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公开(公告)号:CN107615442B
公开(公告)日:2020-06-05
申请号:CN201680033829.9
申请日:2016-06-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的紫外光产生用靶(20A),包括透射紫外光(UV)的蓝宝石基板(21),和与蓝宝石基板(21)相接且含有氧原子与铝原子并透射紫外光(UV)的中间层(22),以及设置在中间层(22)上、包含被添加有活化剂的、含有稀土类的氧化物晶体并接受电子束(EB)而产生紫外光(UV)的发光层(23)。
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公开(公告)号:CN107615442A
公开(公告)日:2018-01-19
申请号:CN201680033829.9
申请日:2016-06-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的紫外光产生用靶(20A),包括透射紫外光(UV)的蓝宝石基板(21),和与蓝宝石基板(21)相接且含有氧原子与铝原子并透射紫外光(UV)的中间层(22),以及设置在中间层(22)上、包含被添加有活化剂的、含有稀土类的氧化物晶体并接受电子束(EB)而产生紫外光(UV)的发光层(23)。
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公开(公告)号:CN104755584A
公开(公告)日:2015-07-01
申请号:CN201380055584.6
申请日:2013-09-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01J63/06 , B05D5/061 , C09K11/7774 , C09K2211/1416 , H01J9/221
Abstract: 一种紫外光产生用靶,其具备透射紫外光的基板、和设置在基板上接受电子束而产生紫外光的发光层。发光层包含为粉末状或粒状的添加有活化剂的含稀土类的铝石榴石晶体。发光层的紫外发光峰值波长为300nm以下。
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