检测元件接合工序；将连结部(14)切断的连结部切断工序。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102798732A
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201210162807.6
申请日：2012-05-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01P15/097
Abstract: 本发明涉及一种加速度传感器以及加速度检测装置，其加速度检测灵敏度、加速度检测精度较高。加速度检测元件(10)具备加速度检测部(20)、第一被固定部(14a)以及第二被固定部(14c)、将第一被固定部(14a)以及第二被固定部(14c)分别连结于加速度检测部(20)的第一至第四梁(12a～12d)，支承基板(4)具备固定侧的第一基板片(5)、可动侧的第二基板片(7)、和对第一基板片(5)和第二基板片(7)进行连结的铰链部(8)，加速度检测元件(10)的长边方向沿着与检测轴(9)方向正交的方向而延伸，且短边方向的中心部与铰链部(8)的短边方向上的范围重叠，第二基板片(7)的沿着铰链部(8)的长边方向的长度(L1)长于沿着铰链部(8)的短边方向的长度(L2)。
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公开(公告)号：CN101634598B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN200910160905.4
申请日：2009-07-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L9/0022 , G01L19/02
Abstract: 本发明提供一种减少伴随温度变化的压力测定值的误差的压力传感器。压力传感器(10)具有：外壳(12)；受压单元(膜片24)，其封闭所述外壳的开口部(22)，将外部压力传递到所述外壳(12)内部；以及感压元件(40)，其具有感压部(振动臂)(40c)和与所述感压部的两端连接的一对基部(第1基部40a、第2基部40b)，将力的检测方向作为检测轴，连接所述一对基部的直线和所述受压单元的位移方向平行配置，并且，将所述基部的一方(第1基部40a)连接到由于所述压力而位移的所述受压单元的中央区域(24a)，将所述基部的另一方(第2基部40b)经由连接部件(42)连接到所述受压单元的固定侧的周缘区域(24c)。
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公开(公告)号：CN114199232A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202111088010.1
申请日：2021-09-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C21/16
Abstract: 本发明提供惯性测量装置，其特征在于，具有：传感器单元，其具有惯性传感器；以及第一保持部，其保持传感器单元，第一保持部具有：第一基板；第二基板；多个间隔件，其将传感器单元与第一基板连接；第一弹性部件和第二弹性部件，它们设置成穿过开孔部且夹着第一基板；第一固定部件，其贯通第一基板和第一弹性部件，进行按压而将第一基板固定于第二基板；以及第二固定部件，其贯通第一基板和第二弹性部件，进行按压而将第一基板固定于第二基板，第一弹性部件和第二弹性部件分别具有：第一部分，其配置于传感器单元与第一基板之间；第二部分，其与第一部分对置，并与第二基板接触；以及第三部分，其与第二部分连结，并位于开孔部的内侧。
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公开(公告)号：CN102680737B
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201210063622.X
申请日：2012-03-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01C9/06 , G01P15/097 , G01P2015/0871
Abstract: 本发明提供加速度检测器或装置、倾斜传感器或检测装置、电子设备，该加速度检测器能够避免因与封装件的内表面的碰撞或超过强度极限的位移而导致的可动部或加速度检测元件的损坏。加速度检测器的特征在于，具备：基座部；板状的可动部，经由连接部而与该基座部连接；加速度检测元件，跨接基座部和可动部；支承部，在俯视观察时从基座部起沿着可动部而延伸，可动部的两个主面中的至少一个主面上配置有在俯视观察时一部分与支承部重合的质量部，可动部能够根据在与主面交叉的方向上施加的加速度，以连接部为支点而在与主面交叉的方向上位移，在质量部和支承部重合的区域内，于质量部和支承部之间设置有间隙。
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公开(公告)号：CN202693614U
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201220091421.6
申请日：2012-03-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01P15/097 , G01C9/00
CPC classification number: G01C9/06 , G01P15/097 , G01P2015/0871
Abstract: 本实用新型提供加速度检测器或装置、倾斜传感器或检测装置、电子设备，该加速度检测器能够避免因与封装件的内表面的碰撞或超过强度极限的位移而导致的可动部或加速度检测元件的损坏。加速度检测器的特征在于，具备：基座部；板状的可动部，经由连接部而与该基座部连接；加速度检测元件，跨接基座部和可动部；支承部，在俯视观察时从基座部起沿着可动部而延伸，可动部的两个主面中的至少一个主面上配置有在俯视观察时一部分与支承部重合的质量部，可动部能够根据在与主面交叉的方向上施加的加速度，以连接部为支点而在与主面交叉的方向上位移，在质量部和支承部重合的区域内，于质量部和支承部之间设置有间隙。
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