公开(公告)号：CN112537774A

公开(公告)日：2021-03-23

申请号：CN202010980226.8

申请日：2020-09-17

Applicant: 福吉米株式会社

Inventor： 芦高圭史 ,  川崎雄介 ,  伊藤昌明 ,  篠田润 ,  坪田翔吾

IPC: C01B33/141 ,  C09K3/14 ,  B82Y40/00

Abstract: 一种二氧化硅溶胶的制造方法，其包括：第1工序，向液(A)和液(C)的至少一者中添加有机酸，所述液(A)包含碱催化剂、水及第1有机溶剂，所述液(C)包含水；以及第2工序，在所述第1工序之后，在所述液(A)中混合液(B)与所述液(C)而制备反应液，所述液(B)包含烷氧基硅烷或其缩合物、及第2有机溶剂。

公开(公告)号：CN110316737A

公开(公告)日：2019-10-11

申请号：CN201910639130.2

申请日：2016-01-19

Applicant: 福吉米株式会社

Inventor： 芦高圭史 ,  坪田翔吾

IPC: C01B33/146 ,  B24B37/00 ,  C09K3/14 ,  H01L21/304

Abstract: [课题]提供一种改性胶体二氧化硅及其制造方法，以及使用其的研磨剂，所述改性胶体二氧化硅在用于研磨如SiN晶圆那样包含带电的改性胶体二氧化硅容易附着的材料的研磨对象物的研磨用组合物中作为磨粒使用时，能够提高研磨速率的经时稳定性。[解决手段]一种改性胶体二氧化硅，其是微小颗粒的个数分布比率为10％以下的原料胶体二氧化硅经改性而成的，所述微小颗粒具有基于由使用扫描型电子显微镜的图像解析得到的Heywood径(圆当量直径)的体积平均粒径的40％以下的粒径。

公开(公告)号：CN107207268A

公开(公告)日：2017-09-26

申请号：CN201680006420.8

申请日：2016-01-19

Applicant: 福吉米株式会社

Inventor： 芦高圭史 ,  坪田翔吾

IPC: C01B33/146 ,  B24B37/00 ,  C09K3/14 ,  H01L21/304

CPC classification number: C09G1/02 ,  B24B37/00 ,  B24B37/044 ,  C01B33/146 ,  C01B33/148 ,  C01B33/149 ,  C01P2004/03 ,  C01P2004/51 ,  C01P2004/61 ,  C07F7/025 ,  C09K3/14 ,  C09K3/1436 ,  H01L21/304 ,  H01L21/31053 ,  H01L21/76819

Abstract: 提供一种改性胶体二氧化硅及其制造方法，所述改性胶体二氧化硅在用于研磨如SiN晶圆那样包含带电的改性胶体二氧化硅容易附着的材料的研磨对象物的研磨用组合物中作为磨粒使用时，能够提高研磨速率的经时稳定性。一种改性胶体二氧化硅，其是微小颗粒的个数分布比率为10％以下的原料胶体二氧化硅经改性而成的，所述微小颗粒具有基于由使用扫描型电子显微镜的图像解析得到的Heywood径(圆当量直径)的体积平均粒径的40％以下的粒径。