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公开(公告)号：CN103969726A
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201410042197.5
申请日：2014-01-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G01J3/51
Abstract: 本发明涉及光学滤波器器件、光学模块以及电子设备。其中，光学滤波器器件具备光干涉滤波器和壳体。光干涉滤波器具备固定基板、与固定基板接合的可动基板、设置在固定基板上的固定反射膜、设置在可动基板上的可动反射膜。壳体具备底部基板和在与底部基板之间形成内部空间的盖。可动基板在俯视观察中在光干涉区域的外侧具有设置在与固定基板的相反侧的面上的保持部，底部基板具备与光通过区域对应的光通过孔，光通过孔的外周边缘与保持部相对，可动基板的与固定基板相反侧的面与底部基板接合。
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