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公开(公告)号：CN104113301A
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：CN201410155968.1
申请日：2014-04-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H02N1/006 , B81B3/001 , B81B3/0013 , B81B3/0045 , B81B2203/0118 , Y10T29/49155
Abstract: 本发明提供振子、振荡器、电子设备、移动体和振子的制造方法，不会延长振子的梁（beam）的长度，能够应对小型化，制造成品率稳定，驱动频率更低。MEMS振子（100）具有基板（1）；下部电极（10），其设置在基板（1）的主面上；固定部（23），其设置在所述主面上；以及上部电极（20），其从基板（1）分离并支承在固定部（23）上，上部电极（20）是具有在俯视基板（1）时与下部电极（10）重合的区域的振动体，在包含作为所述振动体的上部电极（20）的振动的波腹部的区域（D1）中具有加重部（50）。
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公开(公告)号：CN104113300A
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：CN201410154056.2
申请日：2014-04-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H02N1/006 , B81B3/007 , B81B2203/053
Abstract: 本发明提供MEMS振子、电子设备和移动体，可得到期望的振动模式。MEMS振子具有：振动部；电极部，其相对于振动部具有间隙而相对地设置；以及支承部，其从振动部在第1方向上延伸设置，振动部具有从第1方向观察时厚度不同的功能部。
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公开(公告)号：CN103780220A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201310503843.9
申请日：2013-10-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器、电子设备以及移动体。作为课题，提供即使小型化也能够抑制向封装等的振动泄漏、能够将CI值抑制得较低的振动片、具有该振动片的振子、振荡器、电子设备以及移动体。振动片包含：基部，其包含一个端部以及俯视时处于与所述一个端部相反侧的另一端部；以及从所述基部的所述一个端部起沿着第1方向延伸的一对振动臂，所述基部在所述一个端部和所述另一端部中的至少任意一个端部中包含宽度缩小部，朝向沿着所述第1方向与所述基部远离的方向侧，所述宽度缩小部的沿着与所述第1方向交叉的第2方向的宽度逐渐变小，在所述基部的所述一个端部与所述另一端部之间设置有固定部。
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公开(公告)号：CN1591136A
公开(公告)日：2005-03-09
申请号：CN200410075178.9
申请日：2004-09-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02F1/1337 , G02F1/133 , G03B21/00
CPC classification number: G02F1/13378 , G02F1/133723 , G02F2001/133776 , G02F2001/133792 , Y10T428/1009
Abstract: 一种无机取向膜、具有这种无机取向膜的电子设备用基板、液晶面板和电子仪器、以及这种无机取向膜的形成方法，本发明的无机取向膜的形成方法，是在基材上形成无机取向膜的方法，其特征在于，包括：第一研磨工序，对基材的形成了无机取向膜的面，从相对该面的垂直方向仅倾斜了预定的角度θa的方向照射离子束；成膜工序，在照射了离子束的基材上形成主要由无机材料构成的膜；第二研磨工序，从相对该表面的垂直方向仅倾斜了预定的角度θb的方向向所述膜的表面照射离子束。根据本发明提供耐光性好、且可产生预倾角的无机取向膜。
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公开(公告)号：CN1287713A
公开(公告)日：2001-03-14
申请号：CN99801792.2
申请日：1999-10-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 弹性表面波元件1具有:由石英构成的基板2;由铝层构成的一对梳齿型电极3;电极连接端4;以及由与电极3为相同材料构成的一对栅格状反射器5。在构成电极3的铝层中,其结晶结构形成双晶结构,把铝的(－11—1)面及(1—11)面作为双晶的晶粒界,(－111)面及(002)面的晶粒、与(1—1—1)面及(00—2)面的晶粒处于双晶关系。此外,铝层的{111}面对构成基板2的石英的{010}面倾斜8°来取向。
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