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公开(公告)号：CN102812073B
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201180015223.X
申请日：2011-03-23
Applicant: 积水化学工业株式会社
IPC: B29C59/14
CPC classification number: B29C59/14
Abstract: 本发明提供膜表面处理装置，在使含有反应成分的反应气体活化而对被处理膜进行表面处理时能够使反应成分充分反应，并防止在电极上附着污垢。在主处理部(10)的第一辊电极(11)及第二辊电极(12)上卷挂被处理膜(9)。通过辊电极(11、12)的旋转使被处理膜(9)从电极(11)向电极(12)输送。从喷嘴(23)向比电极(11、12)间的主放电空间(19)靠输送方向的上游侧的位置或放电空间(19)内的膜(19)上喷出反应气体。在比主处理部(10)靠输送方向的下游的位置设置再活化部(30)。优选，使再活化部(30)的后段电极(31)与第二辊电极(12)对置，将第二辊电极(12)兼用作再活化部(30)的另一方的后段电极。从气体供给部(33)向电极(31、12)之间供给不含有反应成分的放电生成气体。
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公开(公告)号：CN100511583C
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200710169238.7
申请日：2004-03-04
Applicant: 积水化学工业株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/02 , H01L21/3065 , H01L21/311 , H01L21/3213 , H01L21/205 , H01L21/285 , H01L21/31 , H01L21/3205 , H01L21/67 , C23C16/509 , C23C16/513 , C23F4/00 , H01J37/32 , H05H1/46
CPC classification number: H01L21/3065 , C23C16/5093 , H01J37/32009 , H01J37/32541 , H01J37/32724
Abstract: 一种等离子加工装置，其中加工气体在圆环形内电极(11)和圆环形外电极(21)之间被等离子化。热导内温度调节部件(50)通过螺栓(7)挤压在内电极(11)的内周面上。热导外温度调节部件(60)通过螺栓(8)挤压在外电极(21)的外周面上。内、外部件(50、60)是可膨胀的和可收缩的C形形状。
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公开(公告)号：CN111907924A
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN202010794604.3
申请日：2015-07-29
Applicant: 积水化学工业株式会社
Abstract: 本发明的膜成形体(1)在膜(2)的表面(2a)上形成有彼此相隔地配置的凹状或凸状的压花部(3)，对多个压花部(3)进行了配置，使在膜(2)的表面上形成由多个压花部(3)、及将这些多个压花部(3)各自之间连结的假想线(4a)包围的包围区域(4)。
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公开(公告)号：CN104247201A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201380021292.0
申请日：2013-02-22
Applicant: 积水化学工业株式会社
CPC classification number: H02J7/0045 , B60L11/1822 , B60L11/1861 , H02J3/32 , H02J7/0014 , H02J7/0022 , H02J7/0027 , H02J7/025 , H02J7/34 , H02J50/30 , H02J50/40 , Y02T10/7055 , Y10T307/336
Abstract: 一种蓄电系统，其特征在于，将由多个连接的单元构成的盒以多个并联的方式进行连接，设置将对于所述盒的每个盒的电流限制为放电方向或者充电方向中的一个方向的横流防止电路，将商用电压变换为直流电压而对所述多个并联连接的盒同时进行充电，或者从所述多个并联连接的盒同时进行放电而输出所述商用电压。
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公开(公告)号：CN102791777A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201180012728.0
申请日：2011-02-28
Applicant: 积水化学工业株式会社
CPC classification number: B29D11/00634 , G02B5/3033 , H05H1/48 , H05H2001/485
Abstract: 本发明提供一种膜表面处理装置，在将聚合性单体作为反应成分而对偏振板用保护膜等被处理膜进行等离子体处理时，能够防止电极等的污垢且提高粘接性等处理效果。在第一辊电极(11)及第二辊电极(12)上卷挂被处理膜(9)。使电极(11、12)旋转，从电极(11)向电极(12)输送被处理膜(9)。使反应气体喷嘴(31)沿着第一辊电极(11)的周向从电极(11、12)间的放电空间(14)向电极旋转方向的上游侧离开，且以与第一辊电极(11)对置的方式配置。优选在第一辊电极(11)上覆盖遮蔽构件(40)。从喷嘴(31)吹出含有聚合性单体的反应气体。在第一、第二辊电极(11、12)彼此之间的被处理膜(9)的折返部分(9a)的内侧配置有放电生成气体喷嘴(21)。从放电生成气体喷嘴(21)向放电空间(14)吹出不含有聚合性单体的放电生成气体。
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公开(公告)号：CN102257045A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN200980151252.1
申请日：2009-12-22
Applicant: 积水化学工业株式会社
CPC classification number: B32B27/16 , B32B7/12 , B32B27/08 , B32B27/308 , B32B2307/412 , B32B2307/42 , B32B2457/202 , C08J7/18 , G02B1/105 , G02B1/14
Abstract: 本发明提供一种膜的表面处理方法及装置以及偏振片的制造方法。将与易粘接性树脂膜(12)粘接的难粘接性树脂膜(11)配置在接近大气压的处理空间(22)内。通过工艺气体供给系统(3)，将含有丙烯酸(聚合性单体)蒸气的工艺气体供给到处理空间(22)。在等离子体处理部(2)，将工艺气体等离子体化并使其与难粘接性树脂膜(11)接触。设定工艺气体的供给流量，以使处理空间(22)内的氧浓度达到3000ppm以下。由此，可以提高难粘接性树脂膜的粘接性，进而能够进行高速处理。
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公开(公告)号：CN101097849B
公开(公告)日：2010-08-25
申请号：CN200710143726.0
申请日：2005-07-08
Applicant: 积水化学工业株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/67 , G02F1/13 , G02F1/1333
Abstract: 为了提高移除例如晶片的基板(90)的外周部上的不需要物质的效率，以及为了防止颗粒粘附到所述基板(90)上，提出本发明。反应性气体从喷射喷嘴(75)以如此方式朝向所述基板(90)的所述外周部的目标点(P)喷射出，即当从与所述基板(90)正交的方向上看时，所述反应性气体被使得大致沿所述基板上的目标点处的圆周方向流动。靠近所述目标点(P)的气体在所述目标点(P)的下游侧大致沿所述圆周方向被抽吸喷嘴(76)吸入。
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公开(公告)号：CN101097849A
公开(公告)日：2008-01-02
申请号：CN200710143726.0
申请日：2005-07-08
Applicant: 积水化学工业株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/67 , G02F1/13 , G02F1/1333
Abstract: 为了提高移除例如晶片的基板(90)的外周部上的不需要物质的效率，以及为了防止颗粒粘附到所述基板(90)上，提出本发明。反应性气体从喷射喷嘴(75)以如此方式朝向所述基板(90)的所述外周部的目标点(P)喷射出，即当从与所述基板(90)正交的方向上看时，所述反应性气体被使得大致沿所述基板上的目标点处的圆周方向流动。靠近所述目标点(P)的气体在所述目标点(P)的下游侧大致沿所述圆周方向被抽吸喷嘴(76)吸入。
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公开(公告)号：CN1759474A
公开(公告)日：2006-04-12
申请号：CN200480006180.9
申请日：2004-03-04
Applicant: 积水化学工业株式会社
IPC: H01L21/3065
CPC classification number: H01L21/3065 , C23C16/5093 , H01J37/32009 , H01J37/32541 , H01J37/32724
Abstract: 等离子加工装置的喷嘴头(NH)包括：环形内保持器(3)；围绕内保持器(3)的环形内电极(11)；围绕内电极的环形外电极(21)；以及围绕外电极(21)的环形外保持器(4)。内保持器(3)设有多个螺栓(7)，所述螺栓以间距周向安置并用于径向向外挤压内电极(11)。外保持器(4)设有多个螺栓(8)，所述多个螺栓(8)以间距周向安置以径向向内挤压外电极(21)。使用此结构，环形电极(11、21)的卸装、安装和对心可以很容易进行。
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公开(公告)号：CN104247201B
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201380021292.0
申请日：2013-02-22
Applicant: 积水化学工业株式会社
Abstract: 一种蓄电系统，其特征在于，将由多个连接的单元构成的盒以多个并联的方式进行连接，设置将对于所述盒的每个盒的电流限制为放电方向或者充电方向中的一个方向的横流防止电路，将商用电压变换为直流电压而对所述多个并联连接的盒同时进行充电，或者从所述多个并联连接的盒同时进行放电而输出所述商用电压。
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