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公开(公告)号:CN111094966B
公开(公告)日:2023-07-11
申请号:CN201880060456.3
申请日:2018-08-22
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01N27/626 , H01J49/04 , H01J49/10 , H01J49/16
Abstract: 试样支撑体(1A)包括基板(2)、电离基板(3)、支撑部(5)和框架(7)。电离基板(3)在第2表面(3b)上具有用于滴落试样的多个测量区域(R)。在电离基板(3)的至少各测量区域(R)形成有在第1表面(3a)和第2表面(3b)开口的多个贯通孔(3c)。至少在第2表面(3b)上的贯通孔(3c)的周缘部设置有导电层(4)。框架(7)具有壁部(7b),壁部(7b)以从基板(2)与电离基板(3)相对的方向观察划分多个测量区域(R)的方式设置于第2表面(3b)上的各测量区域(R)的周缘部上。
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公开(公告)号:CN111512150B
公开(公告)日:2022-12-13
申请号:CN201980006760.4
申请日:2019-01-08
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01N27/62 , G01N27/626 , H01J49/04
Abstract: 本发明的试样支承体包括:具有彼此相对的第一表面和第二表面的基板;和至少设置在第一表面的导电层。在基板和导电层,形成有在导电层的与基板相反的一侧的第三表面和第二表面开口的多个贯通孔。对第二表面和第三表面的至少一者,进行用于使对水的亲和性在第二表面侧的面与第三表面侧的面之间不同的表面处理。
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公开(公告)号:CN112534253A
公开(公告)日:2021-03-19
申请号:CN201980051949.5
申请日:2019-07-25
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的试样支承体(1)是用于试样的离子化的试样支承体,具备:基板(2),其形成有在第一表面(2a)、和与第一表面为相反侧的第二表面开口的多个贯通孔;导电层(4),其以不堵塞贯通孔的方式设置于第一表面;以及框体(3),其以从基板的厚度方向观察时,包围试样被离子化的离子化区域(R)的方式,设置于基板的周缘部;在框体上设置有用于识别离子化区域中的位置的标识(50、60)。
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