电接触反馈的绝缘材料表面高度测量装置及方法

    公开(公告)号:CN109269392A

    公开(公告)日:2019-01-25

    申请号:CN201811290398.1

    申请日:2018-10-31

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明公开了一种电接触反馈的绝缘材料表面高度测量装置及方法,其中,该装置包括:导电杆用于与工件表面接触时随进给上移至接触导电端子产生短路信号;导轨用于为导电杆提供轨道,使导电杆随进给上下滑动;第一绝缘支架用于将电接触反馈的绝缘材料表面高度测量装置固定在加工机床的Z轴上;第二绝缘支架用于将导电杆固定在导轨的滑块上;电接触运动反馈系统用于向加工机床发出进给或停止的运动命令,当检测到短路信号时记录导电杆与工件表面接触点的Z轴方向位置,通过记录多个Z轴方向位置得到高度分布集合,并通过偏差确定工件表面的不平整度。该装置结构紧凑小巧,易于与机电数控系统集成,降低了绝缘工件表面位置的快速测量和调整的难度。

    加工检测一体化硅电极及其制备方法

    公开(公告)号:CN111805024B

    公开(公告)日:2021-09-10

    申请号:CN202010535417.3

    申请日:2020-06-12

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明公开了一种加工检测一体化硅电极及其制备方法。所述硅电极包括重掺杂硅基体、绝缘层、隔离层、温度检测单元和电导率检测单元;重掺杂硅基体包括电极夹持部分和电极加工部分;所述电极夹持部分远离电极加工部分的一端的正面设置有电极供电导电端、温度信号引出端和电导率信号引出端;电极加工部分的正面表面设置有隔离层,并延伸至电极夹持部分的表面上;温度传感单元和电导率传感单元设置在电极加工部分靠近电极端面一端的表面隔离层上。该硅电极在进行电解加工的同时,还能检测间隙内电解液的电导率或者同时检测间隙内电解液的温度和电导率,用以反映加工间隙、电解产物排出情况等加工状态。

    加工检测一体化硅电极及其制备方法

    公开(公告)号:CN111805024A

    公开(公告)日:2020-10-23

    申请号:CN202010535417.3

    申请日:2020-06-12

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明公开了一种加工检测一体化硅电极及其制备方法。所述硅电极包括重掺杂硅基体、绝缘层、隔离层、温度检测单元和电导率检测单元;重掺杂硅基体包括电极夹持部分和电极加工部分;所述电极夹持部分远离电极加工部分的一端的正面设置有电极供电导电端、温度信号引出端和电导率信号引出端;电极加工部分的正面表面设置有隔离层,并延伸至电极夹持部分的表面上;温度传感单元和电导率传感单元设置在电极加工部分靠近电极端面一端的表面隔离层上。该硅电极在进行电解加工的同时,还能检测间隙内电解液的电导率或者同时检测间隙内电解液的温度和电导率,用以反映加工间隙、电解产物排出情况等加工状态。

    型孔挤压成形微细结构或超疏水表面制备方法

    公开(公告)号:CN110238614A

    公开(公告)日:2019-09-17

    申请号:CN201910504634.3

    申请日:2019-06-12

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明公开了一种型孔挤压成形微细结构或超疏水表面制备方法,包括如下步骤:S1:在型材上加工出型孔,型材的位于型孔两端的表面分别称为挤压面和成形面。S2:在型材的挤压面一侧构建出封闭区域,且型孔与封闭区域连通。S3:将流体材料置入封闭区域,挤压流体材料,使部分流体材料从型孔处挤出成挤压条。S4:将型材冷却,使流体材料固化成固形件,且挤压条定型以构建微细结构或超疏水表面。本发明实施例的型孔挤压成形微细结构或超疏水表面制备方法,利用型材上型孔结构,在平面/形面/管材型孔挤压形成微结构或微细柱状阵列结构,可以制备出超疏水表面,工艺成本低、适用范围广。

    基于亲液和/或疏液的微阵列实现流量控制的微流控芯片

    公开(公告)号:CN209287360U

    公开(公告)日:2019-08-23

    申请号:CN201822139441.6

    申请日:2018-12-19

    Abstract: 本实用新型提供了一种基于亲液和/或疏液的微阵列实现流量控制的微流控芯片,涉及即时检测产品技术领域。该微流控芯片使用流量控制器控制微流道内液体的流速,流量控制器包括由若干阵列单元排布而成的微阵列;阵列单元为设置于微流道表面的具有形状的疏液层或亲液层;其中,若流量控制器为减速流量控制器则包括由若干疏液阵列单元排布而成的微阵列,疏液阵列单元的接触角大于微流道;若流量控制器为加速流量控制器则包括由若干亲液阵列单元排布而成的微阵列,亲液阵列单元的接触角小于微流道。该微流控芯片采用阵列单元排列而成的微阵列来控制微流道内液体的流动速度,具有成本低廉、制备简单、无需外部驱动等优势。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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