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公开(公告)号：CN102149460B
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN200980135309.9
申请日：2009-09-07
Applicant: 积水化学工业株式会社
IPC: B01J19/08 , B01D53/22 , H01L21/3065
CPC classification number: B01D53/229 , B01D2257/2027 , B01D2258/0216 , H01L21/32137
Abstract: 在大气压等离子体处理中，抑制氟原料的回收率或回收浓度的波动，以保证处理的稳定性。通过分离部(4)的分离膜(41)将离开大气压等离子体处理部(2)到达废气管线(30)的废气分离成用于回收管线(50)的回收气体和用于释放管线(60)的释放气体。将回收气体用作处理气体的至少一部分。在分离时，根据处理气体的流率调整回收气体、释放气体和废气中的至少两种气体的与分离相关的物理量(优选压力)，使得氟原料的回收率或回收浓度中的一项或两项达到期望值。
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公开(公告)号：CN102498550A
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN201080041037.9
申请日：2010-08-25
Applicant: 积水化学工业株式会社
IPC: H01L21/3065 , H05H1/24
CPC classification number: H01L21/31116 , H01J37/32357 , H01J37/32825 , H05H1/2406 , H05H2001/2412
Abstract: 本发明公开了一种用于蚀刻含硅膜的方法，其中有机膜的隆起或剥离得到防止。具体地，将基本上不含氢原子的蚀刻材料气体引入到处于近大气压下的等离子体生成空间(23)中，以产生蚀刻气体。使蚀刻气体与包含含硅膜(92)和有机膜(93)的待处理目标物(90)接触。含硅膜(92)可通过氧化氮(NOx)氧化。蚀刻材料气体含有7至80体积％的不含氢原子的氟组分，7至80体积％的氮气(N2)和5至60体积％的氧气(O2)。
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公开(公告)号：CN101124663B
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200580023196.5
申请日：2005-07-08
Applicant: 积水化学工业株式会社
IPC: H01L21/3065 , H01L21/304 , H01L21/306 , C23F4/00
Abstract: 一种用于处理基板的外周的方法和装置，在用于从基板的外周部去除不需要的膜时能够避免对基板中心部分的损坏。作为吸热装置的冷却介质室(4)形成在台(10)内，且诸如水的冷却介质填充到其中。晶片(90)被支撑在台(10)的支撑表面(10a)上。晶片(90)的外周部通过加热器(20)被加热，且用于去除不需要的膜的反应性气体从反应性气体出口(30b)供到晶片的被加热部分。另一方面，晶片(90)的在所述外周部的内侧的部分内的热量通过吸热装置吸收。
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公开(公告)号：CN107109662B
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201680005016.9
申请日：2016-02-26
Applicant: 积水化学工业株式会社
CPC classification number: B05D1/10 , B05D7/24 , C01G23/04 , C23C24/04 , H01G9/20 , Y02E10/542 , Y02E10/549 , Y02P70/521
Abstract: 一种半导体膜的制造方法，在将平均粒径为1nm以上且低于100nm的范围的半导体粒子分散在醇中而得到分散液后，使所述醇从所述分散液蒸发而对所述半导体粒子进行干燥，由此获得所述半导体粒子彼此凝聚而成的凝聚粒子，将所述凝聚粒子喷涂于基材上，从而在所述基材上形成半导体膜。[2]根据所述制造方法，在所述半导体粒子沉淀于所述醇中的状态下，使所述醇蒸发而对所述半导体粒子进行干燥。[3]根据所述制造方法，在低于50℃的温度下使所述醇蒸发。[4]一种染料敏化太阳能电池，其具备使敏化染料吸附于通过所述制造方法得到的半导体膜而成的光电极。
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公开(公告)号：CN108352256A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201680065536.9
申请日：2016-12-07
Applicant: 积水化学工业株式会社
IPC: H01G9/20
CPC classification number: H01G9/20 , Y02E10/542
Abstract: 本发明提供具备色素增感型太阳能电池的太阳能电池模块，该色素增感型太阳能电池具有在一个面上形成有透明电极的透明基板、以及在一个面上形成有对置电极的对极基板，其特征在于，透明基板及对极基板以所述透明电极与所述对置电极对置的方式配置，所述透明基板在与形成有所述透明电极的面相反的面被具有光透射性的保护构件覆盖。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105164316B
公开(公告)日：2018-03-23
申请号：CN201480024102.5
申请日：2014-07-04
Applicant: 积水化学工业株式会社
CPC classification number: H01G9/2027 , C23C24/04 , H01G9/0029 , H01G9/2031 , Y02E10/542 , Y02P70/521
Abstract: 本发明是一种半导体膜的制造方法，其特征在于，通过将含有半导体粒子的原料粒子吹附于基材而在所述基材上制成半导体膜，该半导体粒子是使抑制半导体粒子彼此凝聚的凝聚抑制物质附着于表面而成的半导体粒子。
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公开(公告)号：CN106687621A
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201580048026.6
申请日：2015-09-17
Applicant: 积水化学工业株式会社
IPC: C23C24/04
CPC classification number: C23C24/04
Abstract: 本发明提供一种粉体粉体供给器。粉体供给器(1)具备：搅拌部(3)，其搅拌原料物质(6)；气溶胶化部(4)，其引入径搅拌的原料物质(6)和载气，使原料物质(6)气溶胶化而生成气溶胶(62)，在气溶胶化部(4)的下游侧设置有喷出气溶胶(62)的喷出口(53)，在搅拌部(3)和气溶胶化部(4)之间设置有隔板(8)，在隔板(8)上形成有从搅拌部(3)侧向气溶胶化(4)部侧扩大，将经搅拌的原料物质(6)导出至气溶胶化部(4)的导出孔(8H)。
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公开(公告)号：CN105723481A
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201580002551.4
申请日：2015-03-19
Applicant: 积水化学工业株式会社
CPC classification number: H01G9/2068 , H01G9/2031 , H01G9/2059 , Y02B10/12 , Y02E10/542
Abstract: 一种色素敏化型太阳能电池单元的嵌入构造，具有将至少具有光电极、与该光电极相对设置的相对电极的色素敏化型太阳能电池单元插入到一对基材之间的构造，所述一对基材中的至少一方的内面侧构成为具有导电性的导电层，将所述导电层和所述光电极或所述相对电极电连接。
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公开(公告)号：CN101816064A
公开(公告)日：2010-08-25
申请号：CN200880109735.0
申请日：2008-09-26
Applicant: 积水化学工业株式会社
IPC: H01L21/3065
CPC classification number: H01L21/3065
Abstract: 本发明提供一种硅的蚀刻方法，其课题在于，使硅的蚀刻速度提高。其中，在氟系原料的CF4和Ar的混合气体中添加露点成为10℃～40℃的量的水，在大气压下进行等离子体化。将等离子体化后的气体和来自臭氧发生器13的含有臭氧的气体混合，得到反应气体。反应气体包含1vol％以上的臭氧、COF2等非自由基氟系中间物质和0.4vol％以上的HF等氟系反应物质，氟原子数(F)和氢原子数(H)的比为(F)/(H)＞1.8。将该反应气体喷射到温度10℃～50℃的硅膜91(被处理物)上。
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公开(公告)号：CN105283936B
公开(公告)日：2018-09-11
申请号：CN201480030101.1
申请日：2014-08-29
Applicant: 积水化学工业株式会社
Abstract: 本发明的课题在于，提供一种染料敏化太阳能电池的对电极活性物质的再活化方法、以及应用了该方法的染料敏化太阳能电池的再生方法、染料敏化太阳能电池的催化剂层、对电极、电解液及染料敏化太阳能电池，其中所述染料敏化太阳能电池的再生方法包括通过将被染料敏化太阳能电池的电解液中的氧化还原对还原的导电性高分子再生，能够使暂时降低的染料敏化太阳能电池的发电性能恢复至初始性能，可以防止染料敏化太阳能电池的发电性能的降低。本发明是一种染料敏化太阳能电池的对电极活性物质的再活化方法，其是对染料敏化太阳能电池的对电极活性物质进行再活化的方法，所述染料敏化太阳能电池具有由含有至少一种以上的导电性高分子作为对电极活性物质的催化剂层构成的对电极，该方法包括：通过化学氧化或电化学氧化对所述导电性高分子进行再氧化。
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