公开(公告)号：CN105938787A

公开(公告)日：2016-09-14

申请号：CN201610117976.6

申请日：2016-03-02

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 须山本比吕 ,  小林浩之 ,  服部真也

IPC: H01J43/24 ,  H01J9/12

CPC classification number: H01J43/10 ,  B32B3/00 ,  B32B9/005 ,  B32B9/04 ,  B32B2457/20 ,  C23C14/00 ,  C23C16/45555 ,  H01J9/125 ,  H01J43/16 ,  H01J43/24

Abstract: 本发明提供电子倍增体的制造方法、光电倍增管和光电倍增器，该电子倍增体包括主体部以及在主体部的一个端面和另一个端面开口并且放出二次电子的通道，该电子倍增体的制造方法包括：准备具有表面和背面的第一板状部件和一对第二板状部件的工序；在第一板状部件形成从表面至背面且沿表面和背面延伸的孔部的工序；通过以由一对第二板状部件夹着第一板状部件的方式将第一板状部件和第二板状部件相互叠层而构成叠层体、从而在叠层体形成由孔部规定的通道的工序；将叠层体一体化的工序；通过将一体化的叠层体以使得通道在一个端面和另一个端面开口的方式切断而构成主体部的工序；和在通道的内面形成电阻层和二次电子倍增层的工序。