公开(公告)号：CN218211202U

公开(公告)日：2023-01-03

申请号：CN202221788565.7

申请日：2022-07-12

Applicant: 福州大学 ,  福建龙溪轴承(集团)股份有限公司

Inventor： 黄异 ,  黄永林 ,  钟舜聪 ,  陈志雄 ,  庄彩虹 ,  张政浩 ,  刘鑫财

IPC: G01B11/06

Abstract: 本实用新型涉及一种轴套自润滑涂层厚度检测装置，该装置基于反射式太赫兹时域光谱系统构建，包括飞秒激光器、太赫兹发射器、太赫兹接收器、分光镜、抛面镜、延迟平台和涂层样品，所述飞秒激光器发出的激光通过分光镜分为两路，一路射向太赫兹发射器，另一路经延迟平台反射后，射向太赫兹接收器；太赫兹发射器发出的太赫兹波通过抛面镜反射后射向涂层样品，在涂层样品中反射后，通过抛面镜射向太赫兹接收器。该方法有利于对轴套自润滑涂层厚度进行无损检测。

公开(公告)号：CN216624579U

公开(公告)日：2022-05-27

申请号：CN202123271268.3

申请日：2021-12-24

Applicant: 福州大学

Inventor： 黄异 ,  林廷玲 ,  钟舜聪 ,  张政浩 ,  黄永林

IPC: H01Q15/00

Abstract: 本实用新型提出一种矩形回环凹槽微结构的太赫兹超材料，具有可在太赫兹波段支持电磁诱导透明共振的表面结构，所述表面结构以在硅片表面周期性排列的矩形回环图案单元形成太赫兹波段的电磁诱导透明共振结构；所述矩形回环图案单元以金属线成型，包括外部的封闭方环和位于封闭方环内中央位置处的U型分裂环，封闭方环和U型分裂环之间按太赫兹超材料所需对应的共振频率不同来设定为平整面或凹槽；当表面结构对太赫兹波进行电磁诱导时，以硅片含所述表面结构的一端朝向太赫兹波的入射端，以硅片不含所述表面结构的另一端朝向太赫兹波的出射端；本实用新型通过光刻技术、IBE离子束刻蚀和深硅刻蚀，能在同个硅片表面制备两种不同的回环凹槽微结构。