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公开(公告)号:CN104285270A
公开(公告)日:2015-01-14
申请号:CN201380024680.4
申请日:2013-03-15
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H05G1/52 , H01J35/08 , H01J35/14 , H01J35/30 , H01J2235/081 , H01J2235/087
Abstract: 本发明的X射线产生装置(1)具备:电子枪部(3),其射出电子束(EB);靶部(T),具有由钻石所构成的基板(21)、及由通过电子束(EB)的入射而产生X射线(XR)的材料所构成且紧贴地埋设于基板(21)的靶体(23)。靶体(23)的外径是0.05~1μm的范围。电子束(EB)的靶部(T)上的照射域的外径为靶体(23)的外径的1.1~2.5倍的范围。X射线产生装置(1)以靶体(23)包含于照射域的方式将电子束(EB)照射于靶体(23),由此从靶体(23)产生X射线(XR)。由此,通过电子束入射于靶部中的靶体以外的部分而产生的X射线成分被抑制为对空间分辨率不产生影响的程度,因此,能够提供抑制了空间分辨率的降低的X射线产生装置。
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公开(公告)号:CN111955056B
公开(公告)日:2024-11-15
申请号:CN201980024612.5
申请日:2019-02-18
Applicant: 浜松光子学株式会社
Inventor: 石井淳
IPC: H05G1/02
Abstract: X射线发生装置包括:产生X射线的X射线管;X射线管收纳部,其收纳X射线管的至少一部分,并且封入有绝缘性液体;包围部,其从X射线管的管轴方向看时,包围X射线管收纳部;气流产生部,其使气体在由X射线管收纳部与包围部之间界定出的包围空间内流通;和X射线屏蔽部,其设置在包围部的内表面或外表面,由具有比X射线管收纳部和包围部高的X射线屏蔽性能的材料构成。
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公开(公告)号:CN110379694B
公开(公告)日:2024-08-20
申请号:CN201910288352.4
申请日:2019-04-11
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01J35/16
Abstract: 本发明的X射线管包括:设置有X射线出射窗的金属部;与金属部接合而与金属部一起形成真空区域的绝缘管;和收纳于真空区域的靶和电子枪。绝缘管具有:与金属部接合的低电阻玻璃部和固定包含靶的阳极的高电阻玻璃部。构成低电阻玻璃部的材料的体积电阻小于构成高电阻玻璃部的材料的体积电阻。依照该结构,由于能够抑制绝缘管的带电,因此能够抑制绝缘管的耐压能力的下降,并抑制因带电而发生的放电。
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公开(公告)号:CN117597759A
公开(公告)日:2024-02-23
申请号:CN202280045962.1
申请日:2022-02-14
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 一种X射线产生装置,具备:壳体;电子枪,其具有在上述壳体内出射电子的电子出射部;靶,其在上述壳体内通过入射上述电子而产生X射线;窗构件,其将上述壳体的开口密封,且使上述X射线透过;管电压施加部,其对上述电子出射部与上述靶之间施加管电压;及磁场形成部,其用于通过在上述电子出射部与上述靶之间形成磁场,而使上述电子偏向;上述靶的厚度具有分布,上述靶以相较于上述管电压相对高时,在上述管电压相对低时上述电子在该靶的厚度上入射至相对薄的部分的方式配置。
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公开(公告)号:CN111955057B
公开(公告)日:2023-10-17
申请号:CN201980024620.X
申请日:2019-02-18
Applicant: 浜松光子学株式会社
Inventor: 石井淳
Abstract: X射线发生装置包括X射线管、X射线管收纳部和通过将用于向X射线管供给电压的内部电路板密封于绝缘内而构成的电源部。在由绝缘块的上表面和X射线管收纳部的内表面界定的空间中封入有绝缘油。在上表面配置有与靶材支承部连接的高压馈电部。在上表面设置有突出到比高压馈电部、上表面和绝缘油的边界部更靠绝缘阀侧的位置且从管轴方向看时包围高压馈电部的至少1个突出部。突出部的顶部与包含绝缘阀的端部且在与管轴正交的方向上延伸的虚拟平面隔开间隔。
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公开(公告)号:CN111937498B
公开(公告)日:2023-08-18
申请号:CN201980024627.1
申请日:2019-02-18
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: X射线发生装置包括X射线管、X射线管收纳部和将用于向X射线管供给电压的内部电路板密封于绝缘块内而构成的电源部。由绝缘块的上表面和X射线管收纳部的内表面界定出第1空间。由形成于绝缘块的侧面的具有朝向外部的开口的凹部和将凹部的开口密封的密封部件界定出第2空间。在绝缘块中设置有使第1空间和第2空间连通的连通孔。在第1空间和第2空间中封入有绝缘油。凹部的深度小于与凹部深度方向正交的长边方向上的凹部的长度。
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公开(公告)号:CN115335948A
公开(公告)日:2022-11-11
申请号:CN202180024398.0
申请日:2021-02-12
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的电子束产生器的电子枪具备:阴极,其具有出射电子束的前端部;第1电极,其容纳包含阴极的前端部的部分;及第2电极,其在自沿着电子束的出射轴的方向观察时包围着第1电极。第1电极具有绕出射轴包围包含前端部的部分的第1侧壁。第2电极具有与第1侧壁分开且包围第1侧壁的第2侧壁。在第1侧壁设置有第1开口部,该第1开口部使由第1侧壁包围的第1空间、和第1侧壁与第2侧壁之间的第2空间连通。在第2电极设置有第2开口部,该第2开口部以使第2空间与外部空间连通的方式,朝沿着出射轴的方向开口。
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公开(公告)号:CN111955057A
公开(公告)日:2020-11-17
申请号:CN201980024620.X
申请日:2019-02-18
Applicant: 浜松光子学株式会社
Inventor: 石井淳
Abstract: X射线发生装置包括X射线管、X射线管收纳部和通过将用于向X射线管供给电压的内部电路板密封于绝缘内而构成的电源部。在由绝缘块的上表面和X射线管收纳部的内表面界定的空间中封入有绝缘油。在上表面配置有与靶材支承部连接的高压馈电部。在上表面设置有突出到比高压馈电部、上表面和绝缘油的边界部更靠绝缘阀侧的位置且从管轴方向看时包围高压馈电部的至少1个突出部。突出部的顶部与包含绝缘阀的端部且在与管轴正交的方向上延伸的虚拟平面隔开间隔。
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