公开(公告)号：CN101831633A

公开(公告)日：2010-09-15

申请号：CN201010155540.9

申请日：2010-04-21

Applicant: 清华大学

Inventor： 李虓 ,  朱宏伟 ,  韦进全 ,  王昆林 ,  李春艳 ,  李昕明 ,  李祯 ,  吴德海

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/56 ,  C23C16/52

Abstract: 本发明涉及一种石墨烯与非晶碳复合薄膜的制备方法，其包括以下步骤：1)化学沉积法：设置一无氧反应器；在无氧反应器内放入铜衬底，并进行加热；当铜衬底达到一定温度后，向所述无氧反应器内通入一定量吡啶；反应适当时间后，对铜衬底进行急冷，得到含有石墨烯与非晶碳复合薄膜的三层结构；2)分离纯化法：将得到的三层结构产物放入去离子水中，清除上层非晶碳层；将剩余的中间层和下层产物放入含铁离子的溶液中，对下层铜衬底进行刻蚀，得到中间层石墨烯与非晶碳复合薄膜。本发明构思巧妙，简单易操作，可广泛用于石墨烯与非晶碳复合薄膜的大规模可控生产过程中。