一种大视场高分辨率斜投影镜头及应用

    公开(公告)号:CN118502076A

    公开(公告)日:2024-08-16

    申请号:CN202410561649.4

    申请日:2024-05-08

    Abstract: 本发明公开了一种大视场高分辨率斜投影镜头及应用,包括沿光传播方向依次布置的第一球面透镜、第二球面透镜、第三柱透镜、第四柱透镜、第五球面透镜、第六球面透镜;其中,第一球面透镜和第二球面透镜为正光焦度球面透镜,第三柱透镜为正光焦度柱透镜,第四柱透镜为负光焦度柱透镜,第五球面透镜为负光焦度球面透镜,第六球面透镜为正光焦度球面透镜;第三柱透镜和第四柱透镜的母线方向保持平行,且均平行于芯片长边;第三柱透镜和第四柱透镜只用于控制一个Y方向的光焦度,无需控制X方向的光焦度。利用本发明,可以解决大尺寸方形样品检测时投影光源画幅浪费的问题,实现投影镜头的大倍率和投影光源全画幅覆盖样品。

    一种大口径光学元件光热特性检测装置及方法

    公开(公告)号:CN118010318A

    公开(公告)日:2024-05-10

    申请号:CN202410214598.8

    申请日:2024-02-27

    Abstract: 本发明公开了一种大口径光学元件光热特性检测装置及方法,包括泵浦模块、探测模块和调平对焦模块;泵浦激光光源出射的连续激光通过斩波器调制后经过透镜镜组聚焦照射到样品表面;探测激光光源出射的连续光源经过透镜镜组照射到泵浦光聚焦点同一区域内且完全覆盖泵浦聚焦光斑,经过光学元件反射并通过滤光片及针孔后由光电探测器接收;接收到的信号通过锁相放大器提取后发送给计算机进行处理;光谱共焦位移传感器返回实时位置,通过算法搭配俯仰偏摆位移台自动调平待测光学元件,三轴位移台调整扫描对焦位置,扫描后最终生成整个光学元件的吸收率分布图像。利用本发明,可以实现对大口径光学元件光热特性的有效准确检测。

    一种基于点阵拟合的BGA芯片定位和检测方法

    公开(公告)号:CN117953062A

    公开(公告)日:2024-04-30

    申请号:CN202410139097.8

    申请日:2024-01-31

    Abstract: 本发明公开了一种基于点阵拟合的BGA芯片定位和检测方法,包括:S1:获取BGA芯片图像,进行预处理和连通域提取,标记每个锡球连通域区域;S2:对原图上的锡球区域进行Blob分析;S3:对Blob分析得到的结果进行点阵拟合,获得锡球标识阵列;S4:求解点阵拟合后的边界点集拟合的边界直线的最小包围矩形,求出芯片位置和角度;S5:根据最小包围矩形生成ROI坐标系,求出ROI坐标系和图像坐标系的变换关系;S6:根据步骤S3、S5获得的锡球标识阵列和锡球中心点位置坐标,计算锡球阵列的间距PI和锡球阵列中每个锡球的中心偏移值RO;S7:对比结果和阈值范围,判断芯片是否合格。本发明可以解决在光照条件差的情况下的芯片定位问题以及适配多种BGA芯片的缺陷检测。

    一种基于机械臂的大口径平面光学元件表面缺陷扫描方法

    公开(公告)号:CN116879166A

    公开(公告)日:2023-10-13

    申请号:CN202310761160.7

    申请日:2023-06-27

    Abstract: 本发明公开了一种基于机械臂的大口径平面光学元件表面缺陷扫描方法,采用自动定心和定域装置,自动定心和定域装置包括样品台、机械臂、安装在机械臂上的带有光谱共焦传感器和相机的探头、与光谱共焦传感器电连接的数据采集单元、与数据采集单元电连接的数据分析处理单元,以及用于接收数据分析处理单元的反馈并控制机械臂运动的控制单元;调平之后,通过采集三个边缘点的坐标自动进行定心和定域,然后根据光学元件的参数进行扫描。本发明简单易行,无需对传感器进行定标,不需要针对特定样品定制高精度导轨和样品自旋台,降低机械设计与装配难度,实现光学元件的非接触式、快速、自动定心和定域扫描,适合流水化生产和检测大口径平面光学元件。

    一种冷轧钢在线检测多向线性照明装置及其应用

    公开(公告)号:CN116027616A

    公开(公告)日:2023-04-28

    申请号:CN202310177371.6

    申请日:2023-02-28

    Abstract: 本发明公开了一种冷轧钢在线检测多向线性照明装置及其应用,包括上表面照明主体、下表面照明主体和连接结构;上表面照明主体和下表面照明主体的结构相同,均包括由阵列连接件固定的若干个照明单元;每个照明单元包括由散热片、壳体和出光口组成的外壳以及在壳体内设置的LED阵列、聚光器件、横向光栅、匀化器件和纵向光栅;LED阵列由一字排列的若干RGB LED灯珠组成;聚光器件用于将LED阵列产生的光进行汇聚;横向光栅用于消除照明单元内的杂散光;匀化器件用于对经过横向光栅的光进行匀化;纵向光栅用于将光源整形成与物体运动方向相垂直的纵向交叉光。利用本发明,可根据冷轧钢等长带状产品幅宽和表面反射特性等特点灵活调整以此提供合适的照明。

    一种快速扫描原子力显微检测方法及系统

    公开(公告)号:CN104849499B

    公开(公告)日:2017-06-23

    申请号:CN201510228696.8

    申请日:2015-05-07

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种快速扫描原子力显微检测方法及系统。它包括快速扫描原子力显微检测主体探头、光电流/电压转换放大器、Z向负反馈控制模块、X方向快速扫描控制模块、Y方向快速扫描控制模块、计算机;光电流/电压转换放大器、Z向负反馈控制模块、X方向快速扫描控制模块、Y方向快速扫描控制模块分别与快速扫描原子力显微检测主体探头、计算机连接。快速扫描原子力显微检测主体探头的X方向快速片状扫描器独立实现微探针的X方向快速扫描,Y方向快速扫描器独立实现样品的Y方向快速扫描,且Z方向反馈与Y方向扫描正交独立。本发明克服了常规型AFM的局限性,可实现微纳米样品的高速度、高精度、无畸变的快速扫描与原子力显微检测成像。

    基于多孔氧化铝和单原子沉积技术的颜色调控方法

    公开(公告)号:CN102162115B

    公开(公告)日:2012-05-02

    申请号:CN201110022873.9

    申请日:2011-01-20

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于多孔氧化铝和单原子沉积技术的颜色调控方法。根据模拟的多孔氧化铝膜系推导出计算公式,由预期所要得到的调控色所对应的波长,计算得到与之匹配的模板孔深,进而通过精确控制多孔氧化铝制备过程中的二次阳极氧化时间,制备所需孔深的多孔氧化铝模板,并在其表面利用单原子沉积技术沉积高反射率纳米膜层,使模板呈现出预期的调控色,实现了对多孔氧化铝颜色的调控。本发明大大提高了多孔氧化铝作为二维光子晶体的分光特性,制备出具有不同调控色的多孔氧化铝,实现了对其颜色的调控。该方法有望在激光器、集成光路、光通信、光学互连、光计算、光学信息处理等相关仪器中的微器件制备中发挥重大作用。

    基于多孔氧化铝和单原子沉积技术的颜色调控方法

    公开(公告)号:CN102162115A

    公开(公告)日:2011-08-24

    申请号:CN201110022873.9

    申请日:2011-01-20

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于多孔氧化铝和单原子沉积技术的颜色调控方法。根据模拟的多孔氧化铝膜系推导出计算公式,由预期所要得到的调控色所对应的波长,计算得到与之匹配的模板孔深,进而通过精确控制多孔氧化铝制备过程中的二次阳极氧化时间,制备所需孔深的多孔氧化铝模板,并在其表面利用单原子沉积技术沉积高反射率纳米膜层,使模板呈现出预期的调控色,实现了对多孔氧化铝颜色的调控。本发明大大提高了多孔氧化铝作为二维光子晶体的分光特性,制备出具有不同调控色的多孔氧化铝,实现了对其颜色的调控。该方法有望在激光器、集成光路、光通信、光学互连、光计算、光学信息处理等相关仪器中的微器件制备中发挥重大作用。

    一种快速扫描原子力显微检测系统

    公开(公告)号:CN204575680U

    公开(公告)日:2015-08-19

    申请号:CN201520290447.7

    申请日:2015-05-07

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种快速扫描原子力显微检测系统。它包括快速扫描原子力显微检测主体探头、光电流/电压转换放大器、Z向负反馈控制模块、X方向快速扫描控制模块、Y方向快速扫描控制模块、计算机;光电流/电压转换放大器、Z向负反馈控制模块、X方向快速扫描控制模块、Y方向快速扫描控制模块分别与快速扫描原子力显微检测主体探头、计算机连接。快速扫描原子力显微检测主体探头的X方向快速片状扫描器独立实现微探针的X方向快速扫描,Y方向快速扫描器独立实现样品的Y方向快速扫描,且Z方向反馈与Y方向扫描正交独立。本实用新型克服了常规型AFM的局限性,可实现微纳米样品的高速度、高精度、无畸变的快速扫描与原子力显微检测成像。

    一种实时颜色动态调控微器件

    公开(公告)号:CN202657950U

    公开(公告)日:2013-01-09

    申请号:CN201220297747.4

    申请日:2012-06-25

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种实时颜色动态调控微器件。利用同步辐射光源在铂层上制备高深宽比的PMMA二维微结构阵列,利用直流磁控溅射在微结构内部沉积锆钛酸铅薄膜层,在微结构的顶部沉积高反射率纳米金属铬层,形成有高度差的上下两层反射层,通过改变铂、铬之间的电压,实时控制两反射层之间的高度差,使器件在自然光条件下呈现出不同的颜色,实现颜色的动态调控。本实用新型突破了传统微结构阵列深度方向尺寸固定的限制,利用压电薄膜材料的逆压电效应,只需改变外部电压,即可实时控制微结构的深度变化,从而实现无颜料多种色彩的实时动态调控,符合绿色环保的主题,可望在光学、材料学及印刷业、建筑业等领域获得广泛应用。

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